Ao amin'ny dingana fanosorana "sputtering", azo ampiasaina ho lasibatra amin'ny fanomanana sarimihetsika voaforona ara-simika ny akora simika. Na izany aza, ny firafitry ny sarimihetsika vokarina aorian'ny sputtering amin'ny fitaovana kendrena dia matetika mivaona be amin'ny firafitry ny fitaovana kendrena tany am-boalohany, ary noho izany dia tsy mahafeno ny fepetra takian'ny endrika tany am-boalohany. Raha metaly madio no ampiasaina, ny entona mavitrika ilaina (ohatra, oksizenina rehefa manomana sarimihetsika oksida) dia afangaro am-pilaminana amin'ny entona miasa (famoahana), mba hihetsika ara-simika amin'ny fitaovana kendrena mba hamokarana sarimihetsika manify izay azo fehezina amin'ny firafiny sy ny toetrany. Ity fomba ity dia matetika antsoina hoe "reaction sputtering".
Araka ny voalaza tetsy aloha, ny RF sputtering dia azo ampiasaina hametrahana sarimihetsika dielectric sy sarimihetsika compound isan-karazany. Na izany aza, mba hanomanana sarimihetsika "madio", dia ilaina ny manana lasibatra "madio", oksida madio avo lenta, nitride, carbide, na vovoka compound hafa. Ny fanodinana ireo vovoka ireo ho lasibatra amin'ny endrika iray dia mitaky ny fanampiana additives ilaina amin'ny famolavolana na sintering, izay miteraka fihenana be dia be amin'ny fahadiovan'ny lasibatra sy ny sarimihetsika vokarina. Amin'ny reactive sputtering anefa, satria azo ampiasaina ny metaly madio avo lenta sy ny entona madio avo lenta, dia misy fepetra mety amin'ny fanomanana sarimihetsika madio avo lenta. Niha-nitombo ny sain'ny olona tato anatin'ny taona vitsivitsy ny reactive sputtering ary lasa fomba lehibe amin'ny fametrahana sarimihetsika manify amin'ny fitambarana miasa isan-karazany. Nampiasaina betsaka tamin'ny fanamboarana akora IV, I- ary IV-V, semiconductors tsy mety levona, ary karazana oksida isan-karazany izy io, toy ny fampiasana gazy polycrystalline Si sy CH./Ar mba hampipoitra ny rotsak'ireo sarimihetsika manify SiC, Ti target sy N/Ar mba hanomanana sarimihetsika mafy TiN, Ta sy O/Ar mba hanomanana TaO; sarimihetsika manify dielectric, Fe sy O,/Ar mba hanomanana -FezO; sarimihetsika fandraisam-peo -FezO., sarimihetsika piezoelectric AIN misy A1 sy N/Ar, sarimihetsika absorption A1-CO misy AI sy CO/Ar, ary sarimihetsika superconducteur YBaCuO misy Y-Ba-Cu sy O/Ar, ankoatra ny hafa.
–Navoakan'nympanamboatra milina fanosotra bangaGuangdong Zhenhua
Fotoana fandefasana: 18 Janoary 2024