Dina sistem palapis vakum, pompa vakum maénkeun peran anu penting. Éta mangrupikeun komponén penting pikeun ngahontal lingkungan vakum anu luhur anu diperyogikeun pikeun prosés palapis, anu sacara langsung mangaruhan efisiensi palapis, kualitas pilem, sareng hasil produksi. Prosés palapis anu béda-béda gaduh sarat tingkat vakum anu béda-béda, janten pilihan pompa anu leres penting pisan. Salaku produsén alat palapis vakum anu unggul, Zhenhua Vacuum nyayogikeun analisis anu komprehensif ngeunaan jinis pompa vakum utama sareng aplikasi khususna dina téknologi palapis.
Klasifikasi Pompa Vakum No.1
Dumasar kana prinsip operasi, pompa vakum tiasa dikategorikeun sapertos kieu:
1. Pompa Mékanis (Pompa Hareup)
Utamana dianggo pikeun ngévakuasi sistem tina tekenan atmosfir ka vakum handap (10⁻¹ ~ 10⁻³ Pa), biasana ngalayanan salaku pompa pangrojong pikeun pompa vakum tinggi.
Pompa Baling-baling Rotary: Desain anu ringkes, gampang dirawat, cocog pikeun sistem palapis skala leutik.
Pompa Sekrup Garing: Operasi bébas oli, idéal pikeun sistem vakum bersih kalayan sarat kamurnian anu luhur.
2. Pompa Turbomolekul (Pompa Vakum Tinggi)
Mampuh ngahontal vakum ultra-luhur (≤10⁻⁶ Pa), sering dipasangkeun sareng pompa mékanis pikeun prosés PVD (Physical Vapor Deposition) sareng CVD (Chemical Vapor Deposition). Éta nyayogikeun kaayaan vakum tinggi anu bersih sareng stabil, jantenkeun komponén inti dina sistem palapis presisi tinggi.
3. Pompa Difusi
Sanaos sanggup ngahontal 10⁻⁶ Pa, kontaminasi uap minyakna ngawatesan panggunaanana dina palapis optik sareng aplikasi kamurnian tinggi anu sanésna. Beuki sering diganti ku pompa turbomolekul dina sistem palapis industri.
4. Pompa Roots (Pompa Pendorong)
Ilahar dianggo sareng pompa baling-baling rotary salami tahap vakum sedeng pikeun ningkatkeun kecepatan pompa sareng ngirangan waktos pompa-eureun sateuacan dilapis.
5. Pompa Molekul Turbo
Katelah ku kecepatan pompa anu luhur sareng operasi anu stabil, ieu seueur dianggo dina aplikasi palapis semikonduktor, optik, sareng médis anu meryogikeun produksi anu terus-terusan.
Skenario Aplikasi No.2 dina Lapisan Vakum
Konfigurasi pompa vakum anu béda-béda dianggo dina sababaraha tahapan palapis:
Tahap Pompa Awal: Pompa mékanis (contona, baling-baling rotary, pompa garing) gancang ngurangan tekanan ruang.
Tahap Vakum Sedeng: Pompa akar ningkatkeun efisiensi evakuasi.
Tahap Vakum Tinggi: Pompa turbomolekul/Turbo ngadegkeun lingkungan vakum tinggi anu diperyogikeun.
Prosés Palapis Husus: Magnetron sputtering sareng penguapan E-beam meryogikeun sistem bébas minyak atanapi pompa garing kinerja tinggi pikeun mastikeun kamurnian pilem.
Pilihan pompa kedah mertimbangkeun jinis bahan, suhu prosés, ketebalan pilem, sareng volume sistem pikeun nyumponan sarat tingkat vakum sareng kabersihan anu khusus.
No.3 Milih Sistem Pompa Vakum anu Optimal
Sistem pompa vakum anu idéal kedah ngagaduhan fitur:
Kecepatan pompa cocog sareng volume kamar
Pencapaian vakum pamungkas target
Operasi anu stabil kalayan pangropéa anu handap
Kinerja bébas minyak sareng bébas partikel
Patuh kana standar lingkungan sareng énergi
Pikeun aplikasi palapis optik, semikonduktor, atanapi dekoratif anu presisi, kombinasi tilu tahapan (Pompa Dry + Pompa Roots + Pompa Turbomolekul) disarankeun.
Sanaos kompak, pompa vakum penting pisan pikeun sistem palapis vakum. Pilihan sareng konfigurasi pompa anu leres ningkatkeun kualitas pilem, efisiensi sistem, umur alat, sareng efektivitas biaya. Hubungi Zhenhua Vacuum pikeun solusi vakum khusus anu disaluyukeun pikeun kabutuhan palapis anjeun.
-Tulisan ieu dipedalkeun ku produsén mesin palapis vakum Vakum Zhenhua.
Waktos posting: 14 Juni 2025