N'ime sistemu mkpuchi oghere, ọkpọkọ oghere na-arụ ọrụ dị oke mkpa. Ha bụ ihe dị mkpa maka iru ebe ikuku dị elu dị mkpa maka usoro mkpuchi, na-emetụta arụmọrụ mkpuchi ozugbo, ịdị mma nke ihe nkiri, na mmepụta mmepụta. Usoro mkpuchi dị iche iche nwere ọkwa oghere oghere dị iche iche, na-eme ka nhọrọ ọkpọkọ kwesịrị ekwesị dị oke mkpa. Dịka onye na-emepụta akụrụngwa mkpuchi oghere, Zhenhua Vacuum na-enye nyocha zuru oke nke ụdị ọkpọkọ oghere dị mkpa na ngwa ha kpọmkwem na teknụzụ mkpuchi.
Nkebi nke 1 nke Nfuli Mmiri
Dabere na ụkpụrụ ọrụ, a pụrụ ikewapụ mgbapụta vacuum dị ka ndị a:
1. Pampụ Mekaniki (Pampụ Fore)
A na-ejikarị ya ewepụ sistemu site na nrụgide ikuku ruo na obere oghere ikuku (10⁻¹ ~ 10⁻³ Pa), nke na-arụkarị ọrụ dị ka pọmpụ nkwado maka pọmpụ vacuum dị elu.
Ngwuputa Rotary Vane: Nhazi dị obere, mmezi dị mfe, dabara adaba maka sistemụ mkpuchi obere.
Ngwuputa Skruu Akọrọ: Ọrụ anaghị enwe mmanụ, ọ dị mma maka sistemụ ikuku dị ọcha nke nwere ihe achọrọ dị elu maka ịdị ọcha.
2. Pumps Turbomolecular (Pomps Vacuum High-Vacuum)
Nwere ike iru oghere dị elu nke ukwuu (≤10⁻⁶ Pa), nke a na-ejikọkarị ya na ọkpọkọ igwe maka usoro PVD (Physical Vapor Deposition) na CVD (Chemical Vapor Deposition). Ha na-enye ọnọdụ vacuum dị ọcha, kwụsiri ike, na-eme ka ha bụrụ isi ihe dị na sistemụ mkpuchi dị elu.
3. Nfuli Mgbasa Ozi
Ọ bụ ezie na ọ nwere ike iru Pa 10⁻⁶, mmetọ uzuoku mmanụ ha na-ebelata ojiji ha na mkpuchi anya na ngwa ndị ọzọ dị ọcha. A na-eji mgbapụta turbomolecular dochie ya nke ukwuu na sistemụ mkpuchi ụlọ ọrụ.
4. Mgbọrọgwụ Mgbatị (Mgbọrọgwụ Mgbatị)
A na-ejikarị ya eme ihe na ọkpọkọ vane rotary n'oge a na-eji vacuum eme ihe iji mee ka ọsọ mgbapụta dịkwuo mma ma belata oge mgbapụta tupu e kpuchie ya.
5. Pumps nke Turbo Molekụla
A maara ha maka ọsọ mgbapụta dị elu na ọrụ kwụsiri ike, a na-ejikarị ha eme ihe na ngwa mkpuchi semiconductor, optical, na ọgwụ chọrọ mmepụta na-aga n'ihu.
Nke 2 Ihe Ndị E Ji Achọ Ihe n'ime Mkpuchi Uzuzu
A na-eji ụdị vacuum pump dị iche iche eme ihe n'ọnọdụ dị iche iche:
Oge Mmalite Mkpọpụta: Mkpọpụta igwe (dịka ọmụmaatụ, rotary vane, ọkpọkọ akọrọ) na-ebelata nrụgide ụlọ ngwa ngwa.
Ọkwa Mmiri Dị Mfe: Mkpọmkpọ mgbọrọgwụ na-eme ka ọrụ mwepụta dị mma.
Ọkwa Igwe Ọkụ Dị Elu: Pumpụ Turbomolecular/Turbo na-eguzobe gburugburu ebe ikuku dị elu achọrọ.
Usoro Mkpuchi Pụrụ Iche: Ịkpọpụta Magnetron na ikuku ọkụ E-beam chọrọ sistemụ enweghị mmanụ ma ọ bụ ọkpọkọ akọrọ dị elu iji hụ na ihe nkiri ahụ dị ọcha.
Nhọrọ ọkpọkọ ga-atụle ụdị ihe, okpomọkụ usoro, ọkpụrụkpụ ihe nkiri, na olu sistemụ iji mezuo ọkwa ikuku na ihe achọrọ maka ịdị ọcha.
Nke 3 Ịhọrọ Sistemụ Pump Vacuum Kachasị Mma
Sistemụ mgbapụta ikuku zuru oke kwesịrị ịnwe:
Ọsọ ọkpọkọ kwekọrọ na olu ụlọ
Mmezu nke ihe mgbaru ọsọ kachasị elu
Ọrụ kwụsiri ike na obere mmezi
Arụmọrụ enweghị mmanụ na enweghị ihe mkpofu
Nrubeisi na ụkpụrụ gburugburu ebe obibi na ike
Maka ngwa mkpuchi anya, semiconductor, ma ọ bụ ihe ịchọ mma, a na-atụ aro ka e jiri ngwakọta nke usoro atọ (Dry Pump + Roots Pump + Turbomolecular Pump mee ihe).
Ọ bụ ezie na ọ dị obere, ọ dị mkpa maka sistemụ mkpuchi ihe mkpofu. Nhọrọ na nhazi nke ọma nke ọkpọkọ na-eme ka mma ihe nkiri ahụ dịkwuo mma, arụmọrụ sistemụ, ogologo oge akụrụngwa, na ịdị ọnụ ala. Kpọtụrụ Zhenhua Vacuum maka ngwọta ihe mkpofu ahaziri ahazi nke dabara na mkpa mkpuchi gị.
-E bipụtara akụkọ a site n'aka onye igwe mkpuchi igwe emeputa ihe mkpuchi Zhenhua Vacuum.
Oge ozi: Juun-14-2025