Vakuuma pārklāšanas sistēmās vakuuma sūkņiem ir izšķiroša nozīme. Tie ir būtiski komponenti, lai panāktu pārklāšanas procesiem nepieciešamo augsta vakuuma vidi, tieši ietekmējot pārklāšanas efektivitāti, plēves kvalitāti un ražošanas ražību. Dažādiem pārklāšanas procesiem ir atšķirīgas vakuuma līmeņa prasības, tāpēc pareiza sūkņa izvēle ir ļoti svarīga. Kā vadošais vakuuma pārklāšanas iekārtu ražotājs, Zhenhua Vacuum sniedz visaptverošu galveno vakuuma sūkņu veidu un to specifisko pielietojumu pārklāšanas tehnoloģijās analīzi.
Vakuumsūkņu Nr. 1 klasifikācija
Pēc darbības principa vakuuma sūkņus var iedalīt šādos veidos:
1. Mehāniskie sūkņi (priekšējie sūkņi)
Galvenokārt izmanto sistēmu evakuācijai no atmosfēras spiediena līdz zemam vakuumam (10⁻¹ ~ 10⁻³ Pa), parasti kalpojot kā atbalsta sūkņi augsta vakuuma sūkņiem.
Rotācijas lāpstiņu sūkņi: kompakts dizains, vienkārša apkope, piemēroti maza mēroga pārklājumu sistēmām.
Sausās darbības skrūves sūkņi: darbība bez eļļas, ideāli piemēroti tīrām vakuuma sistēmām ar augstām tīrības prasībām.
2. Turbomolekulārie sūkņi (augsta vakuuma sūkņi)
Spēj sasniegt īpaši augstu vakuumu (≤10⁻⁶ Pa), bieži vien tiek savienoti pārī ar mehāniskiem sūkņiem PVD (fizikālās tvaiku pārklāšanas) un CVD (ķīmiskās tvaiku pārklāšanas) procesos. Tie nodrošina tīrus, stabilus augsta vakuuma apstākļus, padarot tos par galveno komponentu augstas precizitātes pārklājumu sistēmās.
3. Difūzijas sūkņi
Lai gan tie spēj sasniegt 10⁻⁶ Pa, to eļļas tvaiku piesārņojums ierobežo to izmantošanu optiskajos pārklājumos un citās augstas tīrības pakāpes lietojumprogrammās. Rūpniecisko pārklājumu sistēmās tos arvien biežāk aizstāj ar turbomolekulāriem sūkņiem.
4. Roots sūkņi (pastiprinātājsūkņi)
Parasti izmanto ar rotācijas lāpstiņu sūkņiem vidēja vakuuma posmā, lai uzlabotu sūknēšanas ātrumu un samazinātu atsūknēšanas laiku pirms pārklāšanas.
5. Turbo molekulārie sūkņi
Tie ir pazīstami ar augstu sūknēšanas ātrumu un stabilu darbību, un tos plaši izmanto pusvadītāju, optisko un medicīnisko pārklājumu lietojumprogrammās, kurām nepieciešama nepārtraukta ražošana.
2. pielietojuma scenāriji vakuuma pārklāšanā
Dažādos pārklāšanas posmos tiek izmantotas dažādas vakuuma sūkņu konfigurācijas:
Sākotnējā sūknēšanas stadija: mehāniskie sūkņi (piemēram, rotācijas lāpstiņu, sausie sūkņi) ātri samazina spiedienu kamerā.
Vidēja vakuuma pakāpe: Roots sūkņi uzlabo evakuācijas efektivitāti.
Augsta vakuuma pakāpe: turbomolekulārie/turbo sūkņi rada nepieciešamo augsta vakuuma vidi.
Īpaši pārklāšanas procesi: magnetrona izsmidzināšana un E-staru iztvaikošana prasa bezeļļas sistēmas vai augstas veiktspējas sausos sūkņus, lai nodrošinātu plēves tīrību.
Sūkņa izvēlē jāņem vērā materiāla tips, procesa temperatūra, plēves biezums un sistēmas tilpums, lai atbilstu konkrētām vakuuma līmeņa un tīrības prasībām.
Nr. 3 Optimālas vakuumsūkņa sistēmas izvēle
Ideālai vakuuma sūknēšanas sistēmai jābūt šādām īpašībām:
Sūknēšanas ātrums atbilst kameras tilpumam
Mērķa galīgā vakuuma sasniegšana
Stabila darbība ar nelielu apkopi
Bez eļļas un daļiņām
Atbilstība vides un enerģijas standartiem
Precīziem optiskiem, pusvadītāju vai dekoratīviem pārklājumiem ieteicams trīspakāpju kombinācija (sausais sūknis + Rūtsa sūknis + turbomolekulārais sūknis).
Lai gan kompakti, vakuuma sūkņi ir ļoti svarīgi vakuuma pārklāšanas sistēmām. Pareiza sūkņa izvēle un konfigurācija uzlabo plēves kvalitāti, sistēmas efektivitāti, iekārtu kalpošanas laiku un rentabilitāti. Sazinieties ar Zhenhua Vacuum, lai saņemtu pielāgotus vakuuma risinājumus, kas pielāgoti jūsu pārklāšanas vajadzībām.
-Šo rakstu publicē vakuuma pārklāšanas mašīnu ražotājs Dženhua vakuums.
Publicēšanas laiks: 2025. gada 14. jūnijs