Վակուումային պոմպերի կիրառությունները ծածկույթների գործընթացներում

Վակուումային ծածկույթների համակարգերում վակուումային պոմպերը կարևոր դեր են խաղում: Դրանք ծածկույթների գործընթացների համար անհրաժեշտ բարձր վակուումային միջավայր ապահովելու կարևոր բաղադրիչներ են, որոնք անմիջականորեն ազդում են ծածկույթի արդյունավետության, թաղանթի որակի և արտադրության արդյունավետության վրա: Տարբեր ծածկույթների գործընթացներն ունեն տարբեր վակուումային մակարդակի պահանջներ, ինչը պոմպի ճիշտ ընտրությունը դարձնում է կարևորագույն: Որպես վակուումային ծածկույթների սարքավորումների առաջատար արտադրող՝ Zhenhua Vacuum-ը տրամադրում է վակուումային պոմպերի հիմնական տեսակների և դրանց ծածկույթների տեխնոլոգիաներում կիրառման համապարփակ վերլուծություն:

Վակուումային պոմպերի թիվ 1 դասակարգում
Գործողության սկզբունքի համաձայն, վակուումային պոմպերը կարելի է բաժանել հետևյալ խմբերի.

1. Մեխանիկական պոմպեր (առաջնային պոմպեր)
Հիմնականում օգտագործվում են մթնոլորտային ճնշումից ցածր վակուումի (10⁻¹ ~ 10⁻³ Պա) համակարգերը տարհանելու համար, սովորաբար ծառայելով որպես հենարանային պոմպեր բարձր վակուումային պոմպերի համար։
Պտտվող թևավոր պոմպեր. Կոմպակտ դիզայն, հեշտ սպասարկում, հարմար է փոքրածավալ ծածկույթային համակարգերի համար։
Չոր պտուտակային պոմպեր. յուղ չօգտագործող աշխատանք, իդեալական է բարձր մաքրության պահանջներով մաքուր վակուումային համակարգերի համար։

2. Տուրբոմոլեկուլային պոմպեր (բարձր վակուումային պոմպեր)
Ունակ են հասնել գերբարձր վակուումի (≤10⁻⁶ Պա), հաճախ զուգակցվում են մեխանիկական պոմպերի հետ PVD (ֆիզիկական գոլորշու նստեցում) և CVD (քիմիական գոլորշու նստեցում) գործընթացների համար: Դրանք ապահովում են մաքուր, կայուն բարձր վակուումային պայմաններ, ինչը դրանք դարձնում է բարձր ճշգրտության ծածկույթային համակարգերի հիմնական բաղադրիչ:

3. Դիֆուզիոն պոմպեր
Չնայած 10⁻⁶ Պա ճնշմանը հասնելու ունակությանը, դրանց յուղային գոլորշիների աղտոտվածությունը սահմանափակում է դրանց օգտագործումը օպտիկական ծածկույթներում և այլ բարձր մաքրության կիրառություններում: Արդյունաբերական ծածկույթային համակարգերում դրանք ավելի ու ավելի հաճախ փոխարինվում են տուրբոմոլեկուլային պոմպերով:

4. Roots պոմպեր (ուժեղացուցիչ պոմպեր)
Սովորաբար օգտագործվում է պտտվող թևավոր պոմպերի հետ միջին վակուումային փուլում՝ պոմպի արագությունը բարձրացնելու և ծածկույթից առաջ պոմպի դադարեցման ժամանակը կրճատելու համար։

5. Տուրբո մոլեկուլային պոմպեր
Հայտնի լինելով բարձր պոմպային արագություններով և կայուն աշխատանքով, դրանք լայնորեն կիրառվում են կիսահաղորդչային, օպտիկական և բժշկական ծածկույթների կիրառություններում, որոնք պահանջում են շարունակական արտադրություն։

Վակուումային ծածկույթի կիրառման թիվ 2 սցենարներ
Տարբեր ծածկույթների փուլերում օգտագործվում են վակուումային պոմպերի տարբեր կոնֆիգուրացիաներ.

Սկզբնական պոմպային փուլ. Մեխանիկական պոմպերը (օրինակ՝ պտտվող թևով, չոր պոմպերով) արագորեն նվազեցնում են խցիկի ճնշումը։

Միջին վակուումային փուլ. Roots պոմպերը բարելավում են տարհանման արդյունավետությունը:

Բարձր վակուումային փուլ. Տուրբոմոլեկուլային/տուրբո պոմպերը ստեղծում են անհրաժեշտ բարձր վակուումային միջավայրը։

Հատուկ ծածկույթի գործընթացներ. մագնետրոնային փոշիացումը և էլեկտրոնային ճառագայթով գոլորշիացումը պահանջում են յուղազերծ համակարգեր կամ բարձր արդյունավետությամբ չոր պոմպեր՝ թաղանթի մաքրությունն ապահովելու համար։

Պոմպի ընտրության ժամանակ պետք է հաշվի առնվեն նյութի տեսակը, գործընթացի ջերմաստիճանը, թաղանթի հաստությունը և համակարգի ծավալը՝ վակուումի մակարդակի և մաքրության որոշակի պահանջները բավարարելու համար։

Թիվ 3. Օպտիմալ վակուումային պոմպային համակարգի ընտրություն

Իդեալական վակուումային պոմպային համակարգը պետք է ունենա հետևյալ հատկանիշները՝
Պոմպի արագությունը համապատասխանում է խցիկի ծավալին
Նպատակային վերջնական վակուումի հասնելը
Կայուն աշխատանք՝ ցածր սպասարկման կարիքով
Առանց յուղի և մասնիկների արդյունավետություն
Համապատասխանություն շրջակա միջավայրի և էներգետիկայի չափանիշներին

Ճշգրիտ օպտիկական, կիսահաղորդչային կամ դեկորատիվ ծածկույթների կիրառման համար խորհուրդ է տրվում օգտագործել եռաստիճան համադրություն (չոր պոմպ + արմատների պոմպ + տուրբոմոլեկուլային պոմպ):

Չնայած կոմպակտ չափսերին, վակուումային պոմպերը կենսական նշանակություն ունեն վակուումային ծածկույթների համակարգերի համար: Պոմպի ճիշտ ընտրությունը և կոնֆիգուրացիան բարելավում են թաղանթի որակը, համակարգի արդյունավետությունը, սարքավորումների կյանքի տևողությունը և ծախսարդյունավետությունը: Կապվեք Zhenhua Vacuum-ի հետ՝ ձեր ծածկույթի կարիքներին համապատասխանող անհատականացված վակուումային լուծումներ ստանալու համար:

- Այս հոդվածը հրապարակվել է վակուումային ծածկույթների մեքենայի արտադրող Չժենհուա վակուում։