رېئاكتىپ پۈركۈش قاپلىمىسىنىڭ خۇسۇسىيىتى ۋە قوللىنىلىشى

پۈركۈش قاپلاش جەريانىدا، بىرىكمىلەرنى خىمىيىلىك بىرىكتۈرۈلگەن پىلاستىنكىلارنى تەييارلاش ئۈچۈن نىشان سۈپىتىدە ئىشلىتىشكە بولىدۇ. قانداقلا بولمىسۇن، نىشان ماتېرىيالنى پۈركۈش ئارقىلىق ھاسىل بولغان پىلاستىنكىنىڭ تەركىبى كۆپىنچە نىشان ماتېرىيالنىڭ دەسلەپكى تەركىبىدىن زور دەرىجىدە پەرقلىنىدۇ، شۇڭا دەسلەپكى لايىھەنىڭ تەلىپىگە ماس كەلمەيدۇ. ئەگەر ساپ مېتال نىشان ئىشلىتىلسە، لازىملىق ئاكتىپ گاز (مەسىلەن، ئوكسىد پىلاستىنكىسىنى تەييارلىغاندا ئوكسىگېن) ئىشلىگۈچى (چىقىرىش) گازىغا قەستەن ئارىلاشتۇرۇلىدۇ، شۇنىڭ بىلەن ئۇ نىشان ماتېرىيال بىلەن خىمىيىلىك رېئاكسىيە قىلىپ، تەركىبى ۋە خۇسۇسىيىتى جەھەتتىن كونترول قىلغىلى بولىدىغان نېپىز پىلاستىنكا ھاسىل قىلىدۇ. بۇ ئۇسۇل كۆپىنچە «رېئاكسىيە پۈركۈش» دەپ ئاتىلىدۇ.

ئىلگىرى دېيىلگەندەك، رادىئو چايقاش ئۇسۇلى ئارقىلىق دىئېلېكترىك پىلاستىنكىلار ۋە ھەر خىل بىرىكمە پىلاستىنكىلارنى چۆكتۈرۈشكە بولىدۇ. قانداقلا بولمىسۇن، «ساپ» پىلاستىنكا تەييارلاش ئۈچۈن، «ساپ» نىشان، يەنى يۇقىرى ساپلىقتىكى ئوكسىد، نىترىد، كاربىد ياكى باشقا بىرىكمە پاراشوك بولۇشى كېرەك. بۇ پاراشوكلارنى مەلۇم شەكىلدىكى نىشانغا ئايلاندۇرۇش ئۈچۈن قېلىپلاش ياكى پىلاستىنكا ياساشقا زۆرۈر بولغان قوشۇمچە ماددىلارنى قوشۇش تەلەپ قىلىنىدۇ، بۇ نىشاننىڭ ۋە نەتىجىدە ھاسىل بولغان پىلاستىنكىنىڭ ساپلىقىنى زور دەرىجىدە تۆۋەنلىتىدۇ. قانداقلا بولمىسۇن، رېئاكتىپ چايقاش ئۇسۇلىدا، يۇقىرى ساپلىقتىكى مېتاللار ۋە يۇقىرى ساپلىقتىكى گازلارنى ئىشلىتىشكە بولىدىغان بولغاچقا، يۇقىرى ساپلىقتىكى پىلاستىنكىلارنى تەييارلاش ئۈچۈن قولايلىق شارائىت ھازىرلىنىدۇ. رېئاكتىپ چايقاش ئۇسۇلى يېقىنقى يىللاردىن بۇيان بارغانسېرى دىققەتنى قوزغىدى ۋە ھەر خىل ئىقتىدارلىق بىرىكمىلەرنىڭ نېپىز پىلاستىنكىلىرىنى چۆكتۈرۈشنىڭ ئاساسلىق ئۇسۇلىغا ئايلاندى. ئۇ IV، I- ۋە IV-V بىرىكمىلىرى، ئوتقا چىداملىق يېرىم ئۆتكۈزگۈچلەر ۋە ھەر خىل ئوكسىدلارنى ئىشلەپچىقىرىشتا كەڭ قوللىنىلىپ كەلدى، مەسىلەن، SiC نېپىز پەردىلىرىنى چۆكتۈرۈش ئۈچۈن كۆپ كىرىستاللىق Si ۋە CH./Ar گاز ئارىلاشمىسى، TiN قاتتىق پەردىلىرىنى تەييارلاش ئۈچۈن Ti نىشان ۋە N/Ar، TaO2 تەييارلاش ئۈچۈن Ta ۋە O/Ar؛ -FezO2 تەييارلاش ئۈچۈن دىئېلېكترىك نېپىز پەردىلەر، Fe ۋە O,/Ar؛ -FezO2 خاتىرىلەش پەردىلىرى، A1 ۋە N/Ar قوشۇلغان AIN پىئېزوئېلېكتر پەردىلىرى، AI ۋە CO/Ar قوشۇلغان A1-CO تاللاش سۈمۈرۈش پەردىلىرى ۋە Y-Ba-Cu ۋە O/Ar قوشۇلغان YBaCuO-ئۈستۈن ئۆتكۈزۈشچان پەردىلەر قاتارلىقلار.

– بۇ ماقالە نەشر قىلغۇچى تەرىپىدىن تارقىتىلدىۋاكۇئۇم قاپلاش ماشىنىسى ئىشلەپچىقارغۇچىگۇاڭدۇڭ جېنخۇا