ການນຳໃຊ້ປ້ຳສູນຍາກາດໃນຂະບວນການເຄືອບ

ໃນລະບົບການເຄືອບສູນຍາກາດ, ປໍ້າສູນຍາກາດມີບົດບາດສຳຄັນຫຼາຍ. ພວກມັນເປັນອົງປະກອບທີ່ສຳຄັນສຳລັບການບັນລຸສະພາບແວດລ້ອມສູນຍາກາດສູງທີ່ຕ້ອງການສຳລັບຂະບວນການເຄືອບ, ເຊິ່ງສົ່ງຜົນກະທົບໂດຍກົງຕໍ່ປະສິດທິພາບການເຄືອບ, ຄຸນນະພາບຂອງຟິມ, ແລະ ຜົນຜະລິດ. ຂະບວນການເຄືອບທີ່ແຕກຕ່າງກັນມີຄວາມຕ້ອງການລະດັບສູນຍາກາດທີ່ແຕກຕ່າງກັນ, ເຮັດໃຫ້ການເລືອກປໍ້າທີ່ເໝາະສົມມີຄວາມສຳຄັນຫຼາຍ. ໃນຖານະຜູ້ຜະລິດອຸປະກອນເຄືອບສູນຍາກາດຊັ້ນນຳ, Zhenhua Vacuum ໃຫ້ການວິເຄາະທີ່ຄົບຖ້ວນກ່ຽວກັບປະເພດປໍ້າສູນຍາກາດທີ່ສຳຄັນ ແລະ ການນຳໃຊ້ສະເພາະຂອງພວກມັນໃນເຕັກໂນໂລຊີການເຄືອບ.

ການຈັດປະເພດອັນດັບ 1 ຂອງປໍ້າສູນຍາກາດ
ອີງຕາມຫຼັກການປະຕິບັດງານ, ປໍ້າສູນຍາກາດສາມາດຈັດປະເພດໄດ້ດັ່ງຕໍ່ໄປນີ້:

1. ປໍ້າກົນຈັກ (ປໍ້າໜ້າ)
ຫຼັກໆໃຊ້ເພື່ອລະບາຍລະບົບຈາກຄວາມກົດດັນຂອງບັນຍາກາດໄປສູ່ສູນຍາກາດຕ່ຳ (10⁻¹ ~ 10⁻³ Pa), ໂດຍປົກກະຕິແລ້ວຈະເປັນປໍ້າສຳຮອງສຳລັບປໍ້າສູນຍາກາດສູງ.
ປໍ້າລົມໝູນ: ການອອກແບບທີ່ກະທັດຮັດ, ບຳລຸງຮັກສາງ່າຍ, ເໝາະສຳລັບລະບົບການເຄືອບຂະໜາດນ້ອຍ.
ປໍ້າສະກູແຫ້ງ: ການເຮັດວຽກແບບບໍ່ມີນໍ້າມັນ, ເໝາະສຳລັບລະບົບສູນຍາກາດທີ່ສະອາດທີ່ມີຄວາມຕ້ອງການຄວາມບໍລິສຸດສູງ.

2. ປໍ້າໂມເລກຸນສູງ (ປໍ້າສູນຍາກາດສູງ)
ສາມາດບັນລຸສູນຍາກາດສູງພິເສດ (≤10⁻⁶ Pa), ມັກຈະຈັບຄູ່ກັບປໍ້າກົນຈັກສໍາລັບຂະບວນການ PVD (ການຕົກຕະກອນໄອທາງກາຍະພາບ) ແລະ CVD (ການຕົກຕະກອນໄອທາງເຄມີ). ພວກມັນໃຫ້ສະພາບສູນຍາກາດສູງທີ່ສະອາດ ແລະ ໝັ້ນຄົງ, ເຮັດໃຫ້ພວກມັນເປັນອົງປະກອບຫຼັກໃນລະບົບການເຄືອບທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ.

3. ປໍ້າກະຈາຍ
ໃນຂະນະທີ່ສາມາດບັນລຸ 10⁻⁶ Pa, ການປົນເປື້ອນຂອງໄອນ້ຳມັນຂອງພວກມັນຈຳກັດການນຳໃຊ້ຂອງມັນໃນການເຄືອບແສງ ແລະ ການນຳໃຊ້ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງອື່ນໆ. ມັນໄດ້ຖືກທົດແທນຫຼາຍຂຶ້ນເລື້ອຍໆດ້ວຍປໍ້າ turbomolecular ໃນລະບົບເຄືອບອຸດສາຫະກຳ.

4. ປໍ້າຮາກ (ປໍ້າເສີມ)
ນິຍົມໃຊ້ກັບປໍ້າລົມໝູນວຽນໃນຊ່ວງສູນຍາກາດປານກາງເພື່ອເພີ່ມຄວາມໄວໃນການປໍ້າ ແລະ ຫຼຸດຜ່ອນເວລາໃນການປໍ້າລົງກ່ອນການເຄືອບ.

5. ປໍ້າໂມເລກຸນ Turbo
ເປັນທີ່ຮູ້ຈັກກັນດີໃນດ້ານຄວາມໄວໃນການສູບນ້ຳສູງ ແລະ ການດຳເນີນງານທີ່ໝັ້ນຄົງ, ພວກມັນຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນການເຄືອບເຄິ່ງຕົວນຳ, ທາງແສງ, ແລະ ການເຄືອບທາງການແພດທີ່ຕ້ອງການການຜະລິດຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ.

ສະຖານະການການນຳໃຊ້ອັນດັບທີ 2 ໃນການເຄືອບສູນຍາກາດ
ການຕັ້ງຄ່າປໍ້າສູນຍາກາດທີ່ແຕກຕ່າງກັນແມ່ນຖືກນໍາໃຊ້ໃນຂັ້ນຕອນການເຄືອບຕ່າງໆ:

ຂັ້ນຕອນການສູບນ້ຳເບື້ອງຕົ້ນ: ປໍ້າກົນຈັກ (ເຊັ່ນ: ປໍ້າໝູນວຽນ, ປໍ້າແຫ້ງ) ຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນຄວາມດັນໃນຫ້ອງສູບຢ່າງໄວວາ.

ຂັ້ນຕອນສູນຍາກາດປານກາງ: ປໍ້າຮາກປັບປຸງປະສິດທິພາບການຍົກຍ້າຍ.

ຂັ້ນຕອນສູນຍາກາດສູງ: ປໍ້າ Turbomolecular/Turbo ສ້າງສະພາບແວດລ້ອມສູນຍາກາດສູງທີ່ຕ້ອງການ.

ຂະບວນການເຄືອບພິເສດ: ການສະເປເຕີຣິນແມກເນຕຣອນ ແລະ ການລະເຫີຍຂອງລຳແສງໄຟຟ້າຕ້ອງການລະບົບທີ່ບໍ່ມີນ້ຳມັນ ຫຼື ປ້ຳແຫ້ງປະສິດທິພາບສູງເພື່ອຮັບປະກັນຄວາມບໍລິສຸດຂອງຟິມ.

ການເລືອກປັ໊ມຕ້ອງພິຈາລະນາປະເພດວັດສະດຸ, ອຸນຫະພູມຂະບວນການ, ຄວາມໜາຂອງຟິມ, ແລະ ປະລິມານຂອງລະບົບເພື່ອຕອບສະໜອງຄວາມຕ້ອງການລະດັບສູນຍາກາດ ແລະ ຄວາມສະອາດສະເພາະ.

ເລກທີ 3 ການເລືອກລະບົບປໍ້າສູນຍາກາດທີ່ດີທີ່ສຸດ

ລະບົບສູບສູນຍາກາດທີ່ເໝາະສົມຄວນມີຄຸນສົມບັດ:
ຄວາມໄວໃນການສູບນ້ຳກົງກັບປະລິມານຂອງຫ້ອງ
ການບັນລຸເປົ້າໝາຍສູນຍາກາດສຸດທ້າຍ
ການດຳເນີນງານທີ່ໝັ້ນຄົງດ້ວຍການບຳລຸງຮັກສາຕ່ຳ
ປະສິດທິພາບທີ່ບໍ່ມີນໍ້າມັນ ແລະ ບໍ່ມີອະນຸພາກ
ການປະຕິບັດຕາມມາດຕະຖານດ້ານສິ່ງແວດລ້ອມ ແລະ ພະລັງງານ

ສຳລັບການນຳໃຊ້ການເຄືອບທາງແສງ, ເຄິ່ງຕົວນຳ, ຫຼື ການເຄືອບຕົກແຕ່ງທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍຳສູງ, ແນະນຳໃຫ້ໃຊ້ການປະສົມປະສານສາມຂັ້ນຕອນ (ປ້ຳແຫ້ງ + ປ້ຳຮາກ + ປ້ຳ Turbomolecular).

ເຖິງແມ່ນວ່າຈະມີຂະໜາດກະທັດຮັດ, ແຕ່ປໍ້າສູນຍາກາດມີຄວາມສຳຄັນຕໍ່ລະບົບການເຄືອບສູນຍາກາດ. ການເລືອກປໍ້າ ແລະ ການຕັ້ງຄ່າທີ່ເໝາະສົມຈະຊ່ວຍເສີມຄຸນນະພາບຂອງຟິມ, ປະສິດທິພາບຂອງລະບົບ, ອາຍຸການໃຊ້ງານຂອງອຸປະກອນ, ແລະ ປະສິດທິພາບດ້ານຕົ້ນທຶນ. ຕິດຕໍ່ Zhenhua Vacuum ສຳລັບວິທີແກ້ໄຂສູນຍາກາດທີ່ປັບແຕ່ງໄດ້ຕາມຄວາມຕ້ອງການການເຄືອບຂອງທ່ານ.

-ບົດຄວາມນີ້ເຜີຍແຜ່ໂດຍ ຜູ້ຜະລິດເຄື່ອງເຄືອບສູນຍາກາດ ເຄື່ອງດູດຝຸ່ນ Zhenhua.