Вакуумдық жабын жүйелерінде вакуумдық сорғылар маңызды рөл атқарады. Олар жабын процестері үшін қажетті жоғары вакуумдық ортаға қол жеткізу үшін маңызды компоненттер болып табылады, жабын тиімділігіне, пленка сапасына және өндіріс өнімділігіне тікелей әсер етеді. Әр түрлі жабын процестерінің вакуум деңгейіне қойылатын талаптары әртүрлі, бұл сорғыны дұрыс таңдауды маңызды етеді. Жетекші вакуумдық жабын жабдықтарын өндіруші ретінде Zhenhua Vacuum негізгі вакуумдық сорғы түрлерінің және олардың жабын технологияларындағы нақты қолданылуының кешенді талдауын ұсынады.
Вакуумдық сорғылардың №1 жіктелуі
Жұмыс принципіне байланысты вакуумдық сорғыларды келесідей жіктеуге болады:
1. Механикалық сорғылар (алдыңғы сорғылар)
Негізінен жүйелерді атмосфералық қысымнан төмен вакуумға (10⁻¹ ~ 10⁻³ Па) эвакуациялау үшін қолданылады, әдетте жоғары вакуумды сорғыларға арналған қосалқы сорғылар ретінде қызмет етеді.
Айналмалы қалақты сорғылар: Ықшам дизайн, оңай күтім, шағын көлемді жабын жүйелеріне жарамды.
Құрғақ бұрандалы сорғылар: майсыз жұмыс, жоғары тазалық талаптары бар таза вакуумдық жүйелер үшін өте қолайлы.
2. Турбомолекулалық сорғылар (жоғары вакуумды сорғылар)
PVD (физикалық бу тұндыру) және CVD (химиялық бу тұндыру) процестері үшін механикалық сорғылармен жиі жұптастырылған өте жоғары вакуумға (≤10⁻⁶ Па) қол жеткізуге қабілетті. Олар таза, тұрақты жоғары вакуумдық жағдайларды қамтамасыз етеді, бұл оларды жоғары дәлдіктегі жабын жүйелеріндегі негізгі компонент етеді.
3. Диффузиялық сорғылар
10⁻⁶ Па-ға жетуге қабілетті болғанымен, олардың май буының ластануы оларды оптикалық жабындар мен басқа да жоғары тазалықтағы қолданбаларда қолдануды шектейді. Өнеркәсіптік жабын жүйелерінде турбомолекулалық сорғылармен алмастырылады.
4. Roots сорғылары (күшейткіш сорғылар)
Орташа вакуумдық кезеңде айналмалы қалақшалы сорғылармен жиі қолданылады, бұл сорғы жылдамдығын арттыру және қаптау алдында сорғының жұмысын тоқтату уақытын қысқарту үшін қажет.
5. Турбо молекулалық сорғылар
Жоғары айдау жылдамдығымен және тұрақты жұмысымен танымал, олар үздіксіз өндірісті қажет ететін жартылай өткізгіш, оптикалық және медициналық жабын қолданбаларында кеңінен қолданылады.
Вакуумдық жабынды қолданудағы №2 сценарийлер
Әртүрлі жабын кезеңдерінде әртүрлі вакуумдық сорғы конфигурациялары қолданылады:
Бастапқы айдау кезеңі: Механикалық сорғылар (мысалы, айналмалы қалақша, құрғақ сорғылар) камера қысымын тез төмендетеді.
Орташа вакуумдық кезең: тамыр сорғылары эвакуация тиімділігін арттырады.
Жоғары вакуумдық кезең: Турбомолекулалық/турбо сорғылар қажетті жоғары вакуумдық ортаны жасайды.
Арнайы жабын процестері: Магнетронды шашырату және электронды сәуленің булануы қабықшаның тазалығын қамтамасыз ету үшін майсыз жүйелерді немесе жоғары өнімді құрғақ сорғыларды қажет етеді.
Сорғыны таңдағанда, вакуум деңгейі мен тазалық талаптарына сәйкес келу үшін материал түрін, өңдеу температурасын, пленка қалыңдығын және жүйе көлемін ескеру қажет.
№3 Оңтайлы вакуумдық сорғы жүйесін таңдау
Идеал вакуумдық сорғы жүйесі келесі қасиеттерге ие болуы керек:
Айдау жылдамдығы камера көлеміне сәйкес келеді
Мақсатты максималды вакуумға жету
Тұрақты жұмыс, аз күтіммен
Майсыз және бөлшектерсіз өнімділік
Қоршаған ортаны қорғау және энергетикалық стандарттарға сәйкестік
Дәл оптикалық, жартылай өткізгіш немесе сәндік жабындарды қолдану үшін үш сатылы комбинацияны (құрғақ сорғы + тамыр сорғысы + турбомолекулалық сорғы) пайдалану ұсынылады.
Шағын болғанымен, вакуумдық сорғылар вакуумдық жабын жүйелері үшін өте маңызды. Сорғыны дұрыс таңдау және конфигурациялау пленка сапасын, жүйенің тиімділігін, жабдықтың қызмет ету мерзімін және шығындардың тиімділігін арттырады. Жабын қажеттіліктеріңізге бейімделген вакуумдық шешімдер алу үшін Zhenhua Vacuum компаниясына хабарласыңыз.
- Бұл мақала жарияланды вакуумдық жабын машинасын өндіруші Чжэньхуа шаңсорғышы.
Жарияланған уақыты: 2025 жылғы 14 маусым