Вакуум бүрхүүлийн системд вакуум насос нь чухал үүрэг гүйцэтгэдэг. Эдгээр нь бүрхүүлийн процесст шаардлагатай өндөр вакуум орчинг бүрдүүлэхэд чухал бүрэлдэхүүн хэсэг бөгөөд бүрхүүлийн үр ашиг, хальсны чанар, үйлдвэрлэлийн гарцад шууд нөлөөлдөг. Өөр өөр бүрхүүлийн процессууд нь вакуум түвшний шаардлагаараа харилцан адилгүй байдаг тул насосыг зөв сонгох нь чухал юм. Вакуум бүрхүүлийн тоног төхөөрөмж үйлдвэрлэгч тэргүүлэгч Zhenhua Vacuum нь вакуум насосын үндсэн төрлүүд болон тэдгээрийн бүрхүүлийн технологид хэрэглэх тодорхой хэрэглээний цогц шинжилгээг хийдэг.
Вакуум насосны №1 ангилал
Үйл ажиллагааны зарчмын дагуу вакуум насосыг дараахь байдлаар ангилж болно.
1. Механик шахуургууд (Урд шахуургууд)
Агаар мандлын даралтаас системийг бага вакуум (10⁻¹ ~ 10⁻³ Па) руу нүүлгэн шилжүүлэхэд голчлон ашигладаг бөгөөд ихэвчлэн өндөр вакуум насосны арын насос болгон ашигладаг.
Эргэлдэгч сэнсний насос: Авсаархан загвар, засвар үйлчилгээ хийхэд хялбар, жижиг хэмжээний бүрхүүлийн системд тохиромжтой.
Хуурай шураг шахуурга: Тосгүй ажиллагаатай, өндөр цэвэршилттэй цэвэр вакуум системд тохиромжтой.
2. Турбомолекулын насос (Өндөр вакуум насос)
PVD (Физик уурын хуримтлал) болон CVD (Химийн уурын хуримтлал) процессуудад механик шахуургатай хослуулан хэт өндөр вакуум (≤10⁻⁶ Па) үүсгэх чадвартай. Эдгээр нь цэвэр, тогтвортой өндөр вакуум нөхцлийг бүрдүүлдэг тул өндөр нарийвчлалтай бүрэх системийн гол бүрэлдэхүүн хэсэг болгодог.
3. Диффузийн шахуургууд
10⁻⁶ Па хүрэх чадвартай боловч тэдгээрийн тосны уурын бохирдол нь оптик бүрхүүл болон бусад өндөр цэвэршилттэй хэрэглээнд ашиглахыг хязгаарладаг. Аж үйлдвэрийн бүрхүүлийн системд турбомолекулын насосоор улам бүр солигддог.
4. Roots Pumps (Өргөлтийн Pumps)
Дунд зэргийн вакуум үе шатанд эргэлдэгч сэнсний насостой хамт шахах хурдыг нэмэгдүүлэх, бүрэхээс өмнө шахах хугацааг багасгах зорилгоор түгээмэл хэрэглэгддэг.
5. Турбо молекулын насос
Өндөр шахах хурд болон тогтвортой ажиллагаатай гэдгээрээ алдартай эдгээрийг тасралтгүй үйлдвэрлэл шаарддаг хагас дамжуулагч, оптик болон эмнэлгийн бүрхүүлийн хэрэглээнд өргөн ашигладаг.
Вакуум бүрхүүлийн №2 хэрэглээний хувилбарууд
Вакуум насосны янз бүрийн тохиргоог янз бүрийн бүрхүүлийн үе шатанд ашигладаг:
Шахах эхний үе шат: Механик шахуургууд (жишээ нь, эргэлдэгч сэнс, хуурай шахуургууд) нь камерын даралтыг хурдан бууруулдаг.
Дунд зэргийн вакуум үе шат: Үндэс шахуурга нь нүүлгэн шилжүүлэх үр ашгийг сайжруулдаг.
Өндөр вакуум шат: Турбомолекул/Турбо насос нь шаардлагатай өндөр вакуум орчинг бүрдүүлдэг.
Тусгай бүрэх процессууд: Магнетрон цацалт болон E-цацрагийн ууршилт нь хальсны цэвэр байдлыг хангахын тулд тосгүй систем эсвэл өндөр хүчин чадалтай хуурай шахуурга шаарддаг.
Насос сонгохдоо тодорхой вакуум түвшин болон цэвэр байдлын шаардлагыг хангахын тулд материалын төрөл, процессын температур, хальсны зузаан, системийн эзэлхүүнийг харгалзан үзэх ёстой.
№3 Хамгийн оновчтой вакуум насосны системийг сонгох
Хамгийн тохиромжтой вакуум шахуургын систем нь дараахь зүйлийг агуулсан байх ёстой.
Шахах хурд нь камерын эзэлхүүнтэй тохирч байна
Зорилтот эцсийн вакуумд хүрэх
Тогтвортой ажиллагаа, засвар үйлчилгээ багатай
Тосгүй болон тоосонцоргүй гүйцэтгэл
Байгаль орчин болон эрчим хүчний стандартыг дагаж мөрдөх
Нарийвчлалтай оптик, хагас дамжуулагч эсвэл гоёл чимэглэлийн бүрээсний хэрэглээнд гурван үе шаттай хослол (Хуурай шахуурга + Үндэс шахуурга + Турбомолекул шахуурга)-г ашиглахыг зөвлөж байна.
Авсаархан боловч вакуум насос нь вакуум бүрэх системд чухал үүрэг гүйцэтгэдэг. Шахуургыг зөв сонгох, тохируулах нь хальсны чанар, системийн үр ашиг, тоног төхөөрөмжийн ашиглалтын хугацаа, зардлын үр ашгийг дээшлүүлдэг. Таны бүрэх хэрэгцээнд тохирсон захиалгат вакуум шийдлүүдийг авахын тулд Zhenhua Vacuum компанитай холбогдоно уу.
-Энэ нийтлэлийг нийтэлсэн вакуум бүрэх машин үйлдвэрлэгч Жэнхуа тоос сорогч.
Нийтэлсэн цаг: 2025 оны 6-р сарын 14