ويڪيوم ڪوٽنگ سسٽم ۾، ويڪيوم پمپ هڪ اهم ڪردار ادا ڪن ٿا. اهي ڪوٽنگ جي عملن لاءِ گهربل اعليٰ ويڪيوم ماحول حاصل ڪرڻ لاءِ ضروري جزا آهن، جيڪي ڪوٽنگ جي ڪارڪردگي، فلم جي معيار ۽ پيداوار جي پيداوار تي سڌو سنئون اثر انداز ٿين ٿا. مختلف ڪوٽنگ جي عملن ۾ مختلف ويڪيوم ليول جون گهرجون هونديون آهن، جيڪي مناسب پمپ جي چونڊ کي اهم بڻائينديون آهن. هڪ معروف ويڪيوم ڪوٽنگ سامان ٺاهيندڙ جي حيثيت سان، زينهوا ويڪيوم وڏين ويڪيوم پمپ جي قسمن ۽ ڪوٽنگ ٽيڪنالاجي ۾ انهن جي مخصوص ايپليڪيشنن جو هڪ جامع تجزيو فراهم ڪري ٿو.
نمبر 1 ويڪيوم پمپن جي درجه بندي
آپريٽنگ اصولن جي بنياد تي، ويڪيوم پمپن کي هيٺ ڏنل درجه بندي ڪري سگهجي ٿو:
1. مشيني پمپ (اڳيون پمپ)
بنيادي طور تي سسٽم کي هوا جي دٻاءُ کان گهٽ ويڪيوم (10⁻¹ ~ 10⁻³ Pa) تائين ڪڍڻ لاءِ استعمال ڪيو ويندو آهي، عام طور تي هاءِ ويڪيوم پمپن لاءِ بيڪنگ پمپ طور ڪم ڪندو آهي.
روٽري وين پمپ: ڪمپيڪٽ ڊيزائن، آسان سار سنڀال، ننڍي پيماني تي ڪوٽنگ سسٽم لاءِ موزون.
سڪل اسڪرو پمپ: تيل کان سواءِ آپريشن، اعليٰ پاڪائي جي گهرجن سان صاف ويڪيوم سسٽم لاءِ مثالي.
2. ٽربو ماليڪيولر پمپ (هاءِ ويڪيوم پمپ)
الٽرا-هاءِ ويڪيوم (≤10⁻⁶ Pa) حاصل ڪرڻ جي قابل، اڪثر ڪري PVD (فزيڪل وانپ ڊپوزيشن) ۽ CVD (ڪيميائي وانپ ڊپوزيشن) عملن لاءِ ميڪيڪل پمپن سان جوڙيو ويندو آهي. اهي صاف، مستحڪم هاءِ ويڪيوم حالتون مهيا ڪن ٿا، انهن کي اعليٰ درستگي واري ڪوٽنگ سسٽم ۾ هڪ بنيادي جزو بڻائين ٿا.
3. ڊفيوژن پمپ
جڏهن ته 10⁻⁶ Pa تائين پهچڻ جي قابل آهي، انهن جي تيل جي بخارات جي آلودگي آپٽيڪل ڪوٽنگ ۽ ٻين اعليٰ پاڪائي واري ايپليڪيشنن ۾ انهن جي استعمال کي محدود ڪري ٿي. صنعتي ڪوٽنگ سسٽم ۾ ٽربو ماليڪيولر پمپن سان وڌيڪ ۽ وڌيڪ تبديل ٿي رهيا آهن.
4. روٽس پمپ (بوسٽر پمپ)
عام طور تي وچولي ويڪيوم اسٽيج دوران روٽري وين پمپن سان استعمال ڪيو ويندو آهي ته جيئن پمپنگ جي رفتار کي وڌايو وڃي ۽ ڪوٽنگ کان اڳ پمپ-ڊائون وقت گهٽجي وڃي.
5. ٽربو ماليڪيولر پمپ
تيز پمپنگ اسپيڊ ۽ مستحڪم آپريشن لاءِ سڃاتل، اهي وڏي پيماني تي سيمي ڪنڊڪٽر، آپٽيڪل، ۽ طبي ڪوٽنگ ايپليڪيشنن ۾ استعمال ٿيندا آهن جن کي مسلسل پيداوار جي ضرورت هوندي آهي.
ويڪيوم ڪوٽنگ ۾ نمبر 2 ايپليڪيشن منظرنامو
ڪوٽنگ جي مختلف مرحلن تي مختلف ويڪيوم پمپ ترتيبون استعمال ڪيون وينديون آهن:
پمپنگ جو شروعاتي مرحلو: مشيني پمپ (مثال طور، روٽري وين، خشڪ پمپ) تيزي سان چيمبر جو دٻاءُ گھٽائيندا آهن.
وچولي-ويڪيوم اسٽيج: روٽس پمپ انخلا جي ڪارڪردگي کي بهتر بڻائين ٿا.
هاءِ ويڪيوم اسٽيج: ٽربو ماليڪيولر/ٽربو پمپ گهربل هاءِ ويڪيوم ماحول قائم ڪن ٿا.
خاص ڪوٽنگ جا عمل: ميگنيٽرون اسپٽرنگ ۽ اي-بيم واپرائڻ لاءِ فلم جي پاڪائي کي يقيني بڻائڻ لاءِ تيل کان پاڪ سسٽم يا اعليٰ ڪارڪردگي وارا خشڪ پمپ گهربل آهن.
پمپ جي چونڊ ۾ مواد جي قسم، عمل جي گرمي پد، فلم جي ٿولهه، ۽ سسٽم جي مقدار کي خاص ويڪيوم ليول ۽ صفائي جي گهرجن کي پورو ڪرڻ لاءِ غور ڪرڻ گهرجي.
نمبر 3 هڪ بهترين ويڪيوم پمپ سسٽم چونڊڻ
هڪ مثالي ويڪيوم پمپنگ سسٽم ۾ هيٺيان خاصيتون هجڻ گهرجن:
پمپنگ جي رفتار چيمبر جي مقدار سان ملائي وئي
آخري حدف خلا جي حاصلات
گهٽ سار سنڀال سان مستحڪم آپريشن
تيل کان پاڪ ۽ ذرڙن کان پاڪ ڪارڪردگي
ماحولياتي ۽ توانائي جي معيارن جي تعميل
درست آپٽيڪل، سيمي ڪنڊڪٽر، يا آرائشي ڪوٽنگ ايپليڪيشنن لاءِ، ٽن مرحلن واري ميلاپ (ڊرائي پمپ + روٽس پمپ + ٽربو ماليڪيولر پمپ) جي سفارش ڪئي وئي آهي.
جيتوڻيڪ ڪمپيڪٽ، ويڪيوم پمپ ويڪيوم ڪوٽنگ سسٽم لاءِ اهم آهن. پمپ جي صحيح چونڊ ۽ ترتيب فلم جي معيار، سسٽم جي ڪارڪردگي، سامان جي عمر، ۽ قيمت جي اثرائتي کي وڌائي ٿي. توهان جي ڪوٽنگ جي ضرورتن مطابق ترتيب ڏنل ويڪيوم حل لاءِ زينهوا ويڪيوم سان رابطو ڪريو.
-هي مضمون شايع ٿيل آهي ويڪيوم ڪوٽنگ مشين ٺاهيندڙ زينهوا ويڪيوم.
پوسٽ جو وقت: جون-14-2025
