Hauv cov txheej txheem nqus tsev, cov twj tso kua mis nqus tsev ua lub luag haujlwm tseem ceeb. Lawv yog cov khoom tseem ceeb rau kev ua tiav qhov chaw nqus tsev siab uas xav tau rau cov txheej txheem txheej, cuam tshuam ncaj qha rau kev ua haujlwm ntawm cov txheej txheem, qhov zoo ntawm zaj duab xis, thiab cov txiaj ntsig ntawm kev tsim khoom. Cov txheej txheem txheej sib txawv muaj cov kev xav tau ntawm qib nqus tsev sib txawv, ua rau kev xaiv twj tso kua mis kom raug tseem ceeb. Ua tus thawj coj tsim khoom siv nqus tsev txheej, Zhenhua Vacuum muab kev tshuaj xyuas dav dav ntawm cov hom twj tso kua mis nqus tsev loj thiab lawv cov ntawv thov tshwj xeeb hauv cov txheej txheem txheej.
No.1 Kev Faib Tawm ntawm Cov Twj Tso Kua Mis
Raws li cov ntsiab cai ua haujlwm, cov twj nqus tsev tuaj yeem faib ua pawg raws li hauv qab no:
1. Cov Twj Tso Kua Roj (Cov Twj Tso Kua Roj Ua Ntej)
Feem ntau siv los tshem tawm cov kab ke los ntawm qhov siab ntawm huab cua mus rau qhov chaw nqus tsev qis (10⁻¹ ~ 10⁻³ Pa), feem ntau ua haujlwm ua cov twj tso kua mis thaub qab rau cov twj tso kua mis nqus tsev siab.
Cov Twj Tso Kua Roj Rotary Vane: Tsim qauv me me, yooj yim txij nkawm, tsim nyog rau cov txheej txheem me me.
Twj Tso Kua Qhuav: Kev ua haujlwm tsis muaj roj, zoo tagnrho rau cov tshuab nqus tsev huv si uas xav tau kev huv si siab.
2. Cov Twj Tso Kua Turbomolecular (Cov Twj Tso Kua Uas Muaj Lub Tshuab Nqus Pa)
Muaj peev xwm ua tiav qhov nqus tsev siab heev (≤10⁻⁶ Pa), feem ntau ua ke nrog cov twj siv tshuab rau PVD (Physical Vapor Deposition) thiab CVD (Chemical Vapor Deposition). Lawv muab cov xwm txheej huv si, ruaj khov, ua rau lawv yog cov khoom tseem ceeb hauv cov txheej txheem txheej txheem siab.
3. Cov twj tso kua mis sib kis
Txawm hais tias muaj peev xwm ncav cuag 10⁻⁶ Pa, lawv cov pa roj ua rau tsis muaj kev phom sij txwv tsis pub siv rau hauv cov txheej txheem kho qhov muag thiab lwm yam kev siv siab. Hloov ntau ntxiv los ntawm cov twj turbomolecular hauv cov txheej txheem kev lag luam.
4. Cov Twj Tso Kua Roj (Cov Twj Tso Kua Roj Ntxiv)
Feem ntau siv nrog cov twj tso kua mis rotary vane thaum lub sijhawm nruab nrab-nqus tsev kom txhim kho qhov ceev ntawm kev twj thiab txo lub sijhawm twj tso kua mis ua ntej txheej.
5. Turbo Molecular Twj Tso Kua Mis
Paub txog kev nrawm ntawm lub twj tso kua mis thiab kev ua haujlwm ruaj khov, lawv tau siv dav hauv cov ntawv thov semiconductor, optical, thiab kev siv tshuaj kho mob uas xav tau kev tsim khoom tas mus li.
No.2 Daim Ntawv Thov Cov Xwm Txheej hauv Kev Txheej Tshuab Nqus Tsev
Cov qauv sib txawv ntawm lub twj tso kua mis nqus tsev siv rau ntau theem txheej:
Theem Pib Twj Tso Kua Mis: Cov twj siv tshuab (piv txwv li, lub tshuab tig, cov twj qhuav) txo qhov siab ntawm chav tsev sai sai.
Theem Nruab Nrab-Nqus Tsev: Cov twj tso kua mis hauv paus txhim kho kev ua haujlwm ntawm kev tshem tawm.
Theem Nqus Tsev Siab: Cov twj Turbomolecular/Turbo tsim kom muaj qhov chaw nqus tsev siab uas xav tau.
Cov Txheej Txheem Tshwj Xeeb: Magnetron sputtering thiab E-beam evaporation xav tau cov tshuab tsis muaj roj lossis cov twj tso kua mis qhuav ua haujlwm siab kom ntseeg tau tias cov yeeb yaj kiab huv.
Kev xaiv lub twj tso kua mis yuav tsum xav txog hom khoom siv, qhov kub ntawm cov txheej txheem, qhov tuab ntawm zaj duab xis, thiab qhov ntim ntawm lub kaw lus kom ua tau raws li qib nqus tsev thiab kev huv huv.
No.3 Xaiv Lub Tshuab Nqus Tsev Zoo Tshaj Plaws
Lub tshuab nqus tsev zoo tagnrho yuav tsum muaj cov yam ntxwv nram qab no:
Qhov ceev ntawm lub twj tso kua mis sib phim rau qhov ntim ntawm lub chamber
Kev ua tiav ntawm lub hom phiaj kawg nqus tsev
Kev ua haujlwm ruaj khov nrog kev saib xyuas tsawg
Kev ua haujlwm tsis muaj roj thiab tsis muaj khoom me me
Ua raws li cov qauv ib puag ncig thiab lub zog
Rau kev siv cov txheej txheem kho qhov muag, semiconductor, lossis cov txheej txheem kho kom zoo nkauj, kev sib xyaw ua ke peb theem (Twj Tso Kua Qhuav + Twj Tso Kua Hauv Paus + Twj Tso Kua Turbomolecular).
Txawm hais tias me me xwb los, cov twj nqus tsev tseem ceeb heev rau cov txheej txheem nqus tsev. Kev xaiv thiab teeb tsa twj kom raug ua rau cov yeeb yaj kiab zoo dua, ua haujlwm tau zoo, siv tau ntev, thiab siv nyiaj tsawg. Tiv tauj Zhenhua Vacuum kom tau txais cov kev daws teeb meem nqus tsev uas haum rau koj cov kev xav tau txheej.
-Tsab xov xwm no yog tso tawm los ntawm lub tshuab nqus tsev txheej tshuab chaw tsim khoom Zhenhua Nqus Tsev.
Lub sijhawm tshaj tawm: Lub Rau Hli-14-2025