रिएक्टिव स्पटरिंग कोटिंग की विशेषताएं और अनुप्रयोग

स्पटरिंग कोटिंग प्रक्रिया में, रासायनिक रूप से संश्लेषित फिल्मों के निर्माण के लिए यौगिकों को लक्ष्य के रूप में उपयोग किया जा सकता है। हालांकि, लक्ष्य सामग्री के स्पटरिंग के बाद उत्पन्न फिल्म की संरचना अक्सर लक्ष्य सामग्री की मूल संरचना से बहुत भिन्न होती है, और इसलिए मूल डिज़ाइन की आवश्यकताओं को पूरा नहीं करती है। यदि शुद्ध धातु लक्ष्य का उपयोग किया जाता है, तो आवश्यक सक्रिय गैस (जैसे, ऑक्साइड फिल्मों के निर्माण के समय ऑक्सीजन) को कार्यशील (डिस्चार्ज) गैस में जानबूझकर मिलाया जाता है, ताकि यह लक्ष्य सामग्री के साथ रासायनिक रूप से प्रतिक्रिया करके एक पतली फिल्म का निर्माण करे जिसकी संरचना और विशेषताओं को नियंत्रित किया जा सके। इस विधि को अक्सर "प्रतिक्रिया स्पटरिंग" कहा जाता है।

जैसा कि पहले बताया गया है, आरएफ स्पटरिंग का उपयोग डाइइलेक्ट्रिक फिल्मों और विभिन्न यौगिक फिल्मों को जमा करने के लिए किया जा सकता है। हालांकि, एक "शुद्ध" फिल्म तैयार करने के लिए, एक "शुद्ध" लक्ष्य, उच्च-शुद्धता वाले ऑक्साइड, नाइट्राइड, कार्बाइड या अन्य यौगिक पाउडर का होना आवश्यक है। इन पाउडरों को एक निश्चित आकार के लक्ष्य में संसाधित करने के लिए मोल्डिंग या सिंटरिंग के लिए आवश्यक योजकों को मिलाना पड़ता है, जिसके परिणामस्वरूप लक्ष्य और परिणामी फिल्म की शुद्धता में काफी कमी आती है। हालांकि, रिएक्टिव स्पटरिंग में, उच्च-शुद्धता वाली धातुओं और उच्च-शुद्धता वाली गैसों का उपयोग किया जा सकता है, जिससे उच्च-शुद्धता वाली फिल्मों के निर्माण के लिए अनुकूल परिस्थितियां प्राप्त होती हैं। हाल के वर्षों में रिएक्टिव स्पटरिंग पर तेजी से ध्यान दिया जा रहा है और यह विभिन्न कार्यात्मक यौगिकों की पतली फिल्मों को अवक्षेपित करने की एक प्रमुख विधि बन गई है। इसका व्यापक रूप से IV, I- और IV-V यौगिकों, दुर्दम्य अर्धचालकों और विभिन्न प्रकार के ऑक्साइडों के निर्माण में उपयोग किया जाता है, जैसे कि SiC पतली फिल्मों के अवक्षेपण के लिए पॉलीक्रिस्टलाइन Si और CH./Ar गैसों के मिश्रण का उपयोग, TiN कठोर फिल्मों को तैयार करने के लिए Ti लक्ष्य और N/Ar का उपयोग, TaO को तैयार करने के लिए Ta और O/Ar का उपयोग; परावैद्युत पतली फिल्मों का निर्माण, Fe और O,/Ar को तैयार करने के लिए -FezO; -FezO रिकॉर्डिंग फिल्मों का निर्माण, A1 और N/Ar के साथ AIN पीजोइलेक्ट्रिक फिल्मों का निर्माण, AI और CO/Ar के साथ A1-CO चयनात्मक अवशोषण फिल्मों का निर्माण, और Y-Ba-Cu और O/Ar के साथ YBaCuO-अतिचालक फिल्मों का निर्माण आदि।

–यह लेख द्वारा प्रकाशित किया गया हैवैक्यूम कोटिंग मशीन निर्मातागुआंग्डोंग झेंहुआ