Püskürtme örtük prosesinde, himiki sintezlenen plýonkalary taýýarlamak üçin birleşmeler nyşana hökmünde ulanylyp bilner. Şeýle-de bolsa, nyşana materialyň püskürtmesinden soň emele gelen plýonkanyň düzümi köplenç nyşana materialyň asyl düzüminden düýpli tapawutlanýar we şonuň üçin asyl dizaýnyň talaplaryna laýyk gelmeýär. Eger arassa metal nyşana ulanylsa, zerur bolan işjeň gaz (meselem, oksid plýonkalaryny taýýarlanda kislorod) işçi (zyňyndy) gaza aňly garyşdyrylýar, şonuň üçin ol nyşana material bilen himiki reaksiýa girip, düzümi we häsiýetnamalary boýunça gözegçilik edilip bilinýän inçe plýonka emele getirýär. Bu usul köplenç "reaksiýa püskürtme" diýlip atlandyrylýar.
Öň belläp geçişimiz ýaly, RF püskürtmesi dielektrik plýonkalary we dürli birleşme plýonkalaryny çökdürmek üçin ulanylyp bilner. Şeýle-de bolsa, "arassa" plýonka taýýarlamak üçin "arassa" nyşana, ýokary arassa okside, nitride, karbide ýa-da başga birleşme poroşogynyň bolmagy zerurdyr. Bu poroşoklary belli bir görnüşdäki nyşana öwürmek üçin galyplamak ýa-da bişirmek üçin zerur bolan goşundylar goşulmagy talap edilýär, bu bolsa nyşanyň we netijede emele gelýän plýonkanyň arassalygynyň ep-esli peselmegine getirýär. Şeýle-de bolsa, reaktiw püskürtmede ýokary arassa metallar we ýokary arassa gazlar ulanylyp bilinýändigi üçin, ýokary arassa plýonkalary taýýarlamak üçin amatly şertler döredilýär. Reaktiw püskürtme soňky ýyllarda barha köp üns berilýär we dürli funksional birleşmeleriň inçe plýonkalaryny çökdürmegiň esasy usulyna öwrüldi. Ol IV, I- we IV-V birleşmelerini, otda çydamly ýarymgeçirijileri we dürli oksidleri öndürmekde giňden ulanyldy, mysal üçin SiC inçe plýonkalaryny çökeltmek üçin gazlaryň polikristal Si we CH3./Ar garyndysyny, TiN berk plýonkalaryny taýýarlamak üçin Ti nyşanyny we N/Ar-y, TaO2 taýýarlamak üçin Ta we O/Ar-y; -FezO2 taýýarlamak üçin dielektrik inçe plýonkalary, Fe we O,/Ar-y; -FezO2 ýazgy plýonkalaryny, A1 we N/Ar bilen AIN pýezoelektrik plýonkalaryny, AI we CO/Ar bilen A1-CO saýlama siňdiriş plýonkalaryny we Y-Ba-Cu we O/Ar bilen YBaCuO2-süýt geçiriji plýonkalaryny we başgalary öndürmekde.
–Bu makala çap edildiwakuum örtük maşyny öndürijiGuangdong Zhenhua
Ýerleşdirilen wagty: 2024-nji ýylyň 18-nji ýanwary