Trong quy trình phủ màng bằng phương pháp phún xạ, các hợp chất có thể được sử dụng làm vật liệu đích để chế tạo các màng tổng hợp hóa học. Tuy nhiên, thành phần của màng được tạo ra sau khi phún xạ vật liệu đích thường khác biệt rất nhiều so với thành phần ban đầu của vật liệu đích, và do đó không đáp ứng được yêu cầu của thiết kế ban đầu. Nếu sử dụng vật liệu đích là kim loại nguyên chất, khí hoạt tính cần thiết (ví dụ: oxy khi chế tạo màng oxit) được trộn vào khí làm việc (khí phóng điện) để phản ứng hóa học với vật liệu đích, tạo ra một màng mỏng có thể kiểm soát được về thành phần và đặc tính. Phương pháp này thường được gọi là “phun phún xạ phản ứng”.
Như đã đề cập trước đó, phương pháp phún xạ RF có thể được sử dụng để lắng đọng các màng điện môi và các màng hợp chất khác nhau. Tuy nhiên, để chế tạo một màng “tinh khiết”, cần phải có một mục tiêu “tinh khiết”, tức là bột oxit, nitrua, cacbua hoặc các hợp chất khác có độ tinh khiết cao. Việc xử lý các loại bột này thành mục tiêu có hình dạng nhất định đòi hỏi phải thêm các chất phụ gia cần thiết cho quá trình tạo hình hoặc thiêu kết, dẫn đến giảm đáng kể độ tinh khiết của mục tiêu và màng thu được. Tuy nhiên, trong phương pháp phún xạ phản ứng, do có thể sử dụng các kim loại và khí có độ tinh khiết cao, nên các điều kiện thuận lợi được cung cấp cho việc chế tạo các màng có độ tinh khiết cao. Phương pháp phún xạ phản ứng đã nhận được sự chú ý ngày càng tăng trong những năm gần đây và đã trở thành một phương pháp chính để kết tủa các màng mỏng của nhiều hợp chất chức năng khác nhau. Nó được sử dụng rộng rãi trong sản xuất các hợp chất IV, I và IV-V, chất bán dẫn chịu nhiệt và nhiều loại oxit khác nhau, chẳng hạn như sử dụng Si đa tinh thể và hỗn hợp khí CH₄/Ar để kết tủa màng mỏng SiC, sử dụng bia Ti và N₂/Ar để chế tạo màng cứng TiN, Ta và O₂/Ar để chế tạo TaO; màng mỏng điện môi, Fe và O₂/Ar để chế tạo α-FezO; màng ghi α-FezO, màng áp điện α-A1 với Al₂ và N₂/Ar, màng hấp thụ chọn lọc Al₂-CO với Al₂ và CO/Ar, và màng siêu dẫn YBaCuO với Y-Ba-Cu và O₂/Ar, cùng nhiều ứng dụng khác.
–Bài viết này được phát hành bởiNhà sản xuất máy phủ chân khôngQuảng Đông Chấn Hoa
Thời gian đăng bài: 18/01/2024