Vakuumli qoplama tizimlarida vakuum nasoslari muhim rol o'ynaydi. Ular qoplama jarayonlari uchun zarur bo'lgan yuqori vakuumli muhitga erishish uchun muhim komponentlar bo'lib, qoplama samaradorligi, plyonka sifati va ishlab chiqarish hosildorligiga bevosita ta'sir qiladi. Turli qoplama jarayonlari turli xil vakuum darajasi talablariga ega, bu esa nasosni to'g'ri tanlashni juda muhim qiladi. Yetakchi vakuumli qoplama uskunalari ishlab chiqaruvchisi sifatida Zhenhua Vacuum asosiy vakuum nasos turlari va ularning qoplama texnologiyalaridagi o'ziga xos qo'llanilishini har tomonlama tahlil qiladi.
Vakuum nasoslarining 1-sonli tasnifi
Ishlash printsipiga ko'ra, vakuum nasoslarini quyidagicha tasniflash mumkin:
1. Mexanik nasoslar (old nasoslar)
Asosan tizimlarni atmosfera bosimidan past vakuumga (10⁻¹ ~ 10⁻³ Pa) evakuatsiya qilish uchun ishlatiladi, odatda yuqori vakuumli nasoslar uchun orqa nasoslar sifatida xizmat qiladi.
Aylanma qanotli nasoslar: ixcham dizayn, oson parvarishlash, kichik o'lchamli qoplama tizimlari uchun mos.
Quruq vintli nasoslar: Yog'siz ishlaydi, yuqori tozalik talablariga ega toza vakuum tizimlari uchun ideal.
2. Turbomolekulyar nasoslar (Yuqori vakuumli nasoslar)
Ultra yuqori vakuumga (≤10⁻⁶ Pa) erishishga qodir, ko'pincha PVD (fizik bug'larni cho'ktirish) va CVD (kimyoviy bug'larni cho'ktirish) jarayonlari uchun mexanik nasoslar bilan birlashtirilgan. Ular toza, barqaror yuqori vakuum sharoitlarini ta'minlaydi, bu ularni yuqori aniqlikdagi qoplama tizimlarida asosiy komponentga aylantiradi.
3. Diffuziya nasoslari
10⁻⁶ Pa ga yeta olishiga qaramay, ularning moy bug'lari bilan ifloslanishi optik qoplamalarda va boshqa yuqori tozalikdagi ilovalarda foydalanishni cheklaydi. Sanoat qoplama tizimlarida turbomolekulyar nasoslar tobora ko'proq uning o'rnini bosadi.
4. Roots nasoslari (Kuchaytiruvchi nasoslar)
Qoplamadan oldin nasos tezligini oshirish va nasosning ishdan chiqish vaqtini qisqartirish uchun o'rta vakuum bosqichida aylanma qanotli nasoslar bilan keng qo'llaniladi.
5. Turbo molekulyar nasoslar
Yuqori nasos tezligi va barqaror ishlashi bilan mashhur bo'lgan ular uzluksiz ishlab chiqarishni talab qiladigan yarimo'tkazgich, optik va tibbiy qoplama qo'llanmalarida keng qo'llaniladi.
Vakuumli qoplamada №2 qo'llanilish stsenariylari
Turli qoplama bosqichlarida turli xil vakuum nasos konfiguratsiyalari qo'llaniladi:
Dastlabki nasos bosqichi: Mexanik nasoslar (masalan, aylanma qanotli, quruq nasoslar) kameradagi bosimni tezda pasaytiradi.
O'rta vakuum bosqichi: Ildiz nasoslari evakuatsiya samaradorligini oshiradi.
Yuqori vakuumli bosqich: Turbomolekulyar/Turbo nasoslar kerakli yuqori vakuumli muhitni yaratadi.
Maxsus qoplama jarayonlari: Magnetronli purkash va E-nurli bug'lanish plyonkaning sofligini ta'minlash uchun yog'siz tizimlar yoki yuqori samarali quruq nasoslarni talab qiladi.
Nasosni tanlashda ma'lum vakuum darajasi va tozalik talablariga javob berish uchun material turi, jarayon harorati, plyonka qalinligi va tizim hajmi hisobga olinishi kerak.
№3 Optimal vakuum nasos tizimini tanlash
Ideal vakuum nasos tizimi quyidagilarni o'z ichiga olishi kerak:
Nasos tezligi kamera hajmiga mos keladi
Maqsadli yakuniy vakuumga erishish
Kam texnik xizmat ko'rsatish bilan barqaror ishlash
Yog'siz va zarrachasiz ishlash
Atrof-muhit va energiya standartlariga rioya qilish
Aniq optik, yarimo'tkazgich yoki dekorativ qoplama qo'llanilishi uchun uch bosqichli kombinatsiya (Quruq nasos + Ildiz nasosi + Turbomolekulyar nasos) tavsiya etiladi.
Vakuum nasoslari ixcham bo'lishiga qaramay, ular vakuum qoplama tizimlari uchun juda muhimdir. Nasosni to'g'ri tanlash va sozlash plyonka sifatini, tizim samaradorligini, uskunaning ishlash muddatini va iqtisodiy samaradorlikni oshiradi. Qoplama ehtiyojlaringizga moslashtirilgan vakuum yechimlari uchun Zhenhua Vacuum bilan bog'laning.
-Ushbu maqola nashr etilgan vakuumli qoplama mashinasi ishlab chiqaruvchisi Zhenhua vakuumi.
Nashr vaqti: 2025-yil 14-iyun