ආලේපන ක්‍රියාවලීන්හි රික්ත පොම්ප යෙදුම්

රික්ත ආලේපන පද්ධතිවල, රික්ත පොම්ප තීරණාත්මක කාර්යභාරයක් ඉටු කරයි. ආලේපන ක්‍රියාවලීන් සඳහා අවශ්‍ය ඉහළ රික්තක පරිසරය සාක්ෂාත් කර ගැනීම සඳහා ඒවා අත්‍යවශ්‍ය සංරචක වන අතර එය ආලේපන කාර්යක්ෂමතාව, පටල ගුණාත්මකභාවය සහ නිෂ්පාදන අස්වැන්න කෙරෙහි සෘජුවම බලපායි. විවිධ ආලේපන ක්‍රියාවලීන්හි විවිධ රික්ත මට්ටමේ අවශ්‍යතා ඇති අතර, නිසි පොම්ප තේරීම තීරණාත්මක කරයි. ප්‍රමුඛ රික්ත ආලේපන උපකරණ නිෂ්පාදකයෙකු ලෙස, ෂෙන්හුවා රික්තය ප්‍රධාන රික්ත පොම්ප වර්ග සහ ආලේපන තාක්ෂණයන්හි ඒවායේ නිශ්චිත යෙදුම් පිළිබඳ පුළුල් විශ්ලේෂණයක් සපයයි.

රික්තක පොම්ප වර්ගීකරණය අංක 1
ක්‍රියාකාරීත්වයේ මූලධර්ම මත පදනම්ව, රික්ත පොම්ප පහත පරිදි වර්ගීකරණය කළ හැකිය:

1. යාන්ත්‍රික පොම්ප (පෙර පොම්ප)
වායුගෝලීය පීඩනයේ සිට අඩු රික්තයක් (10⁻¹ ~ 10⁻³ Pa) දක්වා පද්ධති ඉවත් කිරීමට ප්‍රධාන වශයෙන් භාවිතා වේ, සාමාන්‍යයෙන් ඉහළ රික්තක පොම්ප සඳහා ආධාරක පොම්ප ලෙස සේවය කරයි.
භ්‍රමණ වේන් පොම්ප: සංයුක්ත නිර්මාණය, පහසු නඩත්තුව, කුඩා පරිමාණ ආලේපන පද්ධති සඳහා සුදුසු වේ.
වියළි ඉස්කුරුප්පු පොම්ප: තෙල් රහිත ක්‍රියාකාරිත්වය, ඉහළ සංශුද්ධතා අවශ්‍යතා සහිත පිරිසිදු රික්ත පද්ධති සඳහා වඩාත් සුදුසුය.

2. ටර්බෝමොලිකියුලර් පොම්ප (අධි රික්ත පොම්ප)
අතිශය ඉහළ රික්තයක් (≤10⁻⁶ Pa) ලබා ගැනීමේ හැකියාව ඇති, බොහෝ විට PVD (භෞතික වාෂ්ප තැන්පත් කිරීම) සහ CVD (රසායනික වාෂ්ප තැන්පත් කිරීම) ක්‍රියාවලීන් සඳහා යාන්ත්‍රික පොම්ප සමඟ යුගලනය කර ඇත. ඒවා පිරිසිදු, ස්ථාවර ඉහළ රික්තක තත්වයන් සපයන අතර, ඒවා ඉහළ නිරවද්‍යතාවයකින් යුත් ආලේපන පද්ධතිවල මූලික අංගයක් බවට පත් කරයි.

3. විසරණ පොම්ප
10⁻⁶ Pa දක්වා ළඟා විය හැකි වුවද, ඒවායේ තෙල් වාෂ්ප දූෂණය දෘශ්‍ය ආලේපන සහ අනෙකුත් අධි-පිරිසිදු යෙදුම්වල ඒවායේ භාවිතය සීමා කරයි. කාර්මික ආලේපන පද්ධතිවල ටර්බෝමූලිකියුලර් පොම්ප මගින් වැඩි වැඩියෙන් ප්‍රතිස්ථාපනය වේ.

4. මුල් පොම්ප (බූස්ටර් පොම්ප)
මධ්‍යම-රික්තක අවධියේදී පොම්ප කිරීමේ වේගය වැඩි දියුණු කිරීමට සහ ආලේප කිරීමට පෙර පොම්ප කිරීමේ කාලය අඩු කිරීමට භ්‍රමණ වේන් පොම්ප සමඟ බහුලව භාවිතා වේ.

5. ටර්බෝ අණුක පොම්ප
ඉහළ පොම්ප කිරීමේ වේගයන් සහ ස්ථාවර ක්‍රියාකාරිත්වය සඳහා ප්‍රසිද්ධ ඒවා, අඛණ්ඩ නිෂ්පාදනය අවශ්‍ය වන අර්ධ සන්නායක, දෘශ්‍ය සහ වෛද්‍ය ආලේපන යෙදුම්වල බහුලව භාවිතා වේ.

රික්තක ආලේපනයේ යෙදුම් අවස්ථා අංක 2
විවිධ ආලේපන අවස්ථා වලදී විවිධ රික්ත පොම්ප වින්‍යාසයන් භාවිතා වේ:

ආරම්භක පොම්ප කිරීමේ අදියර: යාන්ත්‍රික පොම්ප (උදා: භ්‍රමණ වේන්, වියළි පොම්ප) කුටීර පීඩනය වේගයෙන් අඩු කරයි.

මධ්‍යම-රික්තක අවධිය: මුල් පොම්ප ඉවත් කිරීමේ කාර්යක්ෂමතාව වැඩි දියුණු කරයි.

අධි-රික්තක අවධිය: ටර්බෝ අණුක/ටර්බෝ පොම්ප අවශ්‍ය ඉහළ-රික්තක පරිසරය ස්ථාපිත කරයි.

විශේෂ ආලේපන ක්‍රියාවලීන්: මැග්නට්‍රෝන ඉසීම සහ ඊ-කදම්භ වාෂ්පීකරණය සඳහා පටල සංශුද්ධතාවය සහතික කිරීම සඳහා තෙල්-නිදහස් පද්ධති හෝ ඉහළ කාර්යසාධනයක් සහිත වියළි පොම්ප අවශ්‍ය වේ.

පොම්ප තේරීමේදී නිශ්චිත රික්ත මට්ටම සහ පිරිසිදුකම අවශ්‍යතා සපුරාලීම සඳහා ද්‍රව්‍ය වර්ගය, ක්‍රියාවලි උෂ්ණත්වය, පටල ඝණකම සහ පද්ධති පරිමාව සලකා බැලිය යුතුය.

අංක 3 ප්‍රශස්ත රික්තක පොම්ප පද්ධතියක් තෝරා ගැනීම

කදිම රික්ත පොම්ප පද්ධතියක පහත සඳහන් අංග තිබිය යුතුය:
කුටියේ පරිමාවට ගැලපෙන පොම්ප කිරීමේ වේගය
ඉලක්කගත අවසාන රික්තය සාක්ෂාත් කර ගැනීම
අඩු නඩත්තුවක් සහිත ස්ථාවර ක්‍රියාකාරිත්වය
තෙල්-නිදහස් සහ අංශු-නිදහස් කාර්ය සාධනය
පාරිසරික හා බලශක්ති ප්‍රමිතීන්ට අනුකූල වීම

නිරවද්‍ය දෘශ්‍ය, අර්ධ සන්නායක හෝ අලංකාර ආලේපන යෙදුම් සඳහා, අදියර තුනක සංයෝජනයක් (වියළි පොම්පය + මුල් පොම්පය + ටර්බෝමොලිකියුලර් පොම්පය) නිර්දේශ කෙරේ.

සංයුක්ත වුවද, රික්තක ආලේපන පද්ධති සඳහා රික්තක පොම්ප අත්‍යවශ්‍ය වේ. නිසි පොම්ප තේරීම සහ වින්‍යාසය පටල ගුණාත්මකභාවය, පද්ධති කාර්යක්ෂමතාව, උපකරණ ආයු කාලය සහ පිරිවැය-ඵලදායීතාවය වැඩි දියුණු කරයි. ඔබේ ආලේපන අවශ්‍යතාවලට ගැලපෙන අභිරුචිකරණය කළ රික්තක විසඳුම් සඳහා Zhenhua Vacuum අමතන්න.

-මෙම ලිපිය ප්‍රකාශයට පත් කර ඇත්තේ රික්ත ආලේපන යන්ත්‍ර නිෂ්පාදකයා ෂෙන්හුවා රික්තකය.