וואַקוום פּאָמפּעס אַפּלאַקיישאַנז אין קאָוטינג פּראַסעסאַז

אין וואַקוום קאָוטינג סיסטעמען, שפּילן וואַקוום פּאָמפּעס אַ קריטישע ראָלע. זיי זענען וויכטיקע קאָמפּאָנענטן פֿאַר דערגרייכן די הויך-וואַקוום סביבה וואָס איז נויטיק פֿאַר קאָוטינג פּראָצעסן, וואָס האָבן אַ דירעקטע השפּעה אויף קאָוטינג עפעקטיווקייט, פילם קוואַליטעט און פּראָדוקציע טראָגן. פֿאַרשידענע קאָוטינג פּראָצעסן האָבן פֿאַרשידענע וואַקוום מדרגה רעקווייערמענץ, וואָס מאַכט די ריכטיקע פּאָמפּע סעלעקציע קריטיש. ווי אַ פֿירנדיקער וואַקוום קאָוטינג עקוויפּמענט פאַבריקאַנט, גיט זשענהואַ וואַקוום אַ קאָמפּרעהענסיוו אַנאַליז פון הויפּט וואַקוום פּאָמפּע טייפּס און זייערע ספּעציפֿישע אַפּליקאַציעס אין קאָוטינג טעקנאַלאַדזשיז.

נומ. 1 קלאַסיפיקאַציע פון ​​וואַקוום פּאָמפּעס
באַזירט אויף די אָפּעראַציע פּרינציפּן, וואַקוום פּאָמפּעס קענען זיין קלאַסיפיצירט ווי גייט:

1. מעכאנישע פּאָמפּעס (פאָרער פּאָמפּעס)
בפֿרט גענוצט צו עוואַקואירן סיסטעמען פֿון אַטמאָספֿערישן דרוק צו נידעריקן וואַקוום (10⁻¹ ~ 10⁻³ Pa), טיפּיש דינענדיק ווי שטיצן פּאָמפּעס פֿאַר הויך-וואַקוום פּאָמפּעס.
ראָטאַרי וויין פּאָמפּעס: קאָמפּאַקט פּלאַן, גרינג וישאַלט, פּאַסיק פֿאַר קליין-וואָג קאָוטינג סיסטעמען.
טרוקענע שרויף פּאָמפּעס: אָיל-פֿרײַ אָפּעראַציע, ידעאַל פֿאַר ריינע וואַקוום סיסטעמען מיט הויכע ריינקייט רעקווייערמענץ.

2. טורבאָמאָלעקולאַרע פּאָמפּעס (הויך-וואַקוום פּאָמפּעס)
קענען דערגרייכן אולטרא-הויך וואקיום (≤10⁻⁶ Pa), אָפט צוזאַמען מיט מעכאַנישע פּאָמפּעס פֿאַר PVD (פיזישע פארע דעפּאָזיציע) און CVD (כעמישע פארע דעפּאָזיציע) פּראָצעסן. זיי צושטעלן ריינע, סטאַבילע הויך-וואַקוום באַדינגונגען, מאַכנדיג זיי אַ קערן קאָמפּאָנענט אין הויך-פּינטלעכקייט קאָוטינג סיסטעמען.

3. דיפיוזשאַן פּאָמפּעס
כאָטש זיי קענען דערגרייכן 10⁻⁶ פּאַ, באַגרענעצט זייער אויל פארע קאָנטאַמינאַציע זייער נוצן אין אָפּטישע קאָוטינגז און אַנדערע הויך-ריינקייט אַפּלאַקיישאַנז. זיי ווערן מער און מער ריפּלייסט דורך טורבאָמאָלעקולאַר פּאָמפּעס אין אינדוסטריעלע קאָוטינג סיסטעמען.

4. רוטס פּאָמפּעס (בוסטער פּאָמפּעס)
געוויינטלעך גענוצט מיט ראָטאַרי וויין פּאָמפּעס בעת דער מיטל-וואַקוום בינע צו פֿאַרבעסערן די פּאָמפּע גיכקייט און רעדוצירן די פּאָמפּע-דאַון צייט איידער קאָוטינג.

5. טורבאָ מאָלעקולאַרע פּאָמפּעס
באַקאַנט פֿאַר הויכע פּאָמפּע גיכקייטן און סטאַביל אָפּעראַציע, זיי זענען וויידלי געניצט אין האַלב-קאָנדוקטאָר, אָפּטיש און מעדיציניש קאָוטינג אַפּלאַקיישאַנז וואָס דאַרפן קעסיידערדיק פּראָדוקציע.

נומ. 2 אַפּליקאַציע סצענאַרן אין וואַקוום קאָוטינג
פֿאַרשידענע וואַקוום פּאָמפּע קאָנפיגוראַציעס ווערן גענוצט ביי פֿאַרשידענע קאָוטינג סטאַגעס:

ערשטע פּאָמפּע שטאַפּל: מעכאַנישע פּאָמפּעס (למשל, ראָטאַרי וויין, טרוקענע פּאָמפּעס) רעדוצירן שנעל דעם דרוק אין דער קאַמער.

מיטל-וואַקוום בינע: וואָרצל פּאָמפּעס פֿאַרבעסערן יוואַקיאַוויישאַן עפעקטיווקייט.

הויך-וואַקוום בינע: טורבאָמאָלעקולאַר/טורבאָ פּאָמפּעס שאַפֿן די פארלאנגטע הויך-וואַקוום סביבה.

ספּעציעלע קאָוטינג פּראָצעסן: מאַגנעטראָן ספּאַטערינג און E-שטראַל פארדאַמפּונג פארלאנגען אויל-פֿרייַ סיסטעמען אָדער הויך-פאָרשטעלונג טרוקענע פּאָמפּעס צו ענשור פילם ריינקייט.

פּאָמפּע אויסוואַל מוז נעמען אין באַטראַכט מאַטעריאַל טיפּ, פּראָצעס טעמפּעראַטור, פילם גרעב, און סיסטעם באַנד צו טרעפן ספּעציפֿיש וואַקוום מדרגה און ריינקייט רעקווייערמענץ.

נומ. 3 אויסקלויבן אן אפטימאלן וואקיום פאמפ סיסטעם

אן אידעאלע וואַקוום פּאָמפּע סיסטעם זאָל האָבן:
פּאָמפּע גיכקייט צוגעפּאַסט צו קאַמער באַנד
דערגרייכונג פון ציל לעצט וואַקוום
סטאַביל אָפּעראַציע מיט נידעריק וישאַלט
אויל-פֿרײַ און פּאַרטיקל-פֿרײַ פאָרשטעלונג
קאָנפאָרמאַטי מיט ענווייראָנמענטאַלע און ענערגיע סטאַנדאַרדן

פֿאַר פּינקטלעכע אָפּטישע, האַלב-קאָנדוקטאָר, אָדער דעקאָראַטיווע קאָוטינג אַפּלאַקיישאַנז, איז רעקאָמענדירט אַ דריי-שטאַפּל קאָמבינאַציע (טרוקענע פּאָמפּע + וואָרצלען פּאָמפּע + טורבאָמאָלעקולאַרע פּאָמפּע).

כאָטש קאָמפּאַקט, זענען וואַקוום פּאָמפּעס וויכטיק פֿאַר וואַקוום קאָוטינג סיסטעמען. די ריכטיקע פּאָמפּע סעלעקציע און קאָנפיגוראַציע פֿאַרבעסערן די קוואַליטעט פֿון פֿילם, סיסטעם עפֿעקטיווקייט, עקוויפּמענט לעבן, און קאָסטן-עפֿעקטיווקייט. קאָנטאַקטירט זשענהואַ וואַקוום פֿאַר קאַסטאַמייזד וואַקוום לייזונגען צוגעפּאַסט צו אייערע קאָוטינג באַדערפֿנישן.

-דער אַרטיקל איז ארויסגעגעבן דורך וואַקוום קאָוטינג מאַשין פאַבריקאַנט זשענהואַ וואַקוום.