Habka dahaarka xoqidda, isku-darka waxaa loo isticmaali karaa bartilmaameedyo loogu talagalay diyaarinta filimada kiimikada lagu sameeyay. Si kastaba ha ahaatee, isku-darka filimka la sameeyay ka dib marka la buufiyo walxaha la bartilmaameedsaday badanaa si weyn ayuu uga leexdaa halabuurka asalka ah ee walxaha la beegsanayo, sidaas darteedna ma buuxiyo shuruudaha naqshadda asalka ah. Haddii la isticmaalo bartilmaameed bir ah oo saafi ah, gaaska firfircoon ee loo baahan yahay (tusaale ahaan, ogsijiinta marka la diyaarinayo filimada oksaydhka) si miyir leh ayaa loogu qasaa gaaska shaqeynaya (daadinta), si ay si kiimiko ah ula falgasho walxaha la beegsanayo si ay u soo saaraan filim khafiif ah oo la xakameyn karo marka loo eego halabuurka iyo astaamaha. Habkan waxaa badanaa loogu yeeraa "duufinta falcelinta".
Sida hore loo soo sheegay, RF sputtering waxaa loo isticmaali karaa in lagu shubo filimada dielectric iyo filimaan isku dhafan oo kala duwan. Si kastaba ha ahaatee, si loo diyaariyo filim "saafi ah", waxaa lagama maarmaan ah in la helo bartilmaameed "saafi ah", oksaydh saafi ah, nitride, carbide, ama budada kale ee isku dhafan. Habaynta budadan bartilmaameedka qaab gaar ah waxay u baahan tahay in lagu daro waxyaabaha lagu daro ee lagama maarmaanka u ah qaabaynta ama sintering, taas oo keenta hoos u dhac weyn oo ku yimaada daahirnimada bartilmaameedka iyo filimka ka dhasha. Si kastaba ha ahaatee, sputtering falcelinta leh, maadaama biraha saafiga ah iyo gaasaska saafiga ah la isticmaali karo, xaalado ku habboon ayaa la bixiyaa si loo diyaariyo filimada saafiga ah. Sputtering falcelinta leh waxay heshay fiiro gaar ah sannadihii la soo dhaafay waxayna noqotay hab weyn oo lagu kiciyo filimada khafiifka ah ee isku-dhafan oo kala duwan. Waxaa si weyn loogu isticmaalay soo saarista isku-dhafka IV, I- iyo IV-V, semiconductors-ka iska caabiya, iyo noocyo kala duwan oo oksaydh ah, sida isticmaalka isku-darka gaasaska polycrystalline Si iyo CH./Ar si loo duubo roobabka filimada khafiifka ah ee SiC, bartilmaameedka Ti iyo N/Ar si loo diyaariyo filimada adag ee TiN, Ta iyo O/Ar si loo diyaariyo TaO; filimada khafiifka ah ee dielectric, Fe iyo O,/Ar si loo diyaariyo -FezO; -FezO. filimada duubista, filimada piezoelectric AIN oo leh A1 iyo N/Ar, filimada nuugista ee xulashada A1-CO oo leh AI iyo CO/Ar, iyo filimada superconducting YBaCuO oo leh Y-Ba-Cu iyo O/Ar, iyo kuwo kale.
– Maqaalkan waxaa soo saaray ’’Qoraalkan waxaa soo saaray ’’soo saaraha mashiinka dahaadhka faakuumkaGuangdong Zhenhua
Waqtiga boostada: Jan-18-2024