I loko o nā ʻōnaehana uhi hakahaka, he kuleana koʻikoʻi nā pamu hakahaka. He mau ʻāpana koʻikoʻi lākou no ka hoʻokō ʻana i ke kaiapuni hakahaka kiʻekiʻe e pono ai no nā kaʻina hana uhi, e hoʻopilikia pololei ana i ka pono o ka uhi ʻana, ka maikaʻi o ke kiʻiʻoniʻoni, a me ka hua hana. Loaʻa i nā kaʻina hana uhi like ʻole nā koi pae hakahaka like ʻole, e hana ana i ke koho pono ʻana o ka pamu. Ma ke ʻano he mea hana lako uhi hakahaka alakaʻi, hāʻawi ʻo Zhenhua Vacuum i kahi loiloi piha o nā ʻano pamu hakahaka nui a me kā lākou mau noi kikoʻī i nā ʻenehana uhi.
Ka Hoʻokaʻawale ʻana o nā Pumps Vacuum No.1
Ma muli o nā loina hana, hiki ke hoʻokaʻawale ʻia nā pamu vacuum penei:
1. Nā Pamu Mekanika (Nā Pamu Mua)
Hoʻohana nui ʻia e hoʻokuʻu i nā ʻōnaehana mai ke kaomi lewa a i ka vacuum haʻahaʻa (10⁻¹ ~ 10⁻³ Pa), e lawelawe pinepine ana ma ke ʻano he mau pamu kākoʻo no nā pamu vacuum kiʻekiʻe.
Nā Pamu Vane Rotary: Hoʻolālā liʻiliʻi, mālama maʻalahi, kūpono no nā ʻōnaehana uhi liʻiliʻi.
Nā Pamu wili maloʻo: Hana ʻole ʻaila, kūpono no nā ʻōnaehana vacuum maʻemaʻe me nā koi maʻemaʻe kiʻekiʻe.
2. Nā Pamu Turbomolecular (Nā Pamu Vacuum Kiʻekiʻe)
Hiki ke hoʻokō i ka vacuum kiʻekiʻe loa (≤10⁻⁶ Pa), pinepine ʻia me nā pamu mechanical no nā kaʻina hana PVD (Physical Vapor Deposition) a me CVD (Chemical Vapor Deposition). Hāʻawi lākou i nā kūlana vacuum kiʻekiʻe maʻemaʻe a paʻa, e lilo ana iā lākou i ʻāpana koʻikoʻi i nā ʻōnaehana uhi kiʻekiʻe.
3. Nā Pamu Hoʻolaha
ʻOiai hiki ke hōʻea i ka 10⁻⁶ Pa, ʻo kā lākou haumia mahu aila e kaupalena ana i kā lākou hoʻohana ʻana i nā uhi optical a me nā noi maʻemaʻe kiʻekiʻe ʻē aʻe. Hoʻololi nui ʻia e nā pamu turbomolecular i nā ʻōnaehana uhi ʻoihana.
4. Nā Pamu Roots (Nā Pamu Hoʻoikaika)
Hoʻohana pinepine ʻia me nā pamu vane rotary i ka wā o ka pae medium-vacuum e hoʻonui i ka wikiwiki o ka pumping a hoʻemi i ka manawa pump-down ma mua o ka uhi ʻana.
5. Nā Pamu Molekala Turbo
ʻIke ʻia no nā wikiwiki pamu kiʻekiʻe a me ka hana paʻa, hoʻohana nui ʻia lākou i nā noi semiconductor, optical, a me nā noi uhi lāʻau lapaʻau e koi ana i ka hana mau.
Nā hiʻohiʻona noi No.2 ma ka Vacuum Coating
Hoʻohana ʻia nā ʻano hoʻonohonoho pamu vacuum like ʻole ma nā pae uhi like ʻole:
Kahua Hoʻomaka o ka Pampa: Hoʻemi koke nā pamu mīkini (e laʻa, ka vane rotary, nā pamu maloʻo) i ke kaomi o ke keʻena.
Ke Kahua Vacuum Waena: Hoʻomaikaʻi nā pamu aʻa i ka pono o ka hoʻoneʻe ʻana.
Kahua Vacuum Kiʻekiʻe: Hoʻokumu nā pamu Turbomolecular/Turbo i ke kaiapuni vacuum kiʻekiʻe e pono ai.
Nā Kaʻina Hana Uhi Kūikawā: Koi ka Magnetron sputtering a me ka E-beam evaporation i nā ʻōnaehana ʻaila ʻole a i ʻole nā pam maloʻo hana kiʻekiʻe e hōʻoia i ka maʻemaʻe o ka ʻili.
Pono ke koho ʻana o ka pamu e noʻonoʻo i ke ʻano o ka mea, ka mahana o ke kaʻina hana, ka mānoanoa o ke kiʻiʻoniʻoni, a me ka nui o ka ʻōnaehana e hoʻokō ai i nā koi pae hakahaka a me ka maʻemaʻe.
Helu 3 Ke koho ʻana i kahi ʻōnaehana pamu Vacuum maikaʻi loa
Pono kahi ʻōnaehana pumping vacuum kūpono e loaʻa:
Hoʻohālikelike ʻia ka wikiwiki o ka pamu ʻana i ka nui o ke keʻena
Ka hoʻokō ʻana i ka hakahaka hope loa o ka pahuhopu
Hana paʻa me ka mālama haʻahaʻa
Hana ʻole ka ʻaila a me ka ʻāpana ʻole
Ka mālama ʻana i nā kūlana kaiapuni a me ka ikehu
No nā noi optical precision, semiconductor, a i ʻole nā hoʻonaninani, ua ʻōlelo ʻia kahi hui ʻekolu-paepae (Dry Pump + Roots Pump + Turbomolecular Pump).
ʻOiai he liʻiliʻi, he mea nui nā pamu vacuum i nā ʻōnaehana uhi vacuum. Hoʻonui ke koho pono ʻana a me ka hoʻonohonoho ʻana o ka pamu i ka maikaʻi o ke kiʻiʻoniʻoni, ka pono o ka ʻōnaehana, ke ola o nā lako, a me ke kumukūʻai kūpono. E kāhea iā Zhenhua Vacuum no nā hoʻonā vacuum i hana ʻia no kāu mau pono uhi.
-Ua hoʻokuʻu ʻia kēia ʻatikala e mea hana mīkini uhi hakahaka ʻO Zhenhua Vacuum.
Ka manawa hoʻouna: Iune-14-2025