Dina prosés palapis sputtering, sanyawa tiasa dianggo salaku target pikeun persiapan pilem anu disintésis sacara kimia. Nanging, komposisi pilem anu dihasilkeun saatos sputtering bahan target sering nyimpang pisan tina komposisi asli bahan target, sareng ku kituna henteu nyumponan sarat desain aslina. Upami target logam murni dianggo, gas aktif anu diperyogikeun (contona, oksigén nalika nyiapkeun pilem oksida) dicampur sacara sadar kana gas anu dianggo (discharge), supados réaksi kimia sareng bahan target ngahasilkeun pilem ipis anu tiasa dikontrol dina hal komposisi sareng karakteristikna. Métode ieu sering disebut "réaction sputtering".
Sapertos anu parantos disebatkeun sateuacanna, RF sputtering tiasa dianggo pikeun neundeun pilem dielektrik sareng rupa-rupa pilem sanyawa. Nanging, pikeun nyiapkeun pilem "murni", diperyogikeun target "murni", oksida anu murni, nitrida, karbida, atanapi bubuk sanyawa anu sanés. Ngolah bubuk ieu kana target anu bentukna tangtu meryogikeun panambahan aditif anu diperyogikeun pikeun molding atanapi sintering, anu ngahasilkeun réduksi anu signifikan dina kamurnian target sareng pilem anu dihasilkeun. Nanging, dina sputtering réaktif, kumargi logam anu murni sareng gas anu murni tiasa dianggo, kaayaan anu merenah disayogikeun pikeun persiapan pilem anu murni. Sputtering réaktif parantos nampi perhatian anu ningkat dina sababaraha taun terakhir sareng parantos janten metode utama pikeun ngaréndahkeun pilem ipis tina rupa-rupa sanyawa fungsional. Ieu geus loba dipaké dina pabrik sanyawa IV, I- jeung IV-V, semikonduktor refraktori, jeung rupa-rupa oksida, saperti pamakéan campuran gas polikristalin Si jeung CH./Ar pikeun némbak présipitasi pilem ipis SiC, target Ti jeung N/Ar pikeun nyiapkeun pilem teuas TiN, Ta jeung O/Ar pikeun nyiapkeun TaO; pilem ipis dielektrik, Fe jeung O,/Ar pikeun nyiapkeun -FezO; pilem rékaman -FezO., pilem piézoéléktrik AIN jeung A1 jeung N/Ar, pilem panyerepan selektif A1-CO jeung AI jeung CO/Ar, jeung pilem superkonduktor YBaCuO jeung Y-Ba-Cu jeung O/Ar, di antarana.
–Tulisan ieu dipedalkeun kuprodusén mesin palapis vakumGuangdong Zhenhua
Waktos posting: 18-Jan-2024