Vakuuminėse dengimo sistemose vakuuminiai siurbliai atlieka itin svarbų vaidmenį. Jie yra esminiai komponentai, užtikrinantys dengimo procesams reikalingą aukšto vakuumo aplinką, tiesiogiai veikiančią dengimo efektyvumą, plėvelės kokybę ir gamybos našumą. Skirtingiems dengimo procesams keliami skirtingi vakuumo lygio reikalavimai, todėl tinkamas siurblio pasirinkimas yra labai svarbus. Būdama pirmaujančia vakuuminio dengimo įrangos gamintoja, „Zhenhua Vacuum“ teikia išsamią pagrindinių vakuuminių siurblių tipų ir jų specifinio pritaikymo dengimo technologijose analizę.
Nr. 1 vakuuminių siurblių klasifikacija
Remiantis veikimo principu, vakuuminius siurblius galima suskirstyti į:
1. Mechaniniai siurbliai (priekiniai siurbliai)
Dažniausiai naudojami sistemoms išsiurbti iš atmosferos slėgio į žemą vakuumą (10⁻¹ ~ 10⁻³ Pa), paprastai kaip atsarginiai siurbliai aukšto vakuumo siurbliams.
Rotaciniai mentiniai siurbliai: kompaktiška konstrukcija, lengva priežiūra, tinka mažo masto dengimo sistemoms.
Sauso veikimo sraigtiniai siurbliai: veikia be alyvos, idealiai tinka švarioms vakuuminėms sistemoms, kurioms keliami aukšti grynumo reikalavimai.
2. Turbomolekuliniai siurbliai (aukšto vakuumo siurbliai)
Galintys pasiekti itin aukštą vakuumą (≤10⁻⁶ Pa), dažnai naudojami kartu su mechaniniais siurbliais PVD (fizikinio garų nusodinimo) ir CVD (cheminio garų nusodinimo) procesams. Jie užtikrina švarias, stabilias aukšto vakuumo sąlygas, todėl yra pagrindinis komponentas didelio tikslumo dengimo sistemose.
3. Difuziniai siurbliai
Nors jie gali pasiekti 10⁻⁶ Pa slėgį, jų užterštumas alyvos garais riboja jų naudojimą optinėse dangose ir kitose didelio grynumo srityse. Pramoninėse dangų sistemose juos vis dažniau keičia turbomolekuliniai siurbliai.
4. „Roots“ siurbliai (slėgio kėlimo siurbliai)
Dažniausiai naudojamas su rotaciniais menteliniais siurbliais vidutinio vakuumo etape, siekiant padidinti pumpavimo greitį ir sutrumpinti išpumpavimo laiką prieš dengimą.
5. Turbo molekuliniai siurbliai
Žinomi dėl didelio pumpavimo greičio ir stabilaus veikimo, jie plačiai naudojami puslaidininkių, optinių ir medicininių dangų srityse, kurioms reikalinga nuolatinė gamyba.
Nr. 2 taikymo scenarijai vakuuminiame dengime
Įvairiuose dengimo etapuose naudojamos skirtingos vakuuminių siurblių konfigūracijos:
Pradinis pumpavimo etapas: mechaniniai siurbliai (pvz., rotaciniai mentiniai, sausieji siurbliai) greitai sumažina slėgį kameroje.
Vidutinio vakuumo etapas: „Roots“ siurbliai pagerina išsiurbimo efektyvumą.
Didelio vakuumo etapas: turbomolekuliniai / turbo siurbliai sukuria reikiamą didelio vakuumo aplinką.
Specialūs dengimo procesai: magnetroniniam purškimui ir E-spindulių garinimui reikalingos sistemos be alyvos arba didelio našumo sausieji siurbliai, užtikrinantys plėvelės grynumą.
Renkantis siurblį, reikia atsižvelgti į medžiagos tipą, proceso temperatūrą, plėvelės storį ir sistemos tūrį, kad būtų patenkinti konkretūs vakuumo lygio ir švaros reikalavimai.
Nr. 3 Optimalios vakuuminio siurblio sistemos pasirinkimas
Ideali vakuuminė siurbimo sistema turėtų turėti:
Siurbimo greitis atitinka kameros tūrį
Tikslinio galutinio vakuumo pasiekimas
Stabilus veikimas ir maža priežiūra
Be alyvos ir dalelių
Atitiktis aplinkosaugos ir energetikos standartams
Tikslios optinės, puslaidininkinės ar dekoratyvinės dangos sistemoms rekomenduojamas trijų pakopų derinys (sausasis siurblys + „Roots“ siurblys + turbomolekulinis siurblys).
Nors ir kompaktiški, vakuuminiai siurbliai yra gyvybiškai svarbūs vakuuminėms dengimo sistemoms. Tinkamas siurblių pasirinkimas ir konfigūracija pagerina plėvelės kokybę, sistemos efektyvumą, įrangos tarnavimo laiką ir ekonomiškumą. Susisiekite su „Zhenhua Vacuum“, jei norite individualiai pritaikytų vakuuminių sprendimų, pritaikytų jūsų dengimo poreikiams.
– Šį straipsnį išleido vakuuminio dengimo mašinų gamintojas Zhenhua dulkių siurblys.
Įrašo laikas: 2025 m. birželio 14 d.