ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଆବରଣ ସିଷ୍ଟମରେ, ଭାକ୍ୟୁମ୍ ପମ୍ପଗୁଡ଼ିକ ଏକ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ଭୂମିକା ଗ୍ରହଣ କରନ୍ତି। ଆବରଣ ପ୍ରକ୍ରିୟା ପାଇଁ ଆବଶ୍ୟକ ଉଚ୍ଚ-ଭାକ୍ୟୁମ୍ ପରିବେଶ ହାସଲ କରିବା ପାଇଁ ଏଗୁଡ଼ିକ ଅତ୍ୟାବଶ୍ୟକୀୟ ଉପାଦାନ, ଯାହା ସିଧାସଳଖ ଆବରଣ ଦକ୍ଷତା, ଫିଲ୍ମ ଗୁଣବତ୍ତା ଏବଂ ଉତ୍ପାଦନ ଉତ୍ପାଦନକୁ ପ୍ରଭାବିତ କରେ। ବିଭିନ୍ନ ଆବରଣ ପ୍ରକ୍ରିୟାଗୁଡ଼ିକରେ ଭିନ୍ନ ଭିନ୍ନ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ସ୍ତର ଆବଶ୍ୟକତା ଥାଏ, ଯାହା ସଠିକ୍ ପମ୍ପ ଚୟନକୁ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ କରିଥାଏ। ଏକ ଅଗ୍ରଣୀ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଆବରଣ ଉପକରଣ ନିର୍ମାତା ଭାବରେ, ଜେନହୁଆ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ପ୍ରମୁଖ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ପମ୍ପ ପ୍ରକାର ଏବଂ ଆବରଣ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟାରେ ସେମାନଙ୍କର ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ପ୍ରୟୋଗଗୁଡ଼ିକର ଏକ ବ୍ୟାପକ ବିଶ୍ଳେଷଣ ପ୍ରଦାନ କରେ।
ଭ୍ୟାକ୍ୟୁମ୍ ପମ୍ପର ନମ୍ବର 1 ବର୍ଗୀକରଣ
କାର୍ଯ୍ୟ ନୀତି ଉପରେ ଆଧାର କରି, ଭାକ୍ୟୁମ୍ ପମ୍ପଗୁଡ଼ିକୁ ନିମ୍ନଲିଖିତ ଭାବରେ ବର୍ଗୀକୃତ କରାଯାଇପାରେ:
୧. ଯାନ୍ତ୍ରିକ ପମ୍ପ (ସମ୍ମୁଖ ପମ୍ପ)
ମୁଖ୍ୟତଃ ବାୟୁମଣ୍ଡଳୀୟ ଚାପରୁ କମ୍ ଭାକ୍ୟୁମ୍ (10⁻¹ ~ 10⁻³ Pa) କୁ ସିଷ୍ଟମଗୁଡ଼ିକୁ ଖାଲି କରିବା ପାଇଁ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ, ସାଧାରଣତଃ ଉଚ୍ଚ-ଭାକ୍ୟୁମ୍ ପମ୍ପ ପାଇଁ ବ୍ୟାକିଂ ପମ୍ପ ଭାବରେ କାର୍ଯ୍ୟ କରେ।
ରୋଟାରୀ ଭେନ୍ ପମ୍ପ: କମ୍ପାକ୍ଟ ଡିଜାଇନ୍, ସହଜ ରକ୍ଷଣାବେକ୍ଷଣ, ଛୋଟ-ସ୍ତରର ଆବରଣ ପ୍ରଣାଳୀ ପାଇଁ ଉପଯୁକ୍ତ।
ଶୁଷ୍କ ସ୍କ୍ରୁ ପମ୍ପ: ତେଲ-ମୁକ୍ତ କାର୍ଯ୍ୟ, ଉଚ୍ଚ ଶୁଦ୍ଧତା ଆବଶ୍ୟକତା ସହିତ ସଫା ଭାକ୍ୟୁମ୍ ସିଷ୍ଟମ ପାଇଁ ଆଦର୍ଶ।
୨. ଟର୍ବୋମୋଲିକୁଲାର ପମ୍ପ (ଉଚ୍ଚ-ଭାକ୍ୟୁମ୍ ପମ୍ପ)
ଅତି-ଉଚ୍ଚ ଭାକ୍ୟୁମ୍ (≤10⁻⁶ Pa) ହାସଲ କରିବାରେ ସକ୍ଷମ, ପ୍ରାୟତଃ PVD (ଭୌତିକ ବାଷ୍ପ ଜମା) ଏବଂ CVD (ରାସାୟନିକ ବାଷ୍ପ ଜମା) ପ୍ରକ୍ରିୟା ପାଇଁ ଯାନ୍ତ୍ରିକ ପମ୍ପ ସହିତ ଯୋଡା ଯାଇଥାଏ। ସେମାନେ ସଫା, ସ୍ଥିର ଉଚ୍ଚ-ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଅବସ୍ଥା ପ୍ରଦାନ କରନ୍ତି, ଯାହା ସେମାନଙ୍କୁ ଉଚ୍ଚ-ସଠିକତା ଆବରଣ ପ୍ରଣାଳୀରେ ଏକ ମୁଖ୍ୟ ଉପାଦାନ କରିଥାଏ।
3. ପ୍ରସାରଣ ପମ୍ପ
10⁻⁶ Pa ପହଞ୍ଚିବାରେ ସକ୍ଷମ ହେଲେ ମଧ୍ୟ, ସେମାନଙ୍କର ତୈଳ ବାଷ୍ପ ପ୍ରଦୂଷଣ ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଆବରଣ ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ଉଚ୍ଚ-ଶୁଦ୍ଧତା ପ୍ରୟୋଗରେ ସେମାନଙ୍କର ବ୍ୟବହାରକୁ ସୀମିତ କରେ। ଶିଳ୍ପ ଆବରଣ ପ୍ରଣାଳୀରେ ଟର୍ବୋମୋଲିକୁଲାର ପମ୍ପ ଦ୍ୱାରା ବର୍ଦ୍ଧିତ ଭାବରେ ପ୍ରତିସ୍ଥାପିତ ହେଉଛି।
୪. ରୁଟ୍ସ ପମ୍ପ (ବୁଷ୍ଟର ପମ୍ପ)
ସାଧାରଣତଃ ମଧ୍ୟମ-ଭାକ୍ୟୁମ୍ ପର୍ଯ୍ୟାୟରେ ରୋଟାରୀ ଭେନ୍ ପମ୍ପ ସହିତ ବ୍ୟବହାର କରାଯାଏ ଯାହା ଦ୍ୱାରା ପମ୍ପିଂ ଗତି ବୃଦ୍ଧି ପାଇଥାଏ ଏବଂ ଆବରଣ ପୂର୍ବରୁ ପମ୍ପ-ଡାଉନ୍ ସମୟ ହ୍ରାସ ପାଇଥାଏ।
୫. ଟର୍ବୋ ମଲିକୁଲାର ପମ୍ପ
ଉଚ୍ଚ ପମ୍ପିଂ ଗତି ଏବଂ ସ୍ଥିର କାର୍ଯ୍ୟ ପାଇଁ ଜଣାଶୁଣା, ଏଗୁଡ଼ିକ ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ, ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଏବଂ ମେଡିକାଲ୍ ଆବରଣ ପ୍ରୟୋଗରେ ବ୍ୟାପକ ଭାବରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ ଯାହା ନିରନ୍ତର ଉତ୍ପାଦନ ଆବଶ୍ୟକ କରେ।
ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଆବରଣରେ ନମ୍ବର 2 ପ୍ରୟୋଗ ପରିସ୍ଥିତି
ବିଭିନ୍ନ ଆବରଣ ପର୍ଯ୍ୟାୟରେ ବିଭିନ୍ନ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ପମ୍ପ ବିନ୍ୟାସ ନିୟୋଜିତ କରାଯାଏ:
ପ୍ରାରମ୍ଭିକ ପମ୍ପିଂ ପର୍ଯ୍ୟାୟ: ଯାନ୍ତ୍ରିକ ପମ୍ପ (ଯଥା, ରୋଟାରୀ ଭେନ୍, ଶୁଷ୍କ ପମ୍ପ) ଦ୍ରୁତ ଗତିରେ ଚାମ୍ବର ଚାପ ହ୍ରାସ କରେ।
ମଧ୍ୟମ-ଭାକ୍ୟୁମ୍ ପର୍ଯ୍ୟାୟ: ମୂଳ ପମ୍ପଗୁଡ଼ିକ ଖାଲି କରିବା ଦକ୍ଷତାକୁ ଉନ୍ନତ କରନ୍ତି।
ଉଚ୍ଚ-ଭାକ୍ୟୁମ୍ ପର୍ଯ୍ୟାୟ: ଟର୍ବୋମୋଲିକୁଲାର/ଟର୍ବୋ ପମ୍ପ ଆବଶ୍ୟକୀୟ ଉଚ୍ଚ-ଭାକ୍ୟୁମ୍ ପରିବେଶ ସ୍ଥାପନ କରନ୍ତି।
ସ୍ୱତନ୍ତ୍ର ଆବରଣ ପ୍ରକ୍ରିୟା: ମ୍ୟାଗ୍ନେଟ୍ରନ୍ ସ୍ପଟରିଂ ଏବଂ ଇ-ବିମ୍ ବାଷ୍ପୀଭବନ ପାଇଁ ଫିଲ୍ମ ଶୁଦ୍ଧତା ସୁନିଶ୍ଚିତ କରିବା ପାଇଁ ତେଲ-ମୁକ୍ତ ସିଷ୍ଟମ୍ କିମ୍ବା ଉଚ୍ଚ-କ୍ଷମତା ସମ୍ପନ୍ନ ଶୁଷ୍କ ପମ୍ପ ଆବଶ୍ୟକ।
ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ସ୍ତର ଏବଂ ପରିଷ୍କାର ପରିଚ୍ଛନ୍ନତା ଆବଶ୍ୟକତା ପୂରଣ କରିବା ପାଇଁ ପମ୍ପ ଚୟନରେ ସାମଗ୍ରୀର ପ୍ରକାର, ପ୍ରକ୍ରିୟା ତାପମାତ୍ରା, ଫିଲ୍ମ ଘନତା ଏବଂ ସିଷ୍ଟମର ପରିମାଣକୁ ବିଚାରକୁ ନିଆଯିବା ଉଚିତ।
ନମ୍ବର 3 ଏକ ସର୍ବୋତ୍ତମ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ପମ୍ପ ସିଷ୍ଟମ୍ ଚୟନ କରିବା
ଏକ ଆଦର୍ଶ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ପମ୍ପିଂ ସିଷ୍ଟମରେ ନିମ୍ନଲିଖିତ ବିଷୟଗୁଡ଼ିକ ରହିବା ଉଚିତ:
ପମ୍ପିଂ ବେଗ ଚାମ୍ବର ଭଲ୍ୟୁମ୍ ସହିତ ମେଳ ଖାଉଛି
ଲକ୍ଷ୍ୟ ଅଲ୍ଟିମ ଶୂନ୍ୟସ୍ଥାନର ସଫଳତା
କମ୍ ରକ୍ଷଣାବେକ୍ଷଣ ସହିତ ସ୍ଥିର କାର୍ଯ୍ୟ।
ତେଲ-ମୁକ୍ତ ଏବଂ କଣିକା-ମୁକ୍ତ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା
ପରିବେଶଗତ ଏବଂ ଶକ୍ତି ମାନଦଣ୍ଡ ସହିତ ଅନୁପାଳନ
ସଠିକ ଅପ୍ଟିକାଲ୍, ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର, କିମ୍ବା ସାଜସଜ୍ଜା ଆବରଣ ପ୍ରୟୋଗ ପାଇଁ, ଏକ ତିନି-ସ୍ତରୀୟ ମିଶ୍ରଣ (ଡ୍ରାଏ ପମ୍ପ + ରୁଟ୍ସ ପମ୍ପ + ଟର୍ବୋମୋଲିକୁଲାର ପମ୍ପ) ସୁପାରିଶ କରାଯାଏ।
ଯଦିଓ କମ୍ପାକ୍ଟ, ଭାକ୍ୟୁମ୍ ପମ୍ପଗୁଡ଼ିକ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଆବରଣ ପ୍ରଣାଳୀ ପାଇଁ ଅତ୍ୟନ୍ତ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ। ଉପଯୁକ୍ତ ପମ୍ପ ଚୟନ ଏବଂ ବିନ୍ୟାସ ଫିଲ୍ମ ଗୁଣବତ୍ତା, ସିଷ୍ଟମ୍ ଦକ୍ଷତା, ଉପକରଣ ଜୀବନକାଳ ଏବଂ ମୂଲ୍ୟ-ପ୍ରଭାବଶାଳୀତାକୁ ବୃଦ୍ଧି କରେ। ଆପଣଙ୍କ ଆବରଣ ଆବଶ୍ୟକତା ଅନୁସାରେ କଷ୍ଟମାଇଜ୍ଡ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ସମାଧାନ ପାଇଁ ଜେନହୁଆ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ସହିତ ଯୋଗାଯୋଗ କରନ୍ତୁ।
-ଏହି ଲେଖାଟି ପ୍ରକାଶ କରିଛି ଭାକ୍ୟୁମ୍ କୋଟିଂ ମେସିନ୍ ନିର୍ମାତା ଜେନହୁଆ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ।
ପୋଷ୍ଟ ସମୟ: ଜୁନ୍-୧୪-୨୦୨୫