स्पटरिंग कोटिंग प्रक्रियेमध्ये, रासायनिकरित्या संश्लेषित फिल्म्स तयार करण्यासाठी संयुगे लक्ष्य म्हणून वापरली जाऊ शकतात. तथापि, लक्ष्य सामग्रीच्या स्पटरिंगनंतर तयार होणाऱ्या फिल्मची रचना अनेकदा लक्ष्य सामग्रीच्या मूळ रचनेपेक्षा खूप वेगळी असते आणि त्यामुळे ती मूळ डिझाइनच्या आवश्यकता पूर्ण करत नाही. जर शुद्ध धातूचे लक्ष्य वापरले जात असेल, तर आवश्यक सक्रिय वायू (उदा. ऑक्साइड फिल्म्स तयार करताना ऑक्सिजन) कार्यकारी (डिस्चार्ज) वायूमध्ये जाणीवपूर्वक मिसळला जातो, जेणेकरून तो लक्ष्य सामग्रीसोबत रासायनिक अभिक्रिया करून एक पातळ फिल्म तयार करेल, जिची रचना आणि वैशिष्ट्ये नियंत्रित करता येतील. या पद्धतीला अनेकदा "रिॲक्शन स्पटरिंग" असे म्हटले जाते.
पूर्वी नमूद केल्याप्रमाणे, RF स्पटरिंगचा वापर डायलेक्ट्रिक फिल्म्स आणि विविध संयुक्त फिल्म्स जमा करण्यासाठी केला जाऊ शकतो. तथापि, "शुद्ध" फिल्म तयार करण्यासाठी, "शुद्ध" टार्गेट, म्हणजेच उच्च-शुद्धतेची ऑक्साइड, नायट्राइड, कार्बाइड किंवा इतर संयुक्त पावडर असणे आवश्यक आहे. या पावडरवर प्रक्रिया करून विशिष्ट आकाराचे टार्गेट बनवण्यासाठी मोल्डिंग किंवा सिंटरिंगसाठी आवश्यक असलेले ॲडिटिव्ह्ज घालावे लागतात, ज्यामुळे टार्गेट आणि परिणामी फिल्मच्या शुद्धतेत लक्षणीय घट होते. तथापि, रिॲक्टिव्ह स्पटरिंगमध्ये, उच्च-शुद्धतेचे धातू आणि उच्च-शुद्धतेचे वायू वापरता येत असल्यामुळे, उच्च-शुद्धतेच्या फिल्म्स तयार करण्यासाठी सोयीस्कर परिस्थिती उपलब्ध होते. अलिकडच्या वर्षांत रिॲक्टिव्ह स्पटरिंगकडे वाढते लक्ष वेधले गेले आहे आणि विविध कार्यात्मक संयुगांच्या पातळ फिल्म्स अवक्षेपित करण्यासाठी ही एक प्रमुख पद्धत बनली आहे. याचा उपयोग IV, I- आणि IV-V संयुगे, रिफ्रॅक्टरी सेमीकंडक्टर आणि विविध ऑक्साईड्सच्या निर्मितीमध्ये मोठ्या प्रमाणावर केला गेला आहे, जसे की SiC थिन फिल्म्सच्या अवक्षेपणासाठी पॉलीक्रिस्टलाइन Si आणि CH./Ar वायूंचे मिश्रण वापरणे, TiN हार्ड फिल्म्स तयार करण्यासाठी Ti टार्गेट आणि N/Ar वापरणे, TaO तयार करण्यासाठी Ta आणि O/Ar वापरणे; डायलेक्ट्रिक थिन फिल्म्स, -FezO तयार करण्यासाठी Fe आणि O,/Ar वापरणे; -FezO. रेकॉर्डिंग फिल्म्स, A1 आणि N/Ar सह A1-पायझोइलेक्ट्रिक फिल्म्स, A1 आणि CO/Ar सह A1-CO सिलेक्टिव्ह ॲबसॉर्प्शन फिल्म्स, आणि Y-Ba-Cu आणि O/Ar सह YBaCuO-सुपरकंडक्टिंग फिल्म्स, इत्यादी.
हा लेख यांनी प्रसिद्ध केला आहेव्हॅक्यूम कोटिंग मशीन उत्पादकग्वांगडोंग झेन्हुआ
पोस्ट करण्याची वेळ: १८ जानेवारी २०२४