Дар раванди пӯшонидани пошидани маводи кимиёвӣ, пайвастагиҳо метавонанд ҳамчун ҳадафҳо барои тайёр кардани плёнкаҳои синтезшудаи кимиёвӣ истифода шаванд. Аммо, таркиби плёнкае, ки пас аз пошидани маводи ҳадаф ба вуҷуд меояд, аксар вақт аз таркиби аслии маводи ҳадаф хеле фарқ мекунад ва аз ин рӯ, ба талаботи тарҳи аслӣ ҷавобгӯ нест. Агар ҳадафи холиси металлӣ истифода шавад, гази фаъоли зарурӣ (масалан, оксиген ҳангоми тайёр кардани плёнкаҳои оксидӣ) ба таври бошуурона ба гази корӣ (резиши маводи кимиёвӣ) омехта карда мешавад, то он бо маводи ҳадаф ба таври кимиёвӣ реаксия кунад ва плёнкаи тунукеро ба вуҷуд орад, ки аз ҷиҳати таркиб ва хусусиятҳои он назорат карда мешавад. Ин усул аксар вақт ҳамчун "пошидани реаксия" номида мешавад.
Тавре ки қаблан зикр гардид, пошидани радиореактивӣ метавонад барои гузоштани плёнкаҳои диэлектрикӣ ва плёнкаҳои гуногуни мураккаб истифода шавад. Аммо, барои тайёр кардани плёнкаи "холис", доштани ҳадафи "холис", оксиди баландсифат, нитрид, карбид ё дигар хокаи мураккаб зарур аст. Коркарди ин хокаҳо ба ҳадафи шакли муайян илова кардани иловаҳои заруриро барои қолабсозӣ ё пухтан талаб мекунад, ки боиси коҳиши назарраси тозагии ҳадаф ва плёнкаи ҳосилшуда мегардад. Аммо, дар пошидани реактивӣ, азбаски металлҳои баландсифат ва газҳои баландсифат истифода бурда мешаванд, шароити мусоид барои тайёр кардани плёнкаҳои баландсифат фароҳам оварда мешавад. Пошидани реактивӣ дар солҳои охир таваҷҷӯҳи бештарро ба худ ҷалб кардааст ва ба усули асосии таҳшин кардани плёнкаҳои тунуки пайвастагиҳои гуногуни функсионалӣ табдил ёфтааст. Он ба таври васеъ дар истеҳсоли пайвастагиҳои IV, I- ва IV-V, нимноқилҳои оташгиранда ва як қатор оксидҳо, ба монанди истифодаи омехтаи поликристаллии Si ва CH./Ar барои аксбардории плёнкаҳои тунуки SiC, ҳадафи Ti ва N/Ar барои тайёр кардани плёнкаҳои сахти TiN, Ta ва O/Ar барои тайёр кардани TaO; плёнкаҳои тунуки диэлектрикӣ, Fe ва O,/Ar барои тайёр кардани -FezO; плёнкаҳои сабти -FezO., плёнкаҳои пьезоэлектрикии AIN бо A1 ва N/Ar, плёнкаҳои ҷабби интихобии A1-CO бо AI ва CO/Ar ва плёнкаҳои фавқуноқилонаи YBaCuO бо Y-Ba-Cu ва O/Ar ва ғайра истифода мешавад.
- Ин мақола аз ҷониби нашр шудаастистеҳсолкунандаи мошини пӯшонидани вакуумӣГуандун Чжэнхуа
Вақти нашр: 18 январи соли 2024