Вакуумдук каптоо системаларында вакуумдук насостор маанилүү ролду ойнойт. Алар каптоо процесстери үчүн талап кылынган жогорку вакуумдук чөйрөгө жетүү үчүн маанилүү компоненттер болуп саналат, каптоонун натыйжалуулугуна, пленканын сапатына жана өндүрүштүк түшүмдүүлүккө түздөн-түз таасир этет. Ар кандай каптоо процесстеринин вакуумдук деңгээлдеги талаптары ар кандай, бул насосту туура тандоону абдан маанилүү кылат. Вакуумдук каптоо жабдууларын өндүрүүчү алдыңкы компания катары Zhenhua Vacuum компаниясы вакуумдук насостордун негизги түрлөрүн жана алардын каптоо технологияларындагы колдонулуштарын комплекстүү талдоону камсыз кылат.
Вакуумдук насостордун №1 классификациясы
Иштөө принцибине жараша, вакуумдук насосторду төмөнкүдөй түрлөргө бөлүүгө болот:
1. Механикалык насостор (Алдыңкы насостор)
Негизинен системаларды атмосфералык басымдан төмөнкү вакуумга (10⁻¹ ~ 10⁻³ Па) эвакуациялоо үчүн колдонулат, адатта жогорку вакуумдук насостор үчүн арткы насостор катары кызмат кылат.
Айланма канаттуу насостор: Компакттуу дизайн, оңой тейлөө, чакан көлөмдөгү каптоо системалары үчүн ылайыктуу.
Кургак бурама насостору: майсыз иштөө, жогорку тазалык талаптары бар таза вакуумдук системалар үчүн идеалдуу.
2. Турбомолекулярдык насостор (жогорку вакуумдук насостор)
Өтө жогорку вакуумду (≤10⁻⁶ Па) камсыздай алат, көбүнчө PVD (физикалык буу чөктүрүү) жана CVD (химиялык буу чөктүрүү) процесстери үчүн механикалык насостор менен жупташат. Алар таза, туруктуу жогорку вакуумдук шарттарды камсыз кылат, бул аларды жогорку тактыктагы каптоо системаларында негизги компонент кылат.
3. Диффузиялык насостор
Алардын май буусу менен булганышы 10⁻⁶ Пага жете алганы менен, оптикалык каптоодо жана башка жогорку тазалыктагы колдонмолордо колдонулушун чектейт. Өнөр жайлык каптоо системаларында турбомолекулярдык насостор менен барган сайын алмаштырылат.
4. Roots насостору (күчөткүч насостору)
Орто вакуумдук стадияда айланма канаттуу насостор менен көбүнчө сордуруу ылдамдыгын жогорулатуу жана каптоодон мурун сордуруунун аяктоо убактысын кыскартуу үчүн колдонулат.
5. Турбо молекулярдык насостор
Жогорку сордуруу ылдамдыгы жана туруктуу иштеши менен белгилүү болгон алар үзгүлтүксүз өндүрүштү талап кылган жарым өткөргүч, оптикалык жана медициналык каптоо колдонмолорунда кеңири колдонулат.
Вакуумдук каптоодогу №2 колдонуу сценарийлери
Каптоонун ар кандай этаптарында ар кандай вакуумдук насостордун конфигурациялары колдонулат:
Баштапкы насостук этап: Механикалык насостор (мисалы, айланма канаттуу насостор, кургак насостор) камеранын басымын тез төмөндөтөт.
Орточо вакуумдук этап: тамыр насостору эвакуациянын натыйжалуулугун жогорулатат.
Жогорку вакуумдук этап: Турбомолекулярдык/Турбо насостору талап кылынган жогорку вакуумдук чөйрөнү түзөт.
Атайын каптоо процесстери: Магнетрондук чачыратуу жана электрондук нур менен буулануу пленканын тазалыгын камсыз кылуу үчүн майсыз системаларды же жогорку өндүрүмдүү кургак насосторду талап кылат.
Насосту тандоодо вакуумдун белгилүү бир деңгээлине жана тазалык талаптарына жооп берүү үчүн материалдын түрүн, процесстин температурасын, пленканын калыңдыгын жана системанын көлөмүн эске алуу керек.
№3 Оптималдуу вакуумдук насос системасын тандоо
Идеалдуу вакуумдук насостук система төмөнкүлөргө ээ болушу керек:
Соргучтун ылдамдыгы камеранын көлөмүнө дал келет
Максаттуу акыркы вакуумдукка жетүү
Аз тейлөө менен туруктуу иштөө
Майсыз жана бөлүкчөсүз иштөө
Айлана-чөйрөнү коргоо жана энергетикалык стандарттарга шайкештик
Так оптикалык, жарым өткөргүч же декоративдик каптоо колдонмолору үчүн үч баскычтуу айкалышты (Кургак насос + Тамыр насосу + Турбомолекулярдык насос) колдонуу сунушталат.
Компакттуу болгону менен, вакуумдук насостор вакуумдук каптоо системалары үчүн абдан маанилүү. Насосту туура тандоо жана конфигурациялоо пленканын сапатын, системанын натыйжалуулугун, жабдуулардын иштөө мөөнөтүн жана чыгымдардын үнөмдүүлүгүн жогорулатат. Каптоо муктаждыктарыңызга ылайыкташтырылган вакуумдук чечимдерди алуу үчүн Zhenhua Vacuum компаниясына кайрылыңыз.
- Бул макала жарыяланган вакуумдук каптоочу машина өндүрүүчүсү Чжэньхуа чаң соргуч машинасы.
Жарыяланган убактысы: 2025-жылдын 14-июну