Mokgweng wa ho penta ka ho phunya, metsoako e ka sebediswa e le dipheo tsa ho lokisa difilimi tse entsweng ka dikhemikhale. Leha ho le jwalo, sebopeho sa filimi e hlahiswang ka mora ho phunya thepa e rerilweng hangata se fapana haholo le sebopeho sa pele sa thepa e rerilweng, mme ka hona ha se fihlelle ditlhoko tsa moralo wa pele. Haeba ho sebediswa sepheo sa tshepe e hlwekileng, kgase e sebetsang e hlokahalang (mohlala, oksijene ha ho lokiswa difilimi tsa oxide) e kopanngwa ka boomo le kgase e sebetsang (e ntshang metsi), e le hore e arabele ka dikhemikhale le thepa e rerilweng ho hlahisa filimi e tshesane e ka laolwang ho ya ka sebopeho le dibopeho tsa yona. Mokgwa ona hangata o bitswa "ho phunya ka ho phunya".
Jwalo ka ha ho boletswe pejana, ho tshwaetsa ha RF ho ka sebediswa ho kenya difilime tsa dielectric le difilime tse fapaneng tsa metsoako. Leha ho le jwalo, e le ho lokisa filimi e "hloekileng", ho hlokahala hore ho be le sepheo se "hloekileng", oxide e hlwekileng haholo, nitride, carbide, kapa phofo e nngwe ya metsoako. Ho sebetsana le phofo tsena ho ba sepheo sa sebopeho se itseng ho hloka ho eketswa ha dintho tse hlokahalang bakeng sa ho bopa kapa ho tjhesa, e leng se fellang ka phokotso e kgolo bohlweking ba sepheo le filimi e hlahang. Leha ho le jwalo, ho tshwaetsa ha reactive, kaha ditshipi tse hlwekileng haholo le dikgase tse hlwekileng haholo di ka sebediswa, maemo a loketseng a fanwa bakeng sa ho lokisa difilime tse hlwekileng haholo. Ho tshwaetsa ha reactive ho fumane tlhokomelo e ntseng e eketseha dilemong tsa morao tjena mme e se e le mokgwa o moholo wa ho tshwaetsa difilime tse tshesane tsa metsoako e fapaneng e sebetsang. E sebelisitsoe haholo tlhahisong ea metsoako ea IV, I- le IV-V, li-semiconductor tse hanyetsang, le mefuta e fapaneng ea li-oxide, joalo ka tšebeliso ea motsoako oa likhase tsa polycrystalline Si le CH./Ar ho thunya pula ea lifilimi tse tšesaane tsa SiC, Ti target le N/Ar ho lokisa lifilimi tse thata tsa TiN, Ta le O/Ar ho lokisa TaO; lifilimi tse tšesaane tsa dielectric, Fe le O,/Ar ho lokisa -FezO; -FezO. lifilimi tsa ho rekota, lifilimi tsa piezoelectric tsa AIN tse nang le A1 le N/Ar, lifilimi tsa ho monya tse khethiloeng tsa A1-CO tse nang le AI le CO/Ar, le lifilimi tsa YBaCuO-superconducting tse nang le Y-Ba-Cu le O/Ar, har'a tse ling.
–Sengoloa sena se lokollotsoe kemoetsi oa mochini oa ho roala ka vacuum cleanerGuangdong Zhenhua
Nako ea poso: Pherekhong-18-2024