នៅក្នុងដំណើរការថ្នាំកូត sputtering សមាសធាតុអាចត្រូវបានប្រើជាគោលដៅសម្រាប់ការរៀបចំខ្សែភាពយន្តសំយោគគីមី។ ទោះជាយ៉ាងណាក៏ដោយ សមាសធាតុនៃខ្សែភាពយន្តដែលបង្កើតឡើងបន្ទាប់ពីការ sputtering នៃសម្ភារៈគោលដៅជារឿយៗខុសគ្នាយ៉ាងខ្លាំងពីសមាសធាតុដើមនៃសម្ភារៈគោលដៅ ហើយដូច្នេះវាមិនបំពេញតាមតម្រូវការនៃការរចនាដើមទេ។ ប្រសិនបើគោលដៅលោហៈសុទ្ធត្រូវបានប្រើ ឧស្ម័នសកម្មដែលត្រូវការ (ឧទាហរណ៍ អុកស៊ីសែននៅពេលរៀបចំខ្សែភាពយន្តអុកស៊ីដ) ត្រូវបានលាយបញ្ចូលគ្នាដោយចេតនាទៅក្នុងឧស្ម័នដែលកំពុងដំណើរការ (បញ្ចេញ) ដូច្នេះវាមានប្រតិកម្មគីមីជាមួយសម្ភារៈគោលដៅដើម្បីបង្កើតខ្សែភាពយន្តស្តើងមួយដែលអាចគ្រប់គ្រងបានទាក់ទងនឹងសមាសភាព និងលក្ខណៈរបស់វា។ វិធីសាស្រ្តនេះត្រូវបានគេហៅជាញឹកញាប់ថាជា "ប្រតិកម្ម sputtering"។
ដូចដែលបានរៀបរាប់ខាងលើ ការបាញ់ RF អាចត្រូវបានប្រើដើម្បីដាក់ខ្សែភាពយន្តឌីអេឡិចត្រិច និងខ្សែភាពយន្តសមាសធាតុផ្សេងៗ។ ទោះយ៉ាងណាក៏ដោយ ដើម្បីរៀបចំខ្សែភាពយន្ត "សុទ្ធ" វាចាំបាច់ត្រូវមានគោលដៅ "សុទ្ធ" គឺអុកស៊ីដភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ នីទ្រីត កាបូអ៊ីដ ឬម្សៅសមាសធាតុផ្សេងទៀត។ ការកែច្នៃម្សៅទាំងនេះទៅជាគោលដៅនៃរូបរាងជាក់លាក់មួយតម្រូវឱ្យមានការបន្ថែមសារធាតុបន្ថែមចាំបាច់សម្រាប់ការផ្សិត ឬការដុត ដែលបណ្តាលឱ្យមានការថយចុះគួរឱ្យកត់សម្គាល់នៃភាពបរិសុទ្ធនៃគោលដៅ និងខ្សែភាពយន្តលទ្ធផល។ ទោះជាយ៉ាងណាក៏ដោយ នៅក្នុងការចាក់ប្រតិកម្ម ដោយសារលោហធាតុភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ និងឧស្ម័នភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់អាចត្រូវបានប្រើ លក្ខខណ្ឌងាយស្រួលត្រូវបានផ្តល់ជូនសម្រាប់ការរៀបចំខ្សែភាពយន្តភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់។ ការបាញ់ប្រតិកម្មបានទទួលការចាប់អារម្មណ៍កាន់តែខ្លាំងឡើងក្នុងប៉ុន្មានឆ្នាំថ្មីៗនេះ ហើយបានក្លាយជាវិធីសាស្ត្រសំខាន់មួយសម្រាប់ការตกตะกอนខ្សែភាពយន្តស្តើងនៃសមាសធាតុមុខងារផ្សេងៗ។ វាត្រូវបានគេប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយក្នុងការផលិតសមាសធាតុ IV, I- និង IV-V សម្ភារៈស៊ីមីកុងដុកទ័រធន់នឹងកម្ដៅ និងអុកស៊ីដជាច្រើនប្រភេទ ដូចជាការប្រើប្រាស់ល្បាយឧស្ម័នពហុគ្រីស្តាលីន Si និង CH./Ar ដើម្បីបាញ់ទឹកភ្លៀងនៃខ្សែភាពយន្តស្តើង SiC គោលដៅ Ti និង N/Ar ដើម្បីរៀបចំខ្សែភាពយន្តរឹង TiN Ta និង O/Ar ដើម្បីរៀបចំ TaO; ខ្សែភាពយន្តស្តើងឌីអេឡិចត្រិច Fe និង O,/Ar ដើម្បីរៀបចំ -FezO; -FezO; ខ្សែភាពយន្តថតសំឡេង ខ្សែភាពយន្ត piezoelectric AIN ជាមួយ A1 និង N/Ar ខ្សែភាពយន្តស្រូបយកជ្រើសរើស A1-CO ជាមួយ AI និង CO/Ar និងខ្សែភាពយន្ត superconducting YBaCuO ជាមួយ Y-Ba-Cu និង O/Ar ក្នុងចំណោមខ្សែភាពយន្តផ្សេងទៀត។
- អត្ថបទនេះត្រូវបានបោះពុម្ពផ្សាយដោយក្រុមហ៊ុនផលិតម៉ាស៊ីនថ្នាំកូតបូមធូលីក្វាងទុង ហ្សេនហួ
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី ១៨ ខែមករា ឆ្នាំ ២០២៤