Dalam sistem salutan vakum, pam vakum memainkan peranan penting. Ia merupakan komponen penting untuk mencapai persekitaran vakum tinggi yang diperlukan untuk proses salutan, yang memberi kesan langsung kepada kecekapan salutan, kualiti filem dan hasil pengeluaran. Proses salutan yang berbeza mempunyai keperluan tahap vakum yang berbeza-beza, menjadikan pemilihan pam yang betul penting. Sebagai pengeluar peralatan salutan vakum yang terkemuka, Zhenhua Vacuum menyediakan analisis komprehensif tentang jenis pam vakum utama dan aplikasi khusus mereka dalam teknologi salutan.
Pengelasan Pam Vakum No.1
Berdasarkan prinsip operasi, pam vakum boleh dikategorikan seperti berikut:
1. Pam Mekanikal (Pam Depan)
Terutamanya digunakan untuk mengosongkan sistem daripada tekanan atmosfera kepada vakum rendah (10⁻¹ ~ 10⁻³ Pa), biasanya berfungsi sebagai pam sokongan untuk pam vakum tinggi.
Pam Ram Putar: Reka bentuk padat, penyelenggaraan mudah, sesuai untuk sistem salutan berskala kecil.
Pam Skru Kering: Operasi bebas minyak, sesuai untuk sistem vakum bersih dengan keperluan ketulenan yang tinggi.
2. Pam Turbomolekul (Pam Vakum Tinggi)
Mampu mencapai vakum ultra tinggi (≤10⁻⁶ Pa), sering digandingkan dengan pam mekanikal untuk proses PVD (Pemendapan Wap Fizikal) dan CVD (Pemendapan Wap Kimia). Ia menyediakan keadaan vakum tinggi yang bersih dan stabil, menjadikannya komponen teras dalam sistem salutan berketepatan tinggi.
3. Pam Difusi
Walaupun mampu mencapai 10⁻⁶ Pa, pencemaran wap minyaknya mengehadkan penggunaannya dalam salutan optik dan aplikasi ketulenan tinggi yang lain. Semakin banyak digantikan oleh pam turbomolekul dalam sistem salutan perindustrian.
4. Pam Roots (Pam Penggalak)
Lazimnya digunakan dengan pam bilah putar semasa peringkat vakum sederhana untuk meningkatkan kelajuan pengepaman dan mengurangkan masa pam berhenti sebelum salutan.
5. Pam Molekul Turbo
Dikenali dengan kelajuan pam yang tinggi dan operasi yang stabil, ia digunakan secara meluas dalam aplikasi salutan semikonduktor, optik dan perubatan yang memerlukan pengeluaran berterusan.
Senario Aplikasi No.2 dalam Salutan Vakum
Konfigurasi pam vakum yang berbeza digunakan pada pelbagai peringkat salutan:
Peringkat Pengepaman Awal: Pam mekanikal (cth., bilah berputar, pam kering) dengan cepat mengurangkan tekanan ruang.
Peringkat Vakum Sederhana: Pam akar meningkatkan kecekapan pemindahan.
Peringkat Vakum Tinggi: Pam turbomolekul/Turbo mewujudkan persekitaran vakum tinggi yang diperlukan.
Proses Salutan Khas: Percikan magnetron dan penyejatan E-beam memerlukan sistem bebas minyak atau pam kering berprestasi tinggi untuk memastikan ketulenan filem.
Pemilihan pam mesti mempertimbangkan jenis bahan, suhu proses, ketebalan filem dan isipadu sistem untuk memenuhi keperluan tahap vakum dan kebersihan tertentu.
No.3 Memilih Sistem Pam Vakum Optimum
Sistem pam vakum yang ideal harus mempunyai ciri-ciri berikut:
Kelajuan pam dipadankan dengan isipadu ruang
Pencapaian vakum muktamad sasaran
Operasi yang stabil dengan penyelenggaraan yang rendah
Prestasi bebas minyak dan bebas zarah
Pematuhan dengan piawaian alam sekitar dan tenaga
Untuk aplikasi salutan optik, semikonduktor atau hiasan jitu, kombinasi tiga peringkat (Pam Kering + Pam Akar + Pam Turbomolekul) adalah disyorkan.
Walaupun padat, pam vakum adalah penting untuk sistem salutan vakum. Pemilihan dan konfigurasi pam yang betul meningkatkan kualiti filem, kecekapan sistem, jangka hayat peralatan dan keberkesanan kos. Hubungi Zhenhua Vacuum untuk penyelesaian vakum tersuai yang disesuaikan dengan keperluan salutan anda.
-Artikel ini dikeluarkan oleh pengeluar mesin salutan vakum Vakum Zhenhua.
Masa siaran: 14 Jun 2025