ಲೇಪನ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಲ್ಲಿ ನಿರ್ವಾತ ಪಂಪ್‌ಗಳ ಅನ್ವಯಗಳು

ನಿರ್ವಾತ ಲೇಪನ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳಲ್ಲಿ, ನಿರ್ವಾತ ಪಂಪ್‌ಗಳು ನಿರ್ಣಾಯಕ ಪಾತ್ರವನ್ನು ವಹಿಸುತ್ತವೆ. ಲೇಪನ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಿಗೆ ಅಗತ್ಯವಾದ ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿರ್ವಾತ ಪರಿಸರವನ್ನು ಸಾಧಿಸಲು ಅವು ಅತ್ಯಗತ್ಯ ಅಂಶಗಳಾಗಿವೆ, ಇದು ಲೇಪನ ದಕ್ಷತೆ, ಫಿಲ್ಮ್ ಗುಣಮಟ್ಟ ಮತ್ತು ಉತ್ಪಾದನಾ ಇಳುವರಿಯ ಮೇಲೆ ನೇರವಾಗಿ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುತ್ತದೆ. ವಿಭಿನ್ನ ಲೇಪನ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳು ವಿಭಿನ್ನ ನಿರ್ವಾತ ಮಟ್ಟದ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದ್ದು, ಸರಿಯಾದ ಪಂಪ್ ಆಯ್ಕೆಯನ್ನು ನಿರ್ಣಾಯಕವಾಗಿಸುತ್ತದೆ. ಪ್ರಮುಖ ನಿರ್ವಾತ ಲೇಪನ ಸಲಕರಣೆ ತಯಾರಕರಾಗಿ, ಝೆನ್ಹುವಾ ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ಪ್ರಮುಖ ನಿರ್ವಾತ ಪಂಪ್ ಪ್ರಕಾರಗಳು ಮತ್ತು ಲೇಪನ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನಗಳಲ್ಲಿ ಅವುಗಳ ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳ ಸಮಗ್ರ ವಿಶ್ಲೇಷಣೆಯನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ.

ನಂ.1 ನಿರ್ವಾತ ಪಂಪ್‌ಗಳ ವರ್ಗೀಕರಣ
ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯ ತತ್ವಗಳ ಆಧಾರದ ಮೇಲೆ, ನಿರ್ವಾತ ಪಂಪ್‌ಗಳನ್ನು ಈ ಕೆಳಗಿನಂತೆ ವರ್ಗೀಕರಿಸಬಹುದು:

1. ಯಾಂತ್ರಿಕ ಪಂಪ್‌ಗಳು (ಫೋರ್ ಪಂಪ್‌ಗಳು)
ವಾತಾವರಣದ ಒತ್ತಡದಿಂದ ಕಡಿಮೆ ನಿರ್ವಾತಕ್ಕೆ (10⁻¹ ~ 10⁻³ Pa) ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳನ್ನು ಸ್ಥಳಾಂತರಿಸಲು ಪ್ರಾಥಮಿಕವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿರ್ವಾತ ಪಂಪ್‌ಗಳಿಗೆ ಬ್ಯಾಕಿಂಗ್ ಪಂಪ್‌ಗಳಾಗಿ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸುತ್ತದೆ.
ರೋಟರಿ ವೇನ್ ಪಂಪ್‌ಗಳು: ಸಾಂದ್ರ ವಿನ್ಯಾಸ, ಸುಲಭ ನಿರ್ವಹಣೆ, ಸಣ್ಣ-ಪ್ರಮಾಣದ ಲೇಪನ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳಿಗೆ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ.
ಡ್ರೈ ಸ್ಕ್ರೂ ಪಂಪ್‌ಗಳು: ಎಣ್ಣೆ-ಮುಕ್ತ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ಶುದ್ಧ ನಿರ್ವಾತ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳಿಗೆ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ.

2. ಟರ್ಬೋಮೋಲಿಕ್ಯುಲರ್ ಪಂಪ್‌ಗಳು (ಹೈ-ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ಪಂಪ್‌ಗಳು)
ಅತಿ-ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿರ್ವಾತವನ್ನು (≤10⁻⁶ Pa) ಸಾಧಿಸುವ ಸಾಮರ್ಥ್ಯವನ್ನು ಹೊಂದಿದ್ದು, ಇದನ್ನು ಹೆಚ್ಚಾಗಿ PVD (ಭೌತಿಕ ಆವಿ ಶೇಖರಣೆ) ಮತ್ತು CVD (ರಾಸಾಯನಿಕ ಆವಿ ಶೇಖರಣೆ) ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಿಗೆ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಪಂಪ್‌ಗಳೊಂದಿಗೆ ಜೋಡಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಅವು ಶುದ್ಧ, ಸ್ಥಿರವಾದ ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿರ್ವಾತ ಪರಿಸ್ಥಿತಿಗಳನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತವೆ, ಇದು ಹೆಚ್ಚಿನ-ನಿಖರತೆಯ ಲೇಪನ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳಲ್ಲಿ ಪ್ರಮುಖ ಅಂಶವಾಗಿದೆ.

3. ಪ್ರಸರಣ ಪಂಪ್‌ಗಳು
10⁻⁶ ಪ್ಯಾಸ್ಕಲ್ ತಲುಪುವ ಸಾಮರ್ಥ್ಯವನ್ನು ಹೊಂದಿದ್ದರೂ, ಅವುಗಳ ತೈಲ ಆವಿ ಮಾಲಿನ್ಯವು ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಲೇಪನಗಳು ಮತ್ತು ಇತರ ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳಲ್ಲಿ ಅವುಗಳ ಬಳಕೆಯನ್ನು ಮಿತಿಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ. ಕೈಗಾರಿಕಾ ಲೇಪನ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳಲ್ಲಿ ಟರ್ಬೊಮಾಲಿಕ್ಯುಲರ್ ಪಂಪ್‌ಗಳಿಂದ ಹೆಚ್ಚಾಗಿ ಬದಲಾಯಿಸಲ್ಪಡುತ್ತಿದೆ.

4. ರೂಟ್ಸ್ ಪಂಪ್‌ಗಳು (ಬೂಸ್ಟರ್ ಪಂಪ್‌ಗಳು)
ಮಧ್ಯಮ-ನಿರ್ವಾತ ಹಂತದಲ್ಲಿ ಪಂಪಿಂಗ್ ವೇಗವನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸಲು ಮತ್ತು ಲೇಪನ ಮಾಡುವ ಮೊದಲು ಪಂಪ್-ಡೌನ್ ಸಮಯವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಲು ರೋಟರಿ ವೇನ್ ಪಂಪ್‌ಗಳೊಂದಿಗೆ ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.

5. ಟರ್ಬೊ ಆಣ್ವಿಕ ಪಂಪ್‌ಗಳು
ಹೆಚ್ಚಿನ ಪಂಪಿಂಗ್ ವೇಗ ಮತ್ತು ಸ್ಥಿರ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಗೆ ಹೆಸರುವಾಸಿಯಾಗಿರುವ ಇವು, ನಿರಂತರ ಉತ್ಪಾದನೆಯ ಅಗತ್ಯವಿರುವ ಅರೆವಾಹಕ, ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಮತ್ತು ವೈದ್ಯಕೀಯ ಲೇಪನ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳಲ್ಲಿ ವ್ಯಾಪಕವಾಗಿ ಬಳಸಲ್ಪಡುತ್ತವೆ.

ನಂ.2 ನಿರ್ವಾತ ಲೇಪನದಲ್ಲಿ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್ ಸನ್ನಿವೇಶಗಳು
ವಿವಿಧ ಲೇಪನ ಹಂತಗಳಲ್ಲಿ ವಿಭಿನ್ನ ನಿರ್ವಾತ ಪಂಪ್ ಸಂರಚನೆಗಳನ್ನು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ:

ಆರಂಭಿಕ ಪಂಪಿಂಗ್ ಹಂತ: ಯಾಂತ್ರಿಕ ಪಂಪ್‌ಗಳು (ಉದಾ, ರೋಟರಿ ವೇನ್, ಡ್ರೈ ಪಂಪ್‌ಗಳು) ಚೇಂಬರ್ ಒತ್ತಡವನ್ನು ತ್ವರಿತವಾಗಿ ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ.

ಮಧ್ಯಮ-ನಿರ್ವಾತ ಹಂತ: ರೂಟ್ಸ್ ಪಂಪ್‌ಗಳು ಸ್ಥಳಾಂತರಿಸುವ ದಕ್ಷತೆಯನ್ನು ಸುಧಾರಿಸುತ್ತದೆ.

ಹೆಚ್ಚಿನ-ನಿರ್ವಾತ ಹಂತ: ಟರ್ಬೊಮಾಲಿಕ್ಯುಲರ್/ಟರ್ಬೊ ಪಂಪ್‌ಗಳು ಅಗತ್ಯವಿರುವ ಹೆಚ್ಚಿನ-ನಿರ್ವಾತ ಪರಿಸರವನ್ನು ಸ್ಥಾಪಿಸುತ್ತವೆ.

ವಿಶೇಷ ಲೇಪನ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳು: ಮ್ಯಾಗ್ನೆಟ್ರಾನ್ ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಇ-ಬೀಮ್ ಆವಿಯಾಗುವಿಕೆಗೆ ಫಿಲ್ಮ್ ಶುದ್ಧತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ತೈಲ-ಮುಕ್ತ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳು ಅಥವಾ ಹೆಚ್ಚಿನ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ ಡ್ರೈ ಪಂಪ್‌ಗಳು ಬೇಕಾಗುತ್ತವೆ.

ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ನಿರ್ವಾತ ಮಟ್ಟ ಮತ್ತು ಶುಚಿತ್ವದ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸಲು ಪಂಪ್ ಆಯ್ಕೆಯು ವಸ್ತುವಿನ ಪ್ರಕಾರ, ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ತಾಪಮಾನ, ಫಿಲ್ಮ್ ದಪ್ಪ ಮತ್ತು ವ್ಯವಸ್ಥೆಯ ಪರಿಮಾಣವನ್ನು ಪರಿಗಣಿಸಬೇಕು.

ನಂ.3 ಅತ್ಯುತ್ತಮ ನಿರ್ವಾತ ಪಂಪ್ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯನ್ನು ಆಯ್ಕೆ ಮಾಡುವುದು

ಆದರ್ಶ ನಿರ್ವಾತ ಪಂಪಿಂಗ್ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯು ಈ ಕೆಳಗಿನವುಗಳನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿರಬೇಕು:
ಪಂಪಿಂಗ್ ವೇಗವು ಕೋಣೆಯ ಪರಿಮಾಣಕ್ಕೆ ಹೊಂದಿಕೆಯಾಗುತ್ತದೆ
ಗುರಿ ಅಂತಿಮ ನಿರ್ವಾತದ ಸಾಧನೆ
ಕಡಿಮೆ ನಿರ್ವಹಣೆಯೊಂದಿಗೆ ಸ್ಥಿರ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆ
ಎಣ್ಣೆ-ಮುಕ್ತ ಮತ್ತು ಕಣ-ಮುಕ್ತ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆ
ಪರಿಸರ ಮತ್ತು ಇಂಧನ ಮಾನದಂಡಗಳ ಅನುಸರಣೆ

ನಿಖರವಾದ ಆಪ್ಟಿಕಲ್, ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಅಥವಾ ಅಲಂಕಾರಿಕ ಲೇಪನ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳಿಗಾಗಿ, ಮೂರು-ಹಂತದ ಸಂಯೋಜನೆಯನ್ನು (ಡ್ರೈ ಪಂಪ್ + ರೂಟ್ಸ್ ಪಂಪ್ + ಟರ್ಬೊಮಾಲಿಕ್ಯುಲರ್ ಪಂಪ್) ಶಿಫಾರಸು ಮಾಡಲಾಗಿದೆ.

ಸಾಂದ್ರವಾಗಿದ್ದರೂ, ನಿರ್ವಾತ ಪಂಪ್‌ಗಳು ನಿರ್ವಾತ ಲೇಪನ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳಿಗೆ ಅತ್ಯಗತ್ಯ. ಸರಿಯಾದ ಪಂಪ್ ಆಯ್ಕೆ ಮತ್ತು ಸಂರಚನೆಯು ಫಿಲ್ಮ್ ಗುಣಮಟ್ಟ, ವ್ಯವಸ್ಥೆಯ ದಕ್ಷತೆ, ಸಲಕರಣೆಗಳ ಜೀವಿತಾವಧಿ ಮತ್ತು ವೆಚ್ಚ-ಪರಿಣಾಮಕಾರಿತ್ವವನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸುತ್ತದೆ. ನಿಮ್ಮ ಲೇಪನ ಅಗತ್ಯಗಳಿಗೆ ಅನುಗುಣವಾಗಿ ಕಸ್ಟಮೈಸ್ ಮಾಡಿದ ನಿರ್ವಾತ ಪರಿಹಾರಗಳಿಗಾಗಿ ಝೆನ್ಹುವಾ ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ಅನ್ನು ಸಂಪರ್ಕಿಸಿ.

-ಈ ಲೇಖನವನ್ನು ಪ್ರಕಟಿಸಿದವರು ನಿರ್ವಾತ ಲೇಪನ ಯಂತ್ರ ತಯಾರಕ ಝೆನ್ಹುವಾ ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್.