Sifa na Matumizi ya Mipako ya Kunyunyizia Matone Tendaji

Katika mchakato wa mipako ya kunyunyizia, misombo inaweza kutumika kama shabaha za utayarishaji wa filamu zilizotengenezwa kwa kemikali. Hata hivyo, muundo wa filamu unaozalishwa baada ya kunyunyizia nyenzo lengwa mara nyingi hutofautiana sana na muundo wa asili wa nyenzo lengwa, na kwa hivyo haukidhi mahitaji ya muundo wa asili. Ikiwa shabaha safi ya chuma inatumika, gesi inayotumika inayohitajika (km, oksijeni wakati wa kuandaa filamu za oksidi) huchanganywa kwa makusudi kwenye gesi inayofanya kazi (ya kutokwa), ili humenyuka kikemikali na nyenzo lengwa ili kutoa filamu nyembamba ambayo inaweza kudhibitiwa kulingana na muundo na sifa zake. Njia hii mara nyingi hujulikana kama "kunyunyizia mmenyuko".

Kama ilivyotajwa hapo awali, unyunyiziaji wa RF unaweza kutumika kuweka filamu za dielektriki na filamu mbalimbali za misombo. Hata hivyo, ili kuandaa filamu "safi", ni muhimu kuwa na shabaha "safi", oksidi yenye usafi wa hali ya juu, nitridi, kabidi, au unga mwingine wa misombo. Kusindika poda hizi kuwa shabaha ya umbo fulani kunahitaji kuongezwa kwa viongeza vinavyohitajika kwa ajili ya uundaji au uchomaji, jambo ambalo husababisha kupungua kwa kiasi kikubwa kwa usafi wa shabaha na filamu inayotokana. Hata hivyo, katika unyunyiziaji tendaji, kwa kuwa metali zenye usafi wa hali ya juu na gesi zenye usafi wa hali ya juu zinaweza kutumika, hali rahisi hutolewa kwa ajili ya utayarishaji wa filamu zenye usafi wa hali ya juu. Unyunyiziaji tendaji umepokea umakini unaoongezeka katika miaka ya hivi karibuni na umekuwa njia kuu ya kuchochea filamu nyembamba za misombo mbalimbali ya utendaji. Imetumika sana katika utengenezaji wa misombo ya IV, I- na IV-V, semiconductors zinazokinza, na aina mbalimbali za oksidi, kama vile matumizi ya mchanganyiko wa gesi wa polikrimu Si na CH./Ar ili kutoa mvua ya filamu nyembamba za SiC, lengo la Ti na N/Ar ili kuandaa filamu ngumu za TiN, Ta na O/Ar ili kuandaa TaO; filamu nyembamba za dielectric, Fe na O,/Ar ili kuandaa -FezO; filamu za kurekodi za -FezO., filamu za piezoelectric za AIN zenye A1 na N/Ar, filamu za kunyonya za A1-CO zenye AI na CO/Ar, na filamu za YBaCuO-superconducting zenye Y-Ba-Cu na O/Ar, miongoni mwa zingine.

– Makala hii imetolewa namtengenezaji wa mashine ya mipako ya utupuGuangdong Zhenhua