Purkash qoplamasi jarayonida birikmalar kimyoviy sintezlangan plyonkalarni tayyorlash uchun nishon sifatida ishlatilishi mumkin. Biroq, nishon materialining purkashidan keyin hosil bo'lgan plyonkaning tarkibi ko'pincha nishon materialining asl tarkibidan sezilarli darajada farq qiladi va shuning uchun asl dizayn talablariga javob bermaydi. Agar sof metall nishon ishlatilsa, kerakli faol gaz (masalan, oksid plyonkalarini tayyorlashda kislorod) ishchi (razryadlovchi) gazga ongli ravishda aralashtiriladi, shunda u nishon materiali bilan kimyoviy reaksiyaga kirishib, tarkibi va xususiyatlari jihatidan boshqarilishi mumkin bo'lgan yupqa plyonka hosil qiladi. Bu usul ko'pincha "reaktsiya purkashi" deb ataladi.
Avval aytib o'tilganidek, RF purkash dielektrik plyonkalar va turli xil birikma plyonkalarni cho'ktirish uchun ishlatilishi mumkin. Biroq, "sof" plyonka tayyorlash uchun "sof" nishon, yuqori tozalikdagi oksid, nitrid, karbid yoki boshqa birikma kukuni bo'lishi kerak. Ushbu kukunlarni ma'lum bir shakldagi nishonga qayta ishlash uchun qoliplash yoki sinterlash uchun zarur bo'lgan qo'shimchalar qo'shilishi kerak, bu esa nishon va natijada hosil bo'lgan plyonkaning sofligini sezilarli darajada pasaytiradi. Biroq, reaktiv purkashda yuqori tozalikdagi metallar va yuqori tozalikdagi gazlardan foydalanish mumkinligi sababli, yuqori tozalikdagi plyonkalarni tayyorlash uchun qulay sharoitlar yaratiladi. Reaktiv purkash so'nggi yillarda tobora ko'proq e'tiborga sazovor bo'ldi va turli funktsional birikmalarning yupqa plyonkalarini cho'ktirishning asosiy usuliga aylandi. U IV, I- va IV-V birikmalarini, refrakter yarimo'tkazgichlarni va turli xil oksidlarni ishlab chiqarishda keng qo'llanilgan, masalan, SiC yupqa plyonkalarini cho'ktirish uchun polikristalli Si va CH3./Ar gazlar aralashmasidan, TiN qattiq plyonkalarini tayyorlash uchun Ti nishoni va N/Ardan, TaO2 tayyorlash uchun Ta va O/Ardan; -FezO2 tayyorlash uchun dielektrik yupqa plyonkalardan, -FezO2 yozib olish plyonkalaridan, A1 va N/Ar bilan AIN pyezoelektrik plyonkalaridan, AI va CO/Ar bilan A1-CO selektiv yutilish plyonkalaridan va Y-Ba-Cu va O/Ar bilan YBaCuO2-o'ta o'tkazuvchan plyonkalaridan va boshqalardan foydalanish.
–Ushbu maqola nashr etilganvakuumli qoplama mashinasi ishlab chiqaruvchisiGuangdong Chjenxua
Joylashtirilgan vaqt: 2024-yil 18-yanvar