Uiga ma Fa'aoga o le Reactive Sputtering Coating

I le faagasologa o le ufiufiina o le sputtering, e mafai ona faʻaaogaina ni vailaʻau e fai ma sini mo le sauniaina o ata tifaga ua faia i vailaʻau. Peitaʻi, o le tuufaatasiga o le ata tifaga na gaosia pe a uma ona sputtering le mea faʻamoemoe e masani ona matuā ese mai le tuufaatasiga muamua o le mea faʻamoemoe, ma o lea e le ausia ai manaʻoga o le mamanu muamua. Afai e faʻaaogaina se uʻamea mama faʻamoemoe, o le kesi galue manaʻomia (e pei o le okesene pe a saunia ata tifaga oxide) e palu faʻatasi ma le iloa i totonu o le kesi galue (faʻasaʻoloto), ina ia tali atu faʻakemikolo ma le mea faʻamoemoe e maua ai se ata manifinifi e mafai ona pulea e tusa ai ma lona tuufaatasiga ma uiga. O lenei metotia e masani ona taʻua o le "reaction sputtering".

E pei ona taʻua muamua, e mafai ona faʻaaogaina le RF sputtering e faʻaputu ai ata tifaga dielectric ma ata tifaga eseese. Peitaʻi, ina ia saunia se ata tifaga "mama", e tatau ona i ai se sini "mama", o se oxide mama maualuga, nitride, carbide, poʻo se isi pauta faʻaputu. O le faʻagasoloina o nei pauta i totonu o se sini o se foliga patino e manaʻomia ai le faʻaopoopoina o mea faʻaopoopo e manaʻomia mo le faʻafoliga poʻo le sintering, lea e iʻu ai i se faʻaitiitia tele o le mama o le sini ma le ata tifaga e maua mai ai. Peitaʻi, i le reactive sputtering, talu ai e mafai ona faʻaaogaina uʻamea mama maualuga ma kasa mama maualuga, ua saunia ai tulaga talafeagai mo le sauniaina o ata tifaga mama maualuga. Ua maua e le reactive sputtering le tele o le gauai i tausaga talu ai nei ma ua avea ma se metotia autu mo le faʻaputuina o ata tifaga manifinifi o vailaʻau faʻatino eseese. Ua fa'aaogaina lautele i le gaosiga o IV, I- ma le IV-V compounds, refractory semiconductors, ma le tele o oxides, e pei o le fa'aaogaina o le polycrystalline Si ma le CH./Ar fa'afefiloi o kasa e fana ai le fa'aputuina o ata manifinifi SiC, Ti target ma N/Ar e saunia ai ata malo TiN, Ta ma O/Ar e saunia ai le TaO; dielectric thin films, Fe ma O,/Ar e saunia ai le -FezO; -FezO. recording films, AIN piezoelectric films ma le A1 ma le N/Ar, A1-CO selective absorption films ma le AI ma le CO/Ar, ma YBaCuO-superconducting films ma le Y-Ba-Cu ma le O/Ar, fa'atasi ai ma isi.

–O lenei tusiga ua fa'asalalauina egaosi oloa masini ufiufi vacuumGuangdong Zhenhua