V systémech vakuového nanášení laku hrají vakuové pumpy klíčovou roli. Jsou nezbytnými součástmi pro dosažení vysokého vakua potřebného pro procesy nanášení laku, což má přímý vliv na účinnost nanášení laku, kvalitu filmu a výtěžnost výroby. Různé procesy nanášení laku mají různé požadavky na úroveň vakua, takže správný výběr pumpy je zásadní. Jako přední výrobce zařízení pro vakuové nanášení laku poskytuje společnost Zhenhua Vacuum komplexní analýzu hlavních typů vakuových pump a jejich specifických aplikací v technologiích nanášení laku.
Klasifikace vakuových čerpadel č. 1
Na základě principu fungování lze vakuové pumpy rozdělit do následujících kategorií:
1. Mechanická čerpadla (přední čerpadla)
Primárně se používají k evakuaci systémů z atmosférického tlaku do nízkého vakua (10⁻¹ ~ 10⁻³ Pa), obvykle slouží jako zpětná čerpadla pro vysokovakuová čerpadla.
Rotační lamelová čerpadla: Kompaktní konstrukce, snadná údržba, vhodná pro malé nátěrové systémy.
Suché šroubové vývěvy: Bezolejový provoz, ideální pro čisté vakuové systémy s vysokými požadavky na čistotu.
2. Turbomolekulární vývěvy (vysokovakuové vývěvy)
Schopné dosáhnout ultravysokého vakua (≤10⁻⁶ Pa), často v kombinaci s mechanickými čerpadly pro procesy PVD (fyzikální depozice z plynné fáze) a CVD (chemická depozice z plynné fáze). Zajišťují čisté a stabilní podmínky vysokého vakua, což z nich činí klíčovou součást vysoce přesných nátěrových systémů.
3. Difuzní čerpadla
I když jsou schopny dosáhnout tlaku 10⁻⁶ Pa, jejich kontaminace olejovými parami omezuje jejich použití v optických povlacích a dalších vysoce čistých aplikacích. V průmyslových povlakových systémech jsou stále častěji nahrazovány turbomolekulárními čerpadly.
4. Rootsova čerpadla (posilovací čerpadla)
Běžně se používá s rotačními lamelovými vývěvami během fáze středního vakua pro zvýšení rychlosti čerpání a zkrácení doby odčerpávání před nanášením povlaku.
5. Turbomolekulární čerpadla
Jsou známé pro vysoké rychlosti čerpání a stabilní provoz a nacházejí široké využití v polovodičových, optických a lékařských nátěrových aplikacích vyžadujících nepřetržitou výrobu.
Č. 2 Scénáře použití ve vakuovém lakování
V různých fázích povlakování se používají různé konfigurace vakuových čerpadel:
Počáteční fáze čerpání: Mechanická čerpadla (např. rotační lopatková, suchá čerpadla) rychle snižují tlak v komoře.
Stupeň středního podtlaku: Rootsova čerpadla zlepšují účinnost evakuace.
Vysokovakuový stupeň: Turbomolekulární/turbočerpadla vytvářejí požadované prostředí vysokého vakua.
Speciální procesy nanášení povlaků: Magnetronové naprašování a odpařování elektronovým paprskem vyžadují bezolejové systémy nebo vysoce výkonná suchá čerpadla pro zajištění čistoty filmu.
Výběr čerpadla musí zohlednit typ materiálu, procesní teplotu, tloušťku filmu a objem systému, aby byly splněny specifické požadavky na úroveň vakua a čistotu.
Č. 3 Výběr optimálního systému vakuového čerpadla
Ideální systém vakuového čerpání by měl mít:
Rychlost čerpání přizpůsobená objemu komory
Dosažení cílového maximálního vakua
Stabilní provoz s nízkou údržbou
Bezolejový a bezčásticový výkon
Dodržování environmentálních a energetických norem
Pro přesné optické, polovodičové nebo dekorativní povlakovací aplikace se doporučuje třístupňová kombinace (suché čerpadlo + Rootsovo čerpadlo + turbomolekulární čerpadlo).
Přestože jsou vakuové pumpy kompaktní, jsou pro systémy vakuového lakování zásadní. Správný výběr a konfigurace pumpy zlepšuje kvalitu filmu, účinnost systému, životnost zařízení a nákladovou efektivitu. Kontaktujte Zhenhua Vacuum pro vakuová řešení na míru šitá na míru vašim potřebám při lakování.
-Tento článek vydává výrobce vakuových lakovacích strojů Zhenhua Vacuum.
Čas zveřejnění: 14. června 2025