ምላሽ ሰጪ የስፑተር ሽፋን ባህሪያት እና አፕሊኬሽኖች

በስፖንተር ሽፋን ሂደት ውስጥ፣ ውህዶች በኬሚካል የተቀናጁ ፊልሞችን ለማዘጋጀት እንደ ኢላማዎች ሊያገለግሉ ይችላሉ። ሆኖም፣ የታለመው ቁሳቁስ ከተረጨ በኋላ የሚፈጠረው የፊልም ቅንብር ብዙውን ጊዜ ከታለመው ቁሳቁስ የመጀመሪያ ስብጥር በእጅጉ የሚለይ ሲሆን ስለዚህም የመጀመሪያውን ዲዛይን መስፈርቶች አያሟላም። ንፁህ የብረት ኢላማ ጥቅም ላይ ከዋለ፣ የሚፈለገው ንቁ ጋዝ (ለምሳሌ፣ የኦክሳይድ ፊልሞችን ሲያዘጋጁ ኦክስጅን) ሆን ብሎ ከሚሰራው (የማስወጣት) ጋዝ ጋር በኬሚካል ይቀላቀላል፣ ስለዚህም ከታለመው ቁሳቁስ ጋር በኬሚካል ምላሽ በመስጠት በአቀማመጡ እና በባህሪያቱ ቁጥጥር ሊደረግበት የሚችል ቀጭን ፊልም ይፈጥራል። ይህ ዘዴ ብዙውን ጊዜ "የምላሽ ስፓተርንግ" ተብሎ ይጠራል።

ቀደም ሲል እንደተጠቀሰው፣ የRF ስፐተርቲንግ ዳይኤሌክትሪክ ፊልሞችን እና የተለያዩ የተዋሃዱ ፊልሞችን ለማስቀመጥ ሊያገለግል ይችላል። ሆኖም፣ “ንፁህ” ፊልም ለማዘጋጀት “ንፁህ” ኢላማ፣ ከፍተኛ ንፁህ ኦክሳይድ፣ ናይትራይድ፣ ካርቦይድ ወይም ሌላ የተዋሃደ ዱቄት መኖር አስፈላጊ ነው። እነዚህን ዱቄቶች በተወሰነ ቅርፅ ወደ ኢላማ ማስኬድ ለመቅረጽ ወይም ለሲንቴሪንግ አስፈላጊ የሆኑ ተጨማሪዎችን መጨመር ይጠይቃል፣ ይህም የዒላማውን ንፁህነት እና የተገኘውን ፊልም በእጅጉ ይቀንሳል። ይሁን እንጂ፣ ከፍተኛ ንፁህ ብረቶች እና ከፍተኛ ንፁህ ጋዞች ጥቅም ላይ ሊውሉ ስለሚችሉ፣ ከፍተኛ ንፁህ ፊልሞችን ለማዘጋጀት ምቹ ሁኔታዎች ይዘጋጃሉ። ምላሽ ሰጪ ስፐተርቲንግ በቅርብ ዓመታት ውስጥ እየጨመረ የመጣ ትኩረት አግኝቷል እና የተለያዩ ተግባራዊ ውህዶችን ቀጭን ፊልሞችን ለማነሳሳት ዋና ዘዴ ሆኗል። በIV፣ I- እና IV-V ውህዶች፣ የማይበላሹ ሴሚኮንዳክተሮች እና የተለያዩ ኦክሳይድዎችን በማምረት ረገድ በስፋት ጥቅም ላይ ውሏል፤ ለምሳሌ የSiC ቀጭን ፊልሞችን ዝናብ ለመምታት ፖሊክሪስታሊን Si እና CH./Ar የጋዞች ድብልቅ፣ Ti target እና N/Ar TiN ጠንካራ ፊልሞችን ለማዘጋጀት፣ TaO ለማዘጋጀት Ta እና O/Ar፤ dielectric ቀጭን ፊልሞች፣ Fe እና O,/Ar ለማዘጋጀት -FezO፤ -FezO. ቀረጻ ፊልሞች፣ A1 እና N/Ar ያላቸው AIN piezoelectric ፊልሞች፣ A1-CO የተመረጡ የመምጠጥ ፊልሞች ከAI እና CO/Ar ጋር፣ እና YBaCuO-ሱፐርኮንዳክቲቭ ፊልሞች ከY-Ba-Cu እና O/Ar ጋር፣ እና Y-BaCuO-ሱፐርኮንዳክቲቭ ፊልሞች ከሌሎች ጋር።

- ይህ ጽሑፍ የወጣው በየቫክዩም ሽፋን ማሽን አምራችጓንግዶንግ ዠንዋ