Шашыратумен жабу процесінде қосылыстар химиялық синтезделген пленкаларды дайындау үшін нысана ретінде пайдаланылуы мүмкін. Дегенмен, нысана материалын шашыратқаннан кейін пайда болған пленканың құрамы көбінесе нысана материалының бастапқы құрамынан айтарлықтай ауытқиды, сондықтан бастапқы дизайн талаптарына сәйкес келмейді. Егер таза металл нысана қолданылса, қажетті белсенді газ (мысалы, оксид пленкаларын дайындаған кезде оттегі) жұмыс (шығару) газына саналы түрде араластырылады, осылайша ол нысана материалымен химиялық әрекеттесіп, құрамы мен сипаттамалары бойынша басқарылатын жұқа пленка түзеді. Бұл әдіс көбінесе «реакциялық шашырату» деп аталады.
Бұрын айтылғандай, РФ тозаңдату диэлектрлік пленкаларды және әртүрлі қосылыс пленкаларын тұндыру үшін пайдаланылуы мүмкін. Дегенмен, «таза» пленканы дайындау үшін «таза» нысана, жоғары тазалықтағы оксид, нитрид, карбид немесе басқа қосылыс ұнтағы болуы керек. Бұл ұнтақтарды белгілі бір пішіндегі нысанаға өңдеу қалыптау немесе күйдіру үшін қажетті қоспаларды қосуды талап етеді, бұл нысананың және алынған пленканың тазалығының айтарлықтай төмендеуіне әкеледі. Алайда, реактивті тозаңдату кезінде жоғары тазалықтағы металдар мен жоғары тазалықтағы газдарды қолдануға болатындықтан, жоғары тазалықтағы пленкаларды дайындау үшін қолайлы жағдайлар жасалады. Реактивті тозаңдату соңғы жылдары көбірек назар аударып келеді және әртүрлі функционалдық қосылыстардың жұқа пленкаларын тұндырудың негізгі әдісіне айналды. Ол IV, I- және IV-V қосылыстарын, отқа төзімді жартылай өткізгіштерді және әртүрлі оксидтерді өндіруде кеңінен қолданылды, мысалы, SiC жұқа қабықшаларын тұндыру үшін поликристалды Si және CH3./Ar газ қоспасын, TiN қатты қабықшаларын дайындау үшін Ti нысанасын және N/Ar, TaO2 дайындау үшін Ta және O/Ar; -FezO2 дайындау үшін диэлектрлік жұқа қабықшалар, Fe және O,/Ar; -FezO2 жазу қабықшалары, A1 және N/Ar бар AIN пьезоэлектрлік қабықшалары, AI және CO/Ar бар A1-CO селективті сіңіру қабықшалары және Y-Ba-Cu және O/Ar бар YBaCuO2-асқын өткізгіш қабықшалары және басқалары.
– Бұл мақала жарияланғанвакуумдық жабын машинасын өндірушіГуандун Чжэнхуа
Жарияланған уақыты: 2024 жылғы 18 қаңтар