I totonu o faiga ufiufi e leai se eletise (vacuum coating), e taua tele le sao o pamu e leai se eletise (vacuum pumps). O ni vaega taua ia mo le ausiaina o le siosiomaga maualuga-vacuum e manaʻomia mo faiga ufiufi, e aʻafia saʻo ai le lelei o le ufiufi, le lelei o le ata tifaga, ma le fua o le gaosiga. O faiga ufiufi eseese e eseese manaʻoga mo le maualuga o le vacuum, ma e taua tele ai le filifilia lelei o pamu. I le avea ai ma se kamupani gaosi meafaigaluega ufiufi e taʻimua i le vacuum, e tuʻuina atu e le Zhenhua Vacuum se auʻiliʻiliga atoatoa o ituaiga tetele o pamu vacuum ma a latou faʻaoga patino i tekinolosi ufiufi.
Nu.1 Fa'avasegaga o Pamu Vacuum
E faʻavae i luga o mataupu faʻavae o le faʻagaioiga, e mafai ona vaevaeina pamu e pei ona taua i lalo:
1. Pamu Fa'amekanika (Pamu Muamua)
E fa'aaogā muamua e fa'amamā ai masini mai le mamafa o le ea i le mamafa maualalo o le vacuum (10⁻¹ ~ 10⁻³ Pa), e masani ona avea ma pamu lagolago mo pamu e maualuga le vacuum.
Pamu Vane Rotary: Fuafuaga la'ititi, faigofie ona tausia, talafeagai mo faiga ufiufi laiti.
Pamu Sikulima Mago: Fa'agaoioiga e aunoa ma le suāuu, lelei tele mo faiga e fa'amama ai le ea ma mana'oga maualuga.
2. Pamu Turbomolecular (Pamu Vacuum Maualuga)
E mafai ona ausia le maualuga tele o le vacuum (≤10⁻⁶ Pa), e masani ona fa'apipi'i fa'atasi ma pamu fa'amekanika mo le fa'agasologa o le PVD (Physical Vapor Deposition) ma le CVD (Chemical Vapor Deposition). Latou te tu'uina atu tulaga mama ma mautu o le vacuum maualuga, ma avea ai ma vaega autu i faiga ufiufi maualuga le sa'o.
3. Pamu Fa'asalalau
E ui e mafai ona oʻo atu i le 10⁻⁶ Pa, o le faʻaleagaina o le ausa o le suāuu e faʻatapulaʻaina ai lo latou faʻaaogaina i ufiufi opitika ma isi faʻaoga maualuga le mama. Ua faʻateleina ona suia e pamu turbomolecular i faiga ufiufi faʻapisinisi.
4. Pamu Roots (Pamu Fa'amalosi)
E masani ona fa'aaogaina fa'atasi ma pamu rotary vane i le taimi e feololo ai le vacuum e fa'aleleia ai le saoasaoa o le pamu ma fa'aitiitia ai le taimi e taofi ai le pamu a'o le'i valiina.
5. Pamu Molekuli Turbo
Ua lauiloa i le maualuga o le saoasaoa o le pamuina ma le mautu o le fa'agaioiga, e fa'aaogaina lautele i semiconductor, opitika, ma fa'aoga ufiufi faafoma'i e mana'omia ai le gaosiga faifai pea.
Nu.2 Tulaga Fa'aoga i le Vacuum Coating
E faʻaaogaina faʻatulagaga eseese o pamu vacuum i laʻasaga eseese o le ufiufi:
Laasaga Muamua o le Pamuina: O pamu fa'amekanika (e pei o le vane vili, pamu mago) e fa'aitiitia vave ai le mamafa o le potu.
Vaega Feololo-Vacuum: E fa'aleleia e pamu a'a le lelei o le fa'aleleia o le fa'ata'avaleina.
Vaega Maualuga-Vacuum: O pamu Turbomolecular/Turbo e fa'atuina le siosiomaga maualuga-vacuum e mana'omia.
Faiga Fa'apitoa o le Ufiufi: O le fa'asu'u o le Magnetron ma le fa'amamago o le E-beam e mana'omia ai ni faiga e leai se suau'u pe pamu mago e maualuga le fa'atinoga e fa'amautinoa ai le mama o le ata tifaga.
E tatau i le filifiliga o le pamu ona mafaufau i le ituaiga o meafaitino, le vevela o le faagasologa, le mafiafia o le ata tifaga, ma le tele o le masini e ausia ai tulaga patino o le masini e aveese ai le masini ma manaoga o le mama.
Nu.3 Filifilia o se Faiga Pamu Vacuum Sili ona Lelei
O se faiga pamu vacuum lelei e tatau ona iai mea nei:
E fetaui le saoasaoa o le pamu ma le tele o le potu pamu
Ausia o le avanoa atoatoa o le sini
Fa'agaioiga mautu ma le tausiga maualalo
Fa'atinoga e aunoa ma le suau'u ma le leai o ni vaega laiti
Usita'ia o tulaga fa'atonuina o le siosiomaga ma le malosi
Mo fa'aoga vali mata sa'o, semiconductor, po'o vali teuteu, e fautuaina se tu'ufa'atasiga vaega e tolu (Dry Pump + Roots Pump + Turbomolecular Pump).
E ui ina la'ititi, ae taua tele pamu e fa'amama ai le ea i faiga e ufiufi ai le ea. O le filifilia lelei ma le fa'atulagaina o le pamu e fa'aleleia atili ai le lelei o le ata tifaga, le lelei o le faiga, le umi e fa'aaoga ai masini, ma le taugofie. Fa'afeso'ota'i le Zhenhua Vacuum mo ni fofo fa'apitoa mo le fa'amama e fetaui ma ou mana'oga e ufiufi ai.
-O lenei tusiga ua fa'asalalauina e gaosi oloa masini ufiufi vacuum Zhenhua Vacuum.
Taimi na lafoina ai: Iuni-14-2025