የቫኩም ፓምፖች አፕሊኬሽኖች በሽፋን ሂደቶች ውስጥ

በቫክዩም ሽፋን ስርዓቶች ውስጥ፣ የቫክዩም ፓምፖች ወሳኝ ሚና ይጫወታሉ። ለሽፋን ሂደቶች የሚያስፈልገውን ከፍተኛ የቫክዩም አካባቢ ለማሳካት አስፈላጊ አካላት ናቸው፣ ይህም በቀጥታ የሽፋን ቅልጥፍናን፣ የፊልም ጥራትን እና የምርት ምርትን ይነካል። የተለያዩ የሽፋን ሂደቶች የተለያዩ የቫክዩም ደረጃ መስፈርቶች አሏቸው፣ ይህም ትክክለኛ የፓምፕ ምርጫ ወሳኝ ያደርገዋል። እንደ ግንባር ቀደም የቫክዩም ሽፋን መሳሪያዎች አምራች፣ ዜንሁዋ ቫክዩም ዋና ዋና የቫክዩም ፓምፕ ዓይነቶችን እና በሽፋን ቴክኖሎጂዎች ውስጥ ያላቸውን ልዩ አተገባበር አጠቃላይ ትንታኔ ይሰጣል።

የቫኩም ፓምፖች ቁጥር 1 ምደባ
በአሠራር መርሆዎች ላይ በመመስረት የቫክዩም ፓምፖች እንደሚከተለው ሊመደቡ ይችላሉ-

1. ሜካኒካል ፓምፖች (የፊት ፓምፖች)
በዋናነት ስርዓቶችን ከከባቢ አየር ግፊት ወደ ዝቅተኛ የቫክዩም (10⁻¹ ~ 10⁻³ ፓ) ለማስወገድ የሚያገለግል ሲሆን ይህም ብዙውን ጊዜ ለከፍተኛ የቫክዩም ፓምፖች እንደ ድጋፍ ፓምፖች ሆኖ ያገለግላል።
የሮታሪ ቫን ፓምፖች፡- አነስተኛ ዲዛይን፣ ቀላል ጥገና፣ ለአነስተኛ ደረጃ ሽፋን ስርዓቶች ተስማሚ።
ደረቅ የዊንች ፓምፖች፡ ዘይት-አልባ አሠራር፣ ከፍተኛ የንፅህና መስፈርቶች ላሏቸው ንጹህ የቫክዩም ስርዓቶች ተስማሚ።

2. ቱርቦሞሌኩላር ፓምፖች (ከፍተኛ የቫክዩም ፓምፖች)
እጅግ በጣም ከፍተኛ የሆነ የቫክዩም (≤10⁻⁶ ፓ) ለማሳካት የሚችል፣ ብዙውን ጊዜ ለ PVD (አካላዊ የእንፋሎት ክምችት) እና ለ CVD (ኬሚካል የእንፋሎት ክምችት) ሂደቶች ከሜካኒካል ፓምፖች ጋር ተጣምሮ። ንፁህ፣ የተረጋጋ ከፍተኛ የቫክዩም ሁኔታዎችን ይሰጣሉ፣ ይህም በከፍተኛ ትክክለኛነት ሽፋን ስርዓቶች ውስጥ ዋና አካል ያደርጋቸዋል።

3. የስርጭት ፓምፖች
የነዳጅ ትነት ብክለት 10⁻⁶ ፓ ሊደርስ ቢችልም፣ በኦፕቲካል ሽፋኖች እና በሌሎች ከፍተኛ ንፅህና አፕሊኬሽኖች ውስጥ አጠቃቀማቸውን ይገድባል። በኢንዱስትሪ ሽፋን ስርዓቶች ውስጥ በቱርቦሞሌኩላር ፓምፖች እየተተካ ነው።

4. የሩትስ ፓምፖች (የማበረታቻ ፓምፖች)
በመካከለኛ-ቫክዩም ደረጃ ላይ በሚሽከረከሩ የቫክዩም ፓምፖች ላይ በብዛት ጥቅም ላይ የሚውለው የፓምፕ ፍጥነትን ለማሻሻል እና ከመሸፈኑ በፊት የፓምፕ የማውረድ ጊዜን ለመቀነስ ነው።

5. ቱርቦ ሞለኪውላር ፓምፖች
በከፍተኛ የፓምፕ ፍጥነት እና በተረጋጋ አሠራር የሚታወቁት እነዚህ ምርቶች ቀጣይነት ያለው ምርት በሚያስፈልጋቸው ሴሚኮንዳክተር፣ ኦፕቲካል እና የህክምና ሽፋን አፕሊኬሽኖች ውስጥ በስፋት ጥቅም ላይ ይውላሉ።

በቫክዩም ሽፋን ውስጥ ቁጥር 2 የአጠቃቀም ሁኔታዎች
የተለያዩ የቫክዩም ፓምፕ ውቅሮች በተለያዩ የሽፋን ደረጃዎች ጥቅም ላይ ይውላሉ፡

የመጀመሪያ የፓምፕ ደረጃ፡ ሜካኒካል ፓምፖች (ለምሳሌ፣ ሮታሪ ቫን፣ ደረቅ ፓምፖች) የቻምበር ግፊትን በፍጥነት ይቀንሳሉ።

መካከለኛ-ቫክዩም ደረጃ፡ የሩት ፓምፖች የመልቀቂያ ቅልጥፍናን ያሻሽላሉ።

ከፍተኛ የቫክዩም ደረጃ፡- ቱርቦሞሌኩላር/ቱርቦ ፓምፖች አስፈላጊውን ከፍተኛ የቫክዩም አካባቢ ያዘጋጃሉ።

ልዩ የሽፋን ሂደቶች፡- ማግኔትሮን ስፑተርንግ እና ኢ-ቢም ትነት የፊልም ንፅህናን ለማረጋገጥ ዘይት-አልባ ስርዓቶችን ወይም ከፍተኛ አፈጻጸም ያላቸውን ደረቅ ፓምፖችን ይፈልጋሉ።

የፓምፕ ምርጫ የቁሳቁስ አይነት፣ የሂደት ሙቀት፣ የፊልም ውፍረት እና የስርዓት መጠንን ግምት ውስጥ ማስገባት አለበት፣ ይህም የተወሰኑ የቫክዩም ደረጃ እና የንፅህና መስፈርቶችን ማሟላት አለበት።

ቁጥር 3 ምርጥ የቫኩም ፓምፕ ሲስተም መምረጥ

ተስማሚ የቫክዩም ፓምፕ ሲስተም የሚከተሉትን ማካተት አለበት
የፓምፕ ፍጥነት ከክፍል መጠን ጋር ይዛመዳል
የዒላማውን የመጨረሻ ክፍተት ማሳካት
ዝቅተኛ ጥገና ያለው የተረጋጋ አሠራር
ዘይት-ነጻ እና ቅንጣት-ነጻ አፈጻጸም
የአካባቢ እና የኢነርጂ መስፈርቶችን ማክበር

ለትክክለኛ የኦፕቲካል፣ የሴሚኮንዳክተር ወይም የጌጣጌጥ ሽፋን አፕሊኬሽኖች፣ ባለ ሶስት ደረጃ ጥምረት (ደረቅ ፓምፕ + ሩትስ ፓምፕ + ቱርቦሞሌኩላር ፓምፕ) ይመከራል።

ምንም እንኳን የታመቁ ቢሆኑም የቫክዩም ፓምፖች ለቫክዩም ሽፋን ስርዓቶች በጣም አስፈላጊ ናቸው። ትክክለኛ የፓምፕ ምርጫ እና ውቅር የፊልም ጥራትን፣ የስርዓት ቅልጥፍናን፣ የመሳሪያዎችን ዕድሜ እና ወጪ ቆጣቢነትን ያሻሽላሉ። ለሽፋን ፍላጎቶችዎ የተበጁ ብጁ የቫክዩም መፍትሄዎችን ለማግኘት Zhenhua Vacuum ን ያነጋግሩ።

-ይህ ጽሑፍ የወጣው በ የቫክዩም ሽፋን ማሽን አምራች ዜንሁዋ ቫክዩም.