Чачыратма менен каптоо процессинде кошулмалар химиялык жол менен синтезделген пленкаларды даярдоо үчүн бута катары колдонулушу мүмкүн. Бирок, максаттуу материалды чачыратып жибергенден кийин пайда болгон пленканын курамы көп учурда максаттуу материалдын баштапкы курамынан бир топ айырмаланат жана ошондуктан баштапкы конструкциянын талаптарына жооп бербейт. Эгерде таза металл бута колдонулса, анда керектүү активдүү газ (мисалы, кычкыл пленкаларды даярдоодо кычкылтек) жумушчу (разряддоочу) газга аң-сезимдүү түрдө аралаштырылат, ошентип ал максаттуу материал менен химиялык реакцияга кирип, курамы жана мүнөздөмөлөрү боюнча башкарылуучу жука пленканы пайда кылат. Бул ыкма көбүнчө "реакциялык чачыратма" деп аталат.
Жогоруда айтылгандай, радио жыштыктагы чачыратуу диэлектрикалык пленкаларды жана ар кандай кошулма пленкаларды чөктүрүү үчүн колдонулушу мүмкүн. Бирок, "таза" пленканы даярдоо үчүн "таза" бута, жогорку тазалыктагы кычкыл, нитрид, карбид же башка кошулма порошок болушу керек. Бул порошокторду белгилүү бир формадагы бутага иштетүү үчүн калыптоо же бышыруу үчүн зарыл болгон кошумчаларды кошуу талап кылынат, бул бутанын жана пайда болгон пленканын тазалыгынын бир кыйла төмөндөшүнө алып келет. Бирок, реактивдүү чачыратуу учурунда жогорку тазалыктагы металлдарды жана жогорку тазалыктагы газдарды колдонууга мүмкүн болгондуктан, жогорку тазалыктагы пленкаларды даярдоо үчүн ыңгайлуу шарттар түзүлөт. Реактивдүү чачыратуу акыркы жылдары барган сайын көбүрөөк көңүл буруп, ар кандай функционалдык кошулмалардын жука пленкаларын чөктүрүүнүн негизги ыкмасына айланды. Ал IV, I- жана IV-V кошулмаларын, отко чыдамдуу жарым өткөргүчтөрдү жана ар кандай оксиддерди өндүрүүдө кеңири колдонулган, мисалы, SiC жука пленкаларын чөктүрүү үчүн поликристаллдык Si жана CH3./Ar газ аралашмасын, TiN катуу пленкаларын даярдоо үчүн Ti бутасын жана N/Ar, TaO2 даярдоо үчүн Ta жана O/Ar; -FezO2 даярдоо үчүн диэлектрикалык жука пленкалар, Fe жана O,/Ar; -FezO2 жаздыруучу пленкалар, A1 жана N/Ar кошулган AIN пьезоэлектрдик пленкалары, AI жана CO/Ar кошулган A1-CO тандалма абсорбциялык пленкалары жана Y-Ba-Cu жана O/Ar кошулган YBaCuO2-өтө өткөргүч пленкалары жана башкалар.
– Бул макала жарыяланганвакуумдук каптоочу машина өндүрүүчүсүГуандун Чжэнхуа
Жарыяланган убактысы: 2024-жылдын 18-январы