Ann an siostaman còmhdach falamh, tha pumpaichean falamh a’ cluich pàirt chudromach. Tha iad nan co-phàirtean riatanach airson an àrainneachd àrd-falamh a tha a dhìth airson pròiseasan còmhdach a choileanadh, a’ toirt buaidh dhìreach air èifeachdas còmhdach, càileachd film, agus toradh cinneasachaidh. Tha riatanasan ìre falamh eadar-dhealaichte aig diofar phròiseasan còmhdach, agus mar sin tha taghadh ceart pumpa deatamach. Mar phrìomh neach-dèanamh uidheamachd còmhdach falamh, tha Zhenhua Vacuum a’ toirt seachad mion-sgrùdadh coileanta air prìomh sheòrsaichean pumpa falamh agus na tagraidhean sònraichte aca ann an teicneòlasan còmhdach.
Seòrsachadh Àireamh 1 de Phumpaichean Falamh
A rèir phrionnsabalan obrachaidh, faodar pumpaichean falamh a roinn mar a leanas:
1. Pumpaichean Meacanaigeach (Pumpaichean Toiseach)
Air a chleachdadh sa mhòr-chuid airson siostaman fhalmhachadh bho chuideam àile gu falamh ìosal (10⁻¹ ~ 10⁻³ Pa), mar as trice mar phumpaichean taice airson pumpaichean àrd-falamh.
Pumpaichean rothlach le vane: Dealbhadh teann, cumail suas furasta, freagarrach airson siostaman còmhdaich beaga.
Pumpaichean Sgriubha Tioram: Obrachadh gun ola, freagarrach airson siostaman falamh glan le riatanasan àrd-ghlainead.
2. Pumpaichean Turbomoileciuil (Pumpaichean Àrd-Fhalamh)
Comasach air falamh fìor àrd (≤10⁻⁶ Pa) a choileanadh, gu tric air a chur còmhla ri pumpaichean meacanaigeach airson pròiseasan PVD (Tasgadh Ceò Corporra) agus CVD (Tasgadh Ceò Ceimigeach). Bidh iad a’ toirt seachad suidheachaidhean falamh àrd glan, seasmhach, gan dèanamh nam prìomh phàirt ann an siostaman còtaidh àrd-chruinneas.
3. Pumpaichean Sgaoilidh
Ged a tha iad comasach air 10⁻⁶ Pa a ruighinn, tha an truailleadh le ceò ola a’ cuingealachadh an cleachdadh ann an còtaichean optaigeach agus tagraidhean àrd-ghlanachd eile. Tha pumpaichean turbomolecular gan cur nan àite barrachd is barrachd ann an siostaman còtaichean gnìomhachais.
4. Pumpaichean Freumhan (Pumpaichean Àrdachaidh)
Gu cumanta air a chleachdadh le pumpaichean rothlach vane aig ìre meadhanach-falamh gus astar pumpaidh a leasachadh agus an ùine pumpaidh sìos a lughdachadh mus tèid còmhdach a chur air.
5. Pumpaichean Moileciuil Turbo
Aithnichte airson astaran pumpaidh àrd agus obrachadh seasmhach, tha iad air an cleachdadh gu farsaing ann an tagraidhean còmhdach leth-chonnsachaidh, optigeach agus meidigeach a dh’ fheumas cinneasachadh leantainneach.
Àireamh 2 Suidheachaidhean Iarrtais ann an Còmhdach Falamh
Bithear a’ cleachdadh diofar rèiteachaidhean pumpa falamh aig diofar ìrean còmhdachaidh:
Ìre Pumpaidh Tùsail: Bidh pumpaichean meacanaigeach (me, pumpaichean rothlach, pumpaichean tioram) a’ lughdachadh cuideam an t-seòmair gu luath.
Ìre Meadhanach-Fhalamh: Bidh pumpaichean freumhaichean a’ leasachadh èifeachdas falmhachaidh.
Ìre Àrd-Fhalamh: Bidh pumpaichean turbomoileciuil/Turbo a’ stèidheachadh an àrainneachd àrd-falamh a tha a dhìth.
Pròiseasan Còmhdaich Sònraichte: Tha feum air siostaman gun ola no pumpaichean tioram àrd-choileanaidh airson sputtering magnetron agus falmhachadh E-beam gus dèanamh cinnteach à purrachd an fhilm.
Feumaidh taghadh pumpa beachdachadh air seòrsa stuth, teòthachd a’ phròiseis, tighead an fhilm, agus meud an t-siostaim gus coinneachadh ri riatanasan sònraichte ìre falamh agus glanadh.
Àir. 3 A’ taghadh siostam pumpa falamh as fheàrr
Bu chòir siostam pumpaidh falamh air leth freagarrach a bhith a’ nochdadh:
Astar pumpaidh a rèir meud an t-seòmair
Coileanadh falamh deireannach targaid
Obrachadh seasmhach le glè bheag de chumail suas
Coileanadh gun ola agus gun ghràineanan
Gèilleadh ri inbhean àrainneachdail is lùtha
Airson tagraidhean còmhdach optaigeach, leth-chonnsachaidh, no sgeadachaidh mionaideach, thathas a’ moladh measgachadh trì-ìrean (Pumpa Tioram + Pumpa Freumhaichean + Pumpa Turbomoileciuil).
Ged a tha iad teann, tha pumpaichean falamh deatamach do shiostaman còmhdach falamh. Bidh taghadh is rèiteachadh ceart pumpa a’ leasachadh càileachd film, èifeachdas siostaim, fad-beatha uidheamachd, agus èifeachdas cosgais. Cuir fios gu Zhenhua Vacuum airson fuasglaidhean falamh gnàthaichte a tha freagarrach do na feumalachdan còmhdach agad.
-Tha an t-artaigil seo air fhoillseachadh le neach-dèanamh inneal còmhdach falamh Falamh Zhenhua.
Àm puist: Ògmhios-14-2025