د ویکیوم کوټینګ سیسټمونو کې، ویکیوم پمپونه مهم رول لوبوي. دوی د کوټینګ پروسو لپاره اړین لوړ ویکیوم چاپیریال ترلاسه کولو لپاره اړین برخې دي، چې مستقیم د کوټینګ موثریت، د فلم کیفیت، او د تولید حاصل اغیزه کوي. د کوټینګ مختلف پروسې د ویکیوم کچې مختلف اړتیاوې لري، چې د مناسب پمپ انتخاب خورا مهم کوي. د ویکیوم کوټینګ تجهیزاتو مخکښ جوړونکي په توګه، ژینهوا ویکیوم د کوټینګ ټیکنالوژیو کې د لوی ویکیوم پمپ ډولونو او د دوی ځانګړي غوښتنلیکونو جامع تحلیل وړاندې کوي.
د ویکیوم پمپونو لومړۍ درجه بندي
د عملیاتو د اصولو پر بنسټ، د ویکیوم پمپونه په لاندې ډول طبقه بندي کیدی شي:
۱. میخانیکي پمپونه (مخکیني پمپونه)
په عمده توګه د اتموسفیر فشار څخه ټیټ خلا (10⁻¹ ~ 10⁻³ Pa) ته د سیسټمونو ایستلو لپاره کارول کیږي، چې معمولا د لوړ خلا پمپونو لپاره د ملاتړ پمپونو په توګه کار کوي.
د روټري وین پمپونه: کمپیکټ ډیزاین، اسانه ساتنه، د کوچني پیمانه کوټینګ سیسټمونو لپاره مناسب.
وچ سکرو پمپونه: د تیلو څخه پاک عملیات، د لوړ پاکوالي اړتیاو سره د پاک ویکیوم سیسټمونو لپاره مثالی.
۲. د توربو مالیکولر پمپونه (د لوړ خلا پمپونه)
د الټرا لوړ ویکیوم (≤10⁻⁶ Pa) ترلاسه کولو وړتیا لري، ډیری وختونه د PVD (فزیکي بخار زیرمه) او CVD (کیمیاوي بخار زیرمه) پروسو لپاره میخانیکي پمپونو سره جوړه کیږي. دوی پاک، باثباته لوړ ویکیوم شرایط چمتو کوي، دوی د لوړ دقیق کوټینګ سیسټمونو کې اصلي برخه جوړوي.
۳. د خپریدو پمپونه
که څه هم د 10⁻⁶ Pa ته د رسیدو وړتیا لري، د دوی د تیلو بخار ککړتیا په آپټیکل کوټینګونو او نورو لوړ پاکوالي غوښتنلیکونو کې د دوی کارول محدودوي. په صنعتي کوټینګ سیسټمونو کې د ټربو مالیکولر پمپونو لخوا په زیاتیدونکي توګه ځای په ځای شوي.
۴. د ریښو پمپونه (بوسټر پمپونه)
معمولا د منځنۍ خلا مرحلې په جریان کې د روټري وین پمپونو سره کارول کیږي ترڅو د پمپ کولو سرعت لوړ کړي او د کوټ کولو دمخه د پمپ کولو وخت کم کړي.
۵. ټربو مالیکولر پمپونه
د لوړ پمپ کولو سرعت او باثباته عملیاتو لپاره پیژندل شوي، دوی په پراخه کچه په سیمیکمډکټر، آپټیکل، او طبي کوټینګ غوښتنلیکونو کې کارول کیږي چې دوامداره تولید ته اړتیا لري.
د ویکیوم کوټینګ کې د نمبر 2 غوښتنلیک سناریوګانې
د ویکیوم پمپ مختلف تشکیلات د پوښښ په مختلفو مرحلو کې کارول کیږي:
د پمپ کولو لومړنۍ مرحله: میخانیکي پمپونه (د بیلګې په توګه، روټري وین، وچ پمپونه) په چټکۍ سره د چیمبر فشار کموي.
د منځنۍ خلا مرحله: د ریښو پمپونه د تخلیې موثریت ښه کوي.
د لوړ ویکیوم مرحله: د ټربو مالیکولر/ټربو پمپونه اړین لوړ ویکیوم چاپیریال رامینځته کوي.
د پوښښ ځانګړي پروسې: د میګنیټرون سپټرینګ او ای-بیم تبخیر د تیلو څخه پاک سیسټمونو یا لوړ فعالیت لرونکي وچ پمپونو ته اړتیا لري ترڅو د فلم پاکوالی ډاډمن کړي.
د پمپ انتخاب باید د موادو ډول، د پروسې تودوخه، د فلم ضخامت، او د سیسټم حجم په پام کې ونیسي ترڅو د خلا ځانګړي کچې او پاکوالي اړتیاوې پوره کړي.
نمبر ۳ د ویکیوم پمپ د غوره سیسټم غوره کول
د ویکیوم پمپ کولو یو مثالی سیسټم باید لاندې ځانګړتیاوې ولري:
د پمپ کولو سرعت د چیمبر حجم سره سمون لري
د هدف وروستۍ خلا لاسته راوړنه
د ټیټ ساتنې سره مستحکم عملیات
د تیلو څخه پاک او ذراتو څخه پاک فعالیت
د چاپیریال او انرژۍ معیارونو سره مطابقت
د دقیق نظري، نیمه کنډکټر، یا آرائشی کوټینګ غوښتنلیکونو لپاره، د دریو مرحلو ترکیب (وچ پمپ + ریښو پمپ + ټربو مالیکولر پمپ) سپارښتنه کیږي.
که څه هم کمپیکٹ، ویکیوم پمپونه د ویکیوم کوټینګ سیسټمونو لپاره خورا مهم دي. د پمپ مناسب انتخاب او ترتیب د فلم کیفیت، د سیسټم موثریت، د تجهیزاتو عمر، او د لګښت اغیزمنتوب لوړوي. د خپلو کوټینګ اړتیاو سره سم د دودیز ویکیوم حلونو لپاره د ژینهوا ویکیوم سره اړیکه ونیسئ.
- دا مقاله د لخوا خپره شوې ده د ویکیوم کوټینګ ماشین جوړونکی د ژینهوا ویکیوم.
د پوسټ وخت: جون-۱۴-۲۰۲۵