Дар системаҳои пӯшиши вакуумӣ, насосҳои вакуумӣ нақши муҳим мебозанд. Онҳо ҷузъҳои муҳим барои ноил шудан ба муҳити баланди вакуумӣ мебошанд, ки барои равандҳои пӯшиш заруранд ва мустақиман ба самаранокии пӯшиш, сифати плёнка ва ҳосили истеҳсолӣ таъсир мерасонанд. Равандҳои гуногуни пӯшиш талаботи гуногуни сатҳи вакуум доранд, ки интихоби дурусти насосро муҳим мегардонад. Zhenhua Vacuum ҳамчун истеҳсолкунандаи пешбари таҷҳизоти пӯшиши вакуумӣ, таҳлили ҳамаҷонибаи намудҳои асосии насосҳои вакуумӣ ва татбиқи мушаххаси онҳоро дар технологияҳои пӯшиш пешниҳод мекунад.
Таснифоти №1 Насосҳои вакуумӣ
Вобаста аз принсипи корӣ, насосҳои вакуумӣ ба намудҳои зерин тақсим мешаванд:
1. Насосҳои механикӣ (Насосҳои пеш)
Асосан барои интиқоли системаҳо аз фишори атмосфера ба вакууми паст (10⁻¹ ~ 10⁻³ Па) истифода мешавад ва одатан ҳамчун насосҳои пуштибонӣ барои насосҳои вакуумии баланд хизмат мекунад.
Насосҳои гардишкунандаи вентилятсия: Тарҳи паймон, нигоҳдории осон ва барои системаҳои пӯшиши миқёси хурд мувофиқ аст.
Насосҳои хушки винтӣ: кори бе равған, барои системаҳои тозаи чангкашак бо талаботи баланди тозагӣ беҳтарин аст.
2. Насосҳои турбомолекулавӣ (Насосҳои баландвакуумӣ)
Қобилияти ба даст овардани вакууми ултрабаланд (≤10⁻⁶ Па), ки аксар вақт бо насосҳои механикӣ барои равандҳои PVD (Ҷойгиркунии буғи физикӣ) ва CVD (Ҷойгиркунии буғи кимиёвӣ) якҷоя карда мешавад. Онҳо шароити тоза ва устувори вакуумии баландро таъмин мекунанд, ки онҳоро ба ҷузъи асосии системаҳои пӯшиши дақиқи баланд табдил медиҳад.
3. Насосҳои диффузионӣ
Гарчанде ки қобилияти расидан ба 10⁻⁶ Па-ро дорад, ифлосшавии буғи равғани онҳо истифодаи онҳоро дар пӯшишҳои оптикӣ ва дигар барномаҳои тозагии баланд маҳдуд мекунад. Онҳоро насосҳои турбомолекулавӣ дар системаҳои пӯшиши саноатӣ торафт бештар иваз мекунанд.
4. Насосҳои Рутс (Насосҳои пурқувват)
Одатан бо насосҳои гардишкунандаи пружинӣ дар марҳилаи миёна-вакуумӣ барои баланд бардоштани суръати насоскунӣ ва кам кардани вақти аз кор баромадан пеш аз пӯшиш истифода мешавад.
5. Насосҳои турбомолекулавӣ
Онҳо бо суръати баланди насоскунӣ ва кори устувор маъруфанд ва дар барномаҳои пӯшиши нимноқилӣ, оптикӣ ва тиббӣ, ки истеҳсоли пайвастаро талаб мекунанд, васеъ истифода мешаванд.
Сенарияҳои №2 дар пӯшиши вакуумӣ
Дар марҳилаҳои гуногуни рӯйпӯшкунӣ конфигуратсияҳои гуногуни насосҳои вакуумӣ истифода мешаванд:
Марҳилаи ибтидоии насоскунӣ: Насосҳои механикӣ (масалан, винти гардишкунанда, насосҳои хушк) фишори камераро зуд коҳиш медиҳанд.
Марҳилаи миёна-вакуумӣ: Насосҳои реша самаранокии эвакуатсияро беҳтар мекунанд.
Марҳилаи баландвакуумӣ: Насосҳои турбомолекулавӣ/турбо муҳити зарурии баландвакуумӣ фароҳам меоранд.
Равандҳои махсуси рӯйпӯшкунӣ: Пошидани магнетронӣ ва бухоршавии нури электронӣ барои таъмини тозагии плёнка системаҳои беравған ё насосҳои хушки баландсифатро талаб мекунанд.
Интихоби насос бояд намуди мавод, ҳарорати коркард, ғафсии плёнка ва ҳаҷми системаро ба назар гирад, то ба талаботи мушаххаси сатҳи вакуум ва тозагӣ ҷавобгӯ бошад.
№3 Интихоби системаи оптималии насоси вакуумӣ
Системаи беҳтарини насоси вакуумӣ бояд дорои хусусиятҳои зерин бошад:
Суръати насос мувофиқи ҳаҷми камера
Ноил шудан ба ҳадафи вакууми ниҳоӣ
Амали устувор бо нигоҳдории кам
Иҷрои бе равған ва бе зарраҳо
Риояи стандартҳои экологӣ ва энергетикӣ
Барои истифодаҳои дақиқи пӯшиши оптикӣ, нимноқилӣ ё ороишӣ, комбинатсияи семарҳилаӣ (Насосҳои хушк + Насоси решаҳо + Насоси турбомолекулавӣ) тавсия дода мешавад.
Гарчанде ки насосҳои вакуумӣ хурд бошанд ҳам, онҳо барои системаҳои рӯйпӯшкунии вакуумӣ муҳиманд. Интихоби дурусти насос ва танзими он сифати плёнка, самаранокии система, мӯҳлати хизмати таҷҳизот ва самаранокии хароҷотро беҳтар мекунад. Барои ҳалли вакуумии фармоишӣ, ки ба ниёзҳои рӯйпӯшкунии шумо мутобиқ карда шудааст, бо Zhenhua Vacuum тамос гиред.
- Ин мақола аз ҷониби нашр шудааст истеҳсолкунандаи мошини пӯшонидани вакуумӣ Чангкашаки Zhenhua.
Вақти нашр: 14 июни соли 2025