Vakuum örtük sistemlərində vakuum nasosları mühüm rol oynayır. Onlar örtük prosesləri üçün tələb olunan yüksək vakuum mühitinə nail olmaq üçün vacib komponentlərdir və örtük səmərəliliyinə, film keyfiyyətinə və istehsal məhsuldarlığına birbaşa təsir göstərir. Müxtəlif örtük proseslərinin vakuum səviyyəsi tələbləri fərqlidir və bu da düzgün nasos seçimini vacib edir. Aparıcı vakuum örtük avadanlığı istehsalçısı olaraq, Zhenhua Vacuum əsas vakuum nasos növlərinin və onların örtük texnologiyalarında spesifik tətbiqlərinin hərtərəfli təhlilini təqdim edir.
Vakuum Nasoslarının 1 nömrəli təsnifatı
İş prinsipinə əsasən, vakuum nasosları aşağıdakılara bölünür:
1. Mexaniki Nasoslar (Ön Nasoslar)
Əsasən sistemləri atmosfer təzyiqindən aşağı vakuuma (10⁻¹ ~ 10⁻³ Pa) evakuasiya etmək üçün istifadə olunur və adətən yüksək vakuumlu nasoslar üçün arxa nasoslar kimi xidmət edir.
Dönər Pərli Nasoslar: Kompakt dizayn, asan texniki xidmət, kiçik miqyaslı örtük sistemləri üçün uyğundur.
Quru Vintli Nasoslar: Yağsız işləmə, yüksək təmizlik tələblərinə malik təmiz vakuum sistemləri üçün idealdır.
2. Turbomolekulyar Nasoslar (Yüksək Vakuumlu Nasoslar)
Ultra yüksək vakuuma (≤10⁻⁶ Pa) nail olmaq qabiliyyətinə malikdir, tez-tez PVD (Fiziki Buxar Çökməsi) və CVD (Kimyəvi Buxar Çökməsi) prosesləri üçün mexaniki nasoslarla birləşdirilir. Onlar təmiz, sabit yüksək vakuum şəraiti təmin edir və bu da onları yüksək dəqiqlikli örtük sistemlərində əsas komponentə çevirir.
3. Diffuziya Nasosları
10⁻⁶ Pa-ya çata bilsə də, onların yağ buxarı ilə çirklənməsi optik örtüklərdə və digər yüksək təmizlikli tətbiqlərdə istifadəsini məhdudlaşdırır. Sənaye örtük sistemlərində turbomolekulyar nasoslar getdikcə daha çox yerini alır.
4. Roots Nasosları (Gücləndirici Nasoslar)
Orta vakuum mərhələsində fırlanan qanadlı nasoslarla birlikdə, örtükləmədən əvvəl nasosun işləmə müddətini azaltmaq və nasosun sürətini artırmaq üçün geniş istifadə olunur.
5. Turbo Molekulyar Nasoslar
Yüksək nasos sürəti və sabit işləməsi ilə tanınan bu materiallar, fasiləsiz istehsal tələb edən yarımkeçirici, optik və tibbi örtük tətbiqlərində geniş istifadə olunur.
Vakuum örtükdə №2 Tətbiq Ssenariləri
Müxtəlif örtük mərhələlərində müxtəlif vakuum nasos konfiqurasiyaları istifadə olunur:
İlkin Nasos Mərhələsi: Mexaniki nasoslar (məsələn, fırlanan qanadlı nasoslar, quru nasoslar) kamera təzyiqini sürətlə azaldır.
Orta Vakuum Mərhələsi: Kök nasosları evakuasiya səmərəliliyini artırır.
Yüksək Vakuum Mərhələsi: Turbomolekulyar/Turbo nasoslar tələb olunan yüksək vakuum mühitini yaradır.
Xüsusi Örtük Prosesləri: Maqnetron püskürtmə və E-şüa buxarlanması, təbəqənin təmizliyini təmin etmək üçün yağsız sistemlər və ya yüksək performanslı quru nasoslar tələb edir.
Nasos seçimi zamanı müəyyən vakuum səviyyəsi və təmizlik tələblərinə cavab vermək üçün material növü, proses temperaturu, təbəqə qalınlığı və sistem həcmi nəzərə alınmalıdır.
№3 Optimal Vakuum Nasos Sisteminin Seçilməsi
İdeal vakuum nasos sistemi aşağıdakı xüsusiyyətlərə malik olmalıdır:
Nasos sürəti kamera həcminə uyğunlaşdırılıb
Hədəf son vakuuma nail olmaq
Az texniki xidmətlə sabit işləmə
Yağsız və hissəciksiz performans
Ətraf mühit və enerji standartlarına uyğunluq
Dəqiq optik, yarımkeçirici və ya dekorativ örtük tətbiqləri üçün üç mərhələli kombinasiya (Quru Nasos + Kök Nasosu + Turbomolekulyar Nasos) tövsiyə olunur.
Kompakt olsalar da, vakuum nasosları vakuum örtük sistemləri üçün vacibdir. Düzgün nasos seçimi və konfiqurasiyası film keyfiyyətini, sistemin səmərəliliyini, avadanlığın ömrünü və xərc səmərəliliyini artırır. Örtük ehtiyaclarınıza uyğunlaşdırılmış xüsusi vakuum həlləri üçün Zhenhua Vacuum ilə əlaqə saxlayın.
-Bu məqalə dərc olunub vakuum örtük maşını istehsalçısı Zhenhua Tozsoran.
Yazı vaxtı: 14 iyun 2025