A tsarin shafa fenti, famfunan injin ...
Nau'i na 1 na Famfon Injin Tsafta
Dangane da ka'idodin aiki, ana iya rarraba famfunan injinan injin kamar haka:
1. Famfon Inji (Famfon Fore)
Ana amfani da shi sosai don kwashe tsarin daga matsin lamba na yanayi zuwa ƙarancin injinan iska (10⁻¹ ~ 10⁻³ Pa), yawanci yana aiki azaman famfunan tallafi ga famfunan iska masu yawan injinan iska.
Famfon Rotary Vane: Tsarin ƙira mai sauƙi, mai sauƙin gyarawa, ya dace da ƙananan tsarin rufi.
Busasshen Sukurori: Aiki ba tare da mai ba, ya dace da tsarin injin tsabtacewa tare da buƙatun tsarki mai yawa.
2. Famfon Turbomolecular (Famfon Turbomolecular masu ƙarfi)
Yana da ikon cimma injin tsabtace iska mai ƙarfi sosai (≤10⁻⁶ Pa), sau da yawa ana haɗa shi da famfunan injina don tsarin PVD (Physical Vapor Deposition) da CVD (Chemical Vapor Deposition). Suna samar da yanayi mai tsabta da kwanciyar hankali na injin tsabtace iska, wanda hakan ya sa su zama babban sashi a cikin tsarin rufin da aka yi daidai.
3. Famfon Yaɗuwa
Duk da cewa yana iya kaiwa digiri 10, gurɓatar tururin mai nasu yana iyakance amfani da shi a cikin rufin gani da sauran aikace-aikacen tsafta. Ana ƙara maye gurbinsa da famfunan turbomolecular a cikin tsarin rufin masana'antu.
4. Famfon Tushen (Famfon Mai Ƙarawa)
Ana amfani da shi sosai tare da famfunan rotary vane a lokacin matsakaicin matakin vacuum don haɓaka saurin famfo da rage lokacin saukar famfo kafin rufewa.
5. Famfon Turbo Molecular
An san su da saurin famfo mai yawa da kuma aiki mai dorewa, ana amfani da su sosai a aikace-aikacen murfin semiconductor, na gani, da na likitanci wanda ke buƙatar ci gaba da samarwa.
Lamba ta 2 ta Aikace-aikace a Rufin Injin Tsafta
Ana amfani da nau'ikan famfon injinan injinan injinan injinan injinan a matakai daban-daban:
Matakin Famfo na Farko: Famfon injina (misali, rotary vane, busassun famfo) suna rage matsin lamba a cikin ɗakin da sauri.
Matakin Matsakaici na Vacuum: Famfon tushen suna inganta ingancin fitarwa.
Matakin Mai Inganci: Famfon Turbomolecular/Turbo suna samar da yanayin da ake buƙata na mai inganci mai inganci.
Tsarin Shafi na Musamman: Magnetron sputtering da E-beam evaporation suna buƙatar tsarin da ba shi da mai ko famfo busasshe masu aiki sosai don tabbatar da tsarkin fim.
Zaɓin famfo dole ne ya yi la'akari da nau'in kayan, zafin aiki, kauri na fim, da girman tsarin don biyan takamaiman matakin injin da buƙatun tsabta.
Na 3 Zaɓar Tsarin Famfon Injin Tsafta Mai Kyau
Tsarin famfon injin da ya dace yakamata ya ƙunshi:
Saurin famfo ya yi daidai da girman ɗakin
Nasarar maƙasudin ƙarshe na injin
Aiki mai ƙarfi tare da ƙarancin kulawa
Mai-free kuma barbashi-free yi
Bin ƙa'idodin muhalli da makamashi
Don aikace-aikacen fenti mai kyau, semiconductor, ko na ado, ana ba da shawarar haɗakar matakai uku (Dry Pump + Roots Pump + Turbomolecular Pump).
Duk da cewa famfunan injinan injinan injinan injinan suna da matuƙar muhimmanci ga tsarin shafa fenti. Zaɓin famfunan da kuma tsarin da ya dace suna ƙara ingancin fim, ingancin tsarin, tsawon lokacin kayan aiki, da kuma inganci a farashi. Tuntuɓi Zhenhua Vacuum don samun mafita na injinan injinan injinan da aka keɓance musamman don buƙatun shafa fenti.
-An fitar da wannan labarin ne daga hannun injin shafa injin injin Zhenhua injin tsabtace iska.
Lokacin Saƙo: Yuni-14-2025