ការប្រើប្រាស់ស្នប់បូមធូលីក្នុងដំណើរការថ្នាំកូត

នៅក្នុងប្រព័ន្ធថ្នាំកូតក្នុងសុញ្ញកាស ម៉ាស៊ីនបូមធូលីដើរតួនាទីយ៉ាងសំខាន់។ ពួកវាជាសមាសធាតុសំខាន់ៗសម្រាប់សម្រេចបាននូវបរិយាកាសសុញ្ញកាសខ្ពស់ដែលត្រូវការសម្រាប់ដំណើរការថ្នាំកូត ដែលប៉ះពាល់ដោយផ្ទាល់ដល់ប្រសិទ្ធភាពថ្នាំកូត គុណភាពខ្សែភាពយន្ត និងទិន្នផលផលិតកម្ម។ ដំណើរការថ្នាំកូតផ្សេងៗគ្នាមានតម្រូវការកម្រិតសុញ្ញកាសខុសៗគ្នា ដែលធ្វើឱ្យការជ្រើសរើសស្នប់ត្រឹមត្រូវមានសារៈសំខាន់។ ក្នុងនាមជាក្រុមហ៊ុនផលិតឧបករណ៍ថ្នាំកូតក្នុងសុញ្ញកាសឈានមុខគេ Zhenhua Vacuum ផ្តល់នូវការវិភាគយ៉ាងទូលំទូលាយអំពីប្រភេទស្នប់ធូលីសំខាន់ៗ និងកម្មវិធីជាក់លាក់របស់វានៅក្នុងបច្ចេកវិទ្យាថ្នាំកូត។

ចំណាត់ថ្នាក់លេខ 1 នៃស្នប់បូមធូលី
ដោយផ្អែកលើគោលការណ៍ប្រតិបត្តិការ ម៉ាស៊ីនបូមធូលីអាចត្រូវបានចាត់ថ្នាក់ដូចខាងក្រោម៖

១. ស្នប់មេកានិច (ស្នប់ខាងមុខ)
ភាគច្រើនប្រើដើម្បីជម្លៀសប្រព័ន្ធចេញពីសម្ពាធបរិយាកាសទៅកន្លែងទំនេរទាប (10⁻¹ ~ 10⁻³ Pa) ជាធម្មតាបម្រើជាស្នប់បម្រុងសម្រាប់ស្នប់កន្លែងទំនេរខ្ពស់។
ស្នប់​វ៉ាន​បង្វិល៖ រចនា​បថ​តូច ងាយស្រួល​ថែទាំ ស័ក្តិសម​សម្រាប់​ប្រព័ន្ធ​ថ្នាំកូត​ទ្រង់ទ្រាយ​តូច។
ស្នប់វីសស្ងួត៖ ប្រតិបត្តិការគ្មានប្រេង ល្អសម្រាប់ប្រព័ន្ធបូមធូលីស្អាតដែលមានតម្រូវការភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់។

២. ម៉ាស៊ីនបូម Turbomolecular (ម៉ាស៊ីនបូមខ្យល់ដែលមានសម្ពាធខ្ពស់)
មានសមត្ថភាពសម្រេចបាននូវសម្ពាធខ្យល់ខ្ពស់ខ្លាំង (≤10⁻⁶ Pa) ដែលជារឿយៗត្រូវបានផ្គូផ្គងជាមួយស្នប់មេកានិចសម្រាប់ដំណើរការ PVD (Physical Vapor Deposition) និង CVD (Chemical Vapor Deposition)។ ពួកវាផ្តល់នូវលក្ខខណ្ឌសម្ពាធខ្យល់ខ្ពស់ស្អាត និងមានស្ថេរភាព ដែលធ្វើឱ្យពួកវាក្លាយជាសមាសធាតុស្នូលនៅក្នុងប្រព័ន្ធថ្នាំកូតដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់។

៣. ស្នប់សាយភាយ
ខណៈពេលដែលមានសមត្ថភាពឈានដល់ 10⁻⁶ Pa ការបំពុលចំហាយប្រេងរបស់វាកំណត់ការប្រើប្រាស់របស់វានៅក្នុងថ្នាំកូតអុបទិក និងកម្មវិធីភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ផ្សេងទៀត។ ត្រូវបានជំនួសកាន់តែខ្លាំងឡើងដោយស្នប់ turbomolecular នៅក្នុងប្រព័ន្ធថ្នាំកូតឧស្សាហកម្ម។

៤. ម៉ាស៊ីនបូមទឹកសម្រាប់ដំណាំ (ម៉ាស៊ីនបូមទឹកជំរុញ)
ជាទូទៅត្រូវបានប្រើជាមួយស្នប់វ៉ានរ៉ូតារីក្នុងដំណាក់កាលបូមខ្យល់មធ្យម ដើម្បីបង្កើនល្បឿនបូម និងកាត់បន្ថយពេលវេលាបូមមុនពេលលាបថ្នាំ។

៥. ម៉ាស៊ីនបូមម៉ូលេគុលទួរបូ
ត្រូវបានគេស្គាល់ថាមានល្បឿនបូមខ្ពស់ និងប្រតិបត្តិការមានស្ថេរភាព ពួកវាត្រូវបានគេប្រើយ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងកម្មវិធីថ្នាំកូតស៊ីមីកុងដុកទ័រ អុបទិក និងវេជ្ជសាស្ត្រ ដែលត្រូវការផលិតកម្មជាបន្តបន្ទាប់។

សេណារីយ៉ូអនុវត្តលេខ 2 ក្នុងថ្នាំកូតសុញ្ញកាស
ការកំណត់រចនាសម្ព័ន្ធស្នប់បូមធូលីផ្សេងៗគ្នាត្រូវបានប្រើប្រាស់នៅដំណាក់កាលថ្នាំកូតផ្សេងៗគ្នា៖

ដំណាក់កាលបូមដំបូង៖ ម៉ាស៊ីនបូមមេកានិច (ឧទាហរណ៍ ម៉ាស៊ីនបូមខ្យល់បង្វិល ម៉ាស៊ីនបូមស្ងួត) កាត់បន្ថយសម្ពាធក្នុងបន្ទប់យ៉ាងឆាប់រហ័ស។

ដំណាក់កាលបូមធូលីមធ្យម៖ ម៉ាស៊ីនបូមឫសបង្កើនប្រសិទ្ធភាពនៃការជម្លៀស។

ដំណាក់កាល​សុញ្ញកាស​ខ្ពស់៖ ម៉ាស៊ីនបូម Turbomolecular/Turbo បង្កើត​បរិយាកាស​សុញ្ញកាស​ខ្ពស់​ដែល​ត្រូវការ។

ដំណើរការថ្នាំកូតពិសេស៖ ការបាញ់ថ្នាំម៉ាញ៉េត្រុង និងការហួតធ្នឹមអគ្គិសនី ទាមទារប្រព័ន្ធគ្មានប្រេង ឬស្នប់ស្ងួតដំណើរការខ្ពស់ ដើម្បីធានាបាននូវភាពបរិសុទ្ធនៃខ្សែភាពយន្ត។

ការជ្រើសរើសស្នប់ត្រូវតែពិចារណាពីប្រភេទសម្ភារៈ សីតុណ្ហភាពដំណើរការ កម្រាស់ខ្សែភាពយន្ត និងបរិមាណប្រព័ន្ធ ដើម្បីបំពេញតាមតម្រូវការកម្រិតសុញ្ញកាស និងអនាម័យជាក់លាក់។

លេខ 3 ការជ្រើសរើសប្រព័ន្ធស្នប់បូមធូលីល្អបំផុត

ប្រព័ន្ធបូមធូលីដ៏ល្អគួរតែមានលក្ខណៈពិសេស៖
ល្បឿនបូមត្រូវគ្នានឹងបរិមាណបន្ទប់
ការសម្រេចបាននូវកន្លែងទំនេរចុងក្រោយនៃគោលដៅ
ប្រតិបត្តិការមានស្ថេរភាពជាមួយនឹងការថែទាំទាប
ដំណើរការគ្មានប្រេង និងគ្មានភាគល្អិត
ការអនុលោមតាមស្តង់ដារបរិស្ថាន និងថាមពល

សម្រាប់ការប្រើប្រាស់ថ្នាំកូតអុបទិក សេមីកុងដុកទ័រ ឬថ្នាំកូតតុបតែងដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ ការរួមបញ្ចូលគ្នាបីដំណាក់កាល (ស្នប់ស្ងួត + ស្នប់ឫស + ស្នប់ទួរម៉ូលេគុល) ត្រូវបានណែនាំ។

ទោះបីជាម៉ាស៊ីនបូមធូលីមានទំហំតូចក៏ដោយ ក៏ម៉ាស៊ីនបូមធូលីមានសារៈសំខាន់ចំពោះប្រព័ន្ធថ្នាំកូតបូមធូលី។ ការជ្រើសរើស និងការកំណត់រចនាសម្ព័ន្ធម៉ាស៊ីនបូមត្រឹមត្រូវជួយបង្កើនគុណភាពខ្សែភាពយន្ត ប្រសិទ្ធភាពប្រព័ន្ធ អាយុកាលឧបករណ៍ និងប្រសិទ្ធភាពចំណាយ។ ទាក់ទងម៉ាស៊ីនបូមធូលី Zhenhua សម្រាប់ដំណោះស្រាយបូមធូលីតាមតម្រូវការរបស់អ្នក។

- អត្ថបទនេះត្រូវបានបោះពុម្ពផ្សាយដោយ ក្រុមហ៊ុនផលិតម៉ាស៊ីនថ្នាំកូតបូមធូលី ម៉ាស៊ីនបូមធូលី Zhenhua។