Вакуум каплау системаларында вакуум насослары мөһим роль уйный. Алар каплау процесслары өчен кирәкле югары вакуум мохитенә ирешү өчен мөһим компонентлар булып тора, каплау нәтиҗәлелегенә, пленка сыйфатына һәм җитештерү күләменә турыдан-туры йогынты ясый. Төрле каплау процессларының вакуум дәрәҗәсе таләпләре төрле, шуңа күрә насосны дөрес сайлау бик мөһим. Вакуум каплау җиһазлары җитештерүче алдынгы буларак, Zhenhua Vacuum төп вакуум насослары төрләрен һәм аларның каплау технологияләрендәге кулланылышларын комплекслы анализлый.
Вакуум насосларының 1 нче классификациясе
Эшләү принципларына нигезләнеп, вакуум насосларын түбәндәге төрләргә бүлергә мөмкин:
1. Механик насослар (алгы насослар)
Нигездә, системаларны атмосфера басымыннан түбән вакуумга (10⁻¹ ~ 10⁻³ Па) эвакуацияләү өчен кулланыла, гадәттә югары вакуумлы насослар өчен терәк насослары булып хезмәт итә.
Әйләнмәле канатлы насослар: Компакт дизайн, җиңел хезмәт күрсәтү, кечкенә масштаблы каплау системалары өчен яраклы.
Коры винтлы насослар: Майсыз эшли, югары чисталык таләпләре булган чиста вакуум системалары өчен идеаль.
2. Турбомолекуляр насослар (югары вакуумлы насослар)
PVD (Физик пар утырту) һәм CVD (Химик пар утырту) процесслары өчен еш кына механик насослар белән парлашып кулланыла торган ультра югары вакуумга (≤10⁻⁶ Па) ирешә ала. Алар чиста, тотрыклы югары вакуум шартларын тәэмин итә, бу аларны югары төгәллекле каплау системаларында төп компонент итә.
3. Диффузия насослары
Аларның май парлары белән пычрануы 10⁻⁶ Па га җитә алса да, оптик каплауларда һәм башка югары чисталыклы кушымталарда куллануны чикли. Сәнәгать каплау системаларында турбомолекуляр насослар белән алыштырыла.
4. Roots насослары (күчәйткеч насослар)
Урта вакуум стадиясендә роторлы канатлы насослар белән гадәттә кулланыла, бу насос тизлеген арттырырга һәм каплау алдыннан насосның эшләвен туктату вакытын киметергә ярдәм итә.
5. Турбо молекуляр насослар
Югары насос тизлеге һәм тотрыклы эшләве белән билгеле булганлыктан, алар өзлексез җитештерүне таләп итә торган ярымүткәргеч, оптик һәм медицина каплау кушымталарында киң кулланыла.
Вакуум каплауда №2 куллану сценарийлары
Төрле каплау этапларында төрле вакуум насосы конфигурацияләре кулланыла:
Башлангыч насослау этабы: Механик насослар (мәсәлән, роторлы канатлы, коры насослар) камера басымын тиз киметә.
Уртача вакуум стадиясе: тамыр насослары эвакуация нәтиҗәлелеген яхшырта.
Югары вакуумлы этап: Турбомолекуляр/Турбо насослар кирәкле югары вакуумлы мохитне булдыра.
Махсус каплау процесслары: Магнетрон сиптерү һәм электрон нурланышны парга әйләндерү өчен пленканың чисталыгын тәэмин итү өчен майсыз системалар яки югары җитештерүчән коры насослар кирәк.
Насос сайлаганда, билгеле бер вакуум дәрәҗәсе һәм чисталык таләпләренә туры килерлек итеп, материал төрен, процесс температурасын, пленка калынлыгын һәм система күләмен исәпкә алырга кирәк.
№3 Оптималь вакуум насосы системасын сайлау
Идеаль вакуум насос системасы түбәндәгеләрне үз эченә алырга тиеш:
Суырту тизлеге камера күләменә туры килә
Максатка ирешүнең иң югары дәрәҗәдәге вакуумы
Аз хезмәт күрсәтү белән тотрыклы эшләү
Майсыз һәм кисәкчәләрсез эш
Әйләнә-тирә мохит һәм энергетика стандартларына туры килү
Оптик, ярымүткәргеч яки декоратив каплау өчен төгәллекле куллану өчен өч этаплы комбинация (Коры насос + Тамыр насосы + Турбомолекуляр насос) тәкъдим ителә.
Компакт булсалар да, вакуум насослары вакуум каплау системалары өчен бик мөһим. Насосны дөрес сайлау һәм конфигурацияләү пленка сыйфатын, системаның нәтиҗәлелеген, җиһазларның гомер озынлыгын һәм чыгымнарның нәтиҗәлелеген арттыра. Каплау ихтыяҗларыгызга туры китерелгән шәхси вакуум чишелешләре өчен Zhenhua Vacuum компаниясе белән элемтәгә керегез.
-Бу мәкалә бастырып чыгарылды вакуум каплау машинасы җитештерүчесе Чжэньхуа вакуум җайланмасы.
Бастырылган вакыты: 2025 елның 14 июне