Í lofttæmishúðunarkerfum gegna lofttæmisdælur lykilhlutverki. Þær eru nauðsynlegir þættir til að ná fram því háa lofttæmisumhverfi sem krafist er fyrir húðunarferli og hafa bein áhrif á húðunarhagkvæmni, gæði filmu og framleiðslugetu. Mismunandi húðunarferli hafa mismunandi kröfur um lofttæmi, sem gerir rétt val á dælum afar mikilvægt. Sem leiðandi framleiðandi lofttæmishúðunarbúnaðar býður Zhenhua Vacuum upp á ítarlega greiningu á helstu gerðum lofttæmisdælna og sérstökum notkunarmöguleikum þeirra í húðunartækni.
Flokkun nr. 1 á lofttæmisdælum
Byggt á rekstrarreglum er hægt að flokka lofttæmisdælur í eftirfarandi flokka:
1. Vélrænar dælur (Fore Pumps)
Aðallega notað til að tæma kerfi úr andrúmsloftsþrýstingi í lágt lofttæmi (10⁻¹ ~ 10⁻³ Pa), yfirleitt sem stuðningsdælur fyrir dælur með háu lofttæmi.
Snúningsblöðudælur: Samþjappað hönnun, auðvelt viðhald, hentugar fyrir lítil húðunarkerfi.
Þurrskrúfudælur: Olíulaus notkun, tilvalin fyrir hrein lofttæmiskerfi með miklar kröfur um hreinleika.
2. Túrbósameindadælur (hálofttæmisdælur)
Geta náð mjög háu lofttæmi (≤10⁻⁶ Pa), oft parað við vélrænar dælur fyrir PVD (Physical Vapor Deposition) og CVD (Chemical Vapor Deposition) ferla. Þær veita hreinar og stöðugar aðstæður við há lofttæmi, sem gerir þær að lykilþætti í nákvæmum húðunarkerfum.
3. Dreifingardælur
Þótt þau geti náð 10⁻⁶ Pa, takmarkar olíugufumengun þeirra notkun þeirra í ljósfræðilegum húðunum og öðrum forritum sem krefjast mikillar hreinleika. Í auknum mæli eru þau skipt út fyrir túrbínósameindadælur í iðnaðarhúðunarkerfum.
4. Roots Pumps (Hvatadælur)
Algengt er að nota það með snúningsblöðudælum á miðlungs lofttæmisstigi til að auka dæluhraða og stytta niðurdælingartíma fyrir húðun.
5. Túrbó sameindadælur
Þau eru þekkt fyrir mikinn dæluhraða og stöðugan rekstur og eru mikið notuð í hálfleiðurum, ljósleiðurum og læknisfræðilegum húðunarforritum sem krefjast samfelldrar framleiðslu.
Nr. 2 notkunarsvið í lofttæmishúðun
Mismunandi stillingar á lofttæmisdælum eru notaðar á mismunandi stigum húðunar:
Upphafsstig dælingar: Vélrænar dælur (t.d. snúningsblöðudælur, þurrdælur) draga hratt úr þrýstingi í hólfinu.
Miðlungs lofttæmisstig: Rótardælur bæta skilvirkni lofttæmingar.
Hálofttæmisstig: Túrbínósameinda-/túrbíndælur skapa nauðsynlegt hálofttæmisumhverfi.
Sérstök húðunarferli: Segulspútrun og rafgeislauppgufun krefst olíulausra kerfa eða afkastamikilla þurrdæla til að tryggja hreinleika filmunnar.
Við val á dælu verður að taka tillit til efnistegundar, ferlishita, filmuþykktar og kerfisrúmmáls til að uppfylla tilteknar kröfur um lofttæmi og hreinleika.
Nr. 3 Að velja besta lofttæmisdælukerfi
Tilvalið lofttæmisdælukerfi ætti að innihalda:
Dæluhraði í samræmi við rúmmál hólfsins
Að ná markmiði um fullkomið lofttæmi
Stöðugur rekstur með litlu viðhaldi
Olíu- og agnalaus afköst
Fylgni við umhverfis- og orkustaðla
Fyrir nákvæmar ljósleiðara-, hálfleiðara- eða skreytingarhúðunarforrit er mælt með þriggja þrepa samsetningu (þurrdæla + rótardæla + túrbínósameindadæla).
Þótt lofttæmisdælur séu nettar eru þær nauðsynlegar fyrir lofttæmis- og húðunarkerfi. Rétt val og uppsetning dælna eykur gæði filmunnar, skilvirkni kerfisins, líftíma búnaðar og hagkvæmni. Hafðu samband við Zhenhua Vacuum til að fá sérsniðnar lofttæmislausnir sem eru sniðnar að þínum þörfum.
-Þessi grein er gefin út af framleiðandi tómarúmhúðunarvéla Zhenhua ryksuga.
Birtingartími: 14. júní 2025