Njirimara na Ngwa Mkpuchi Sputtering Reactive

N'usoro mkpuchi sputtering, enwere ike iji ihe ndị mejupụtara ya dị ka ihe mgbaru ọsọ maka nkwadebe nke ihe nkiri e ji kemịkalụ mepụta. Agbanyeghị, nhazi nke ihe nkiri ahụ e mepụtara mgbe e gbusịrị ihe ebumnuche ahụ na-adịkarị iche na ihe mejupụtara mbụ nke ihe ebumnuche ahụ, ya mere ọ naghị emezu ihe achọrọ na imewe mbụ ahụ. Ọ bụrụ na ejiri ihe mgbaru ọsọ ígwè dị ọcha mee ihe, a na-agwakọta gas na-arụ ọrụ achọrọ (dịka ọmụmaatụ, oxygen mgbe a na-akwadebe ihe nkiri oxide) n'ime gas na-arụ ọrụ (mwepụ), nke mere na ọ na-emeghachi omume na kemịkalụ na ihe ebumnuche ahụ iji mepụta ihe nkiri dị gịrịgịrị nke enwere ike ijikwa n'ihe gbasara nhazi na njirimara ya. A na-akpọkarị usoro a "mgbasa mmeghachi omume".

Dịka ekwuru na mbụ, enwere ike iji RF sputtering tinye ihe nkiri dielectric na ihe nkiri dị iche iche mejupụtara ihe. Agbanyeghị, iji kwadebe ihe nkiri "dị ọcha", ọ dị mkpa inwe ihe mgbaru ọsọ "dị ọcha", oxide dị ọcha, nitride, carbide, ma ọ bụ ntụ ntụ ngwakọta ndị ọzọ. Ịhazi ntụ ntụ ndị a n'ime ihe mgbaru ọsọ nke ọdịdị ụfọdụ chọrọ mgbakwunye nke ihe mgbakwunye dị mkpa maka ịkpụzi ma ọ bụ sintering, nke na-ebute mbelata dị ukwuu na ịdị ọcha nke ihe mgbaru ọsọ na ihe nkiri ahụ na-esi na ya pụta. Otú ọ dị, na sputtering reactive, ebe ọ bụ na enwere ike iji ígwè dị ọcha na gas dị elu, a na-enye ọnọdụ dị mma maka nkwadebe nke ihe nkiri dị ọcha. Sputtering reactive enwetawo nlebara anya na-abawanye ụba n'afọ ndị na-adịbeghị anya ma ghọọ ụzọ bụ isi maka ime ka ihe nkiri dị gịrịgịrị nke ihe dị iche iche rụọ ọrụ dị mkpa. A na-eji ya eme ihe nke ukwuu n'imepụta ihe mejupụtara IV, I- na IV-V, semiconductors na-adịghị emegharị ahụ, na ọtụtụ oxides, dịka iji ngwakọta gas polycrystalline Si na CH./Ar iji gbaa mmiri nke ihe nkiri SiC dị gịrịgịrị, Ti target na N/Ar iji kwadebe ihe nkiri siri ike TiN, Ta na O/Ar iji kwadebe TaO; ihe nkiri dielectric dị gịrịgịrị, Fe na O,/Ar iji kwadebe -FezO; -FezO. ihe nkiri ndekọ, ihe nkiri piezoelectric AIN nwere A1 na N/Ar, ihe nkiri nhọrọ nnabata A1-CO nwere AI na CO/Ar, na ihe nkiri YBaCuO-superconducting nwere Y-Ba-Cu na O/Ar, tinyere ndị ọzọ.

–E bipụtara akụkọ a site n'aka onyeigwe mkpuchi igwe emeputa ihe mkpuchiGuangdong Zhenhua