Nínú ilana ìbòrí sputtering, a le lo awọn agbohunsoke bi awọn afojusun fun igbaradi awọn fiimu ti a ṣe ni kemikali. Sibẹsibẹ, akojọpọ fiimu ti a ṣe lẹhin ti a ti tu ohun elo afojusun naa nigbagbogbo yato pupọ si akopọ atilẹba ti ohun elo afojusun naa, nitorinaa ko baamu awọn ibeere ti apẹrẹ atilẹba. Ti a ba lo ibi-afẹde irin mimọ kan, a da gaasi ti nṣiṣe lọwọ ti a nilo (fun apẹẹrẹ, atẹgun nigbati a ba ngbaradi awọn fiimu oxide) pọ mọ gaasi ti n ṣiṣẹ (idasilẹ), nitorinaa o ṣe atunṣe pẹlu ohun elo afojusun naa ni kemikali lati ṣe fiimu tinrin ti a le ṣakoso ni awọn ofin ti akopọ ati awọn abuda rẹ. Ọna yii ni a maa n pe ni “sputtering reaction”.
Gẹ́gẹ́ bí a ti sọ tẹ́lẹ̀, a lè lo ìfọ́mọ́ RF láti fi àwọn fíìmù dielectric àti onírúurú fíìmù compound sí i. Síbẹ̀síbẹ̀, láti lè pèsè fíìmù “mímọ́” kan, ó ṣe pàtàkì láti ní ibi tí a lè fojú sí “mímọ́” kan, oxide onímọ́ gíga, nitride, carbide, tàbí lulú compound mìíràn. Síṣe àwọn lulú wọ̀nyí sí ibi tí a lè fojú sí ní ìrísí kan pàtó nílò àfikún àwọn afikún tí ó yẹ fún mímú tàbí síntering, èyí tí ó ń yọrí sí ìdínkù pàtàkì nínú ìmọ́tótó ohun tí a fẹ́ lò àti fíìmù tí ó ń jáde. Ṣùgbọ́n nínú ìfọ́mọ́ RF, níwọ̀n ìgbà tí a lè lo àwọn irin onímọ́ gíga àti àwọn gáàsì onímọ́ gíga, a pèsè àwọn ipò tí ó rọrùn fún ṣíṣe àwọn fíìmù onímọ́ gíga. Ìfọ́mọ́ RF ti gba àfiyèsí púpọ̀ ní àwọn ọdún àìpẹ́ yìí ó sì ti di ọ̀nà pàtàkì fún ṣíṣe àwọn fíìmù onímọ́ tinrin ti onírúurú compounds iṣẹ́. A ti lo o ni ibigbogbo ninu ṣiṣe awọn agbo ogun IV, I- ati IV-V, awọn semiconductors ti ko ni agbara, ati awọn oriṣiriṣi awọn oksidi, gẹgẹbi lilo adalu gaasi polycrystalline Si ati CH./Ar lati ya ojo ti awọn fiimu tinrin SiC, Ti target ati N/Ar lati pese awọn fiimu lile TiN, Ta ati O/Ar lati pese TaO; awọn fiimu tinrin dielectric, Fe ati O,/Ar lati pese -FezO; -FezO. gbigbasilẹ awọn fiimu, awọn fiimu piezoelectric AIN pẹlu A1 ati N/Ar, awọn fiimu gbigba yiyan A1-CO pẹlu AI ati CO/Ar, ati awọn fiimu superconducting YBaCuO pẹlu Y-Ba-Cu ati O/Ar, laarin awọn miiran.
–A gbé àpilẹ̀kọ yìí jáde láti ọwọ́ẹrọ fifọ ideri igbaleGuangdong Zhenhua
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Jan-18-2024