স্পাটারিং কোটিং প্রক্রিয়ায়, রাসায়নিকভাবে সংশ্লেষিত ফিল্ম তৈরির জন্য যৌগসমূহকে টার্গেট হিসেবে ব্যবহার করা যেতে পারে। তবে, টার্গেট উপাদানের স্পাটারিংয়ের পর উৎপন্ন ফিল্মের গঠন প্রায়শই টার্গেট উপাদানের মূল গঠন থেকে ব্যাপকভাবে বিচ্যুত হয় এবং এর ফলে তা মূল নকশার প্রয়োজনীয়তা পূরণ করে না। যদি একটি বিশুদ্ধ ধাতব টার্গেট ব্যবহার করা হয়, তবে প্রয়োজনীয় সক্রিয় গ্যাস (যেমন, অক্সাইড ফিল্ম তৈরির সময় অক্সিজেন) সচেতনভাবে ওয়ার্কিং (ডিসচার্জ) গ্যাসের সাথে মিশ্রিত করা হয়, যাতে এটি টার্গেট উপাদানের সাথে রাসায়নিকভাবে বিক্রিয়া করে এমন একটি পাতলা ফিল্ম তৈরি করে যার গঠন এবং বৈশিষ্ট্য নিয়ন্ত্রণ করা যায়। এই পদ্ধতিকে প্রায়শই “রিঅ্যাকশন স্পাটারিং” বলা হয়।
পূর্বে যেমন উল্লেখ করা হয়েছে, আরএফ স্পাটারিং ব্যবহার করে ডাইইলেকট্রিক ফিল্ম এবং বিভিন্ন যৌগিক ফিল্ম জমা করা যায়। তবে, একটি “বিশুদ্ধ” ফিল্ম প্রস্তুত করার জন্য, একটি “বিশুদ্ধ” টার্গেট, অর্থাৎ একটি উচ্চ-বিশুদ্ধ অক্সাইড, নাইট্রাইড, কার্বাইড বা অন্য কোনো যৌগিক পাউডার থাকা আবশ্যক। এই পাউডারগুলোকে একটি নির্দিষ্ট আকারের টার্গেটে প্রক্রিয়াজাত করার জন্য মোল্ডিং বা সিন্টারিংয়ের জন্য প্রয়োজনীয় অ্যাডিটিভ যোগ করতে হয়, যার ফলে টার্গেট এবং ফলস্বরূপ ফিল্মের বিশুদ্ধতা উল্লেখযোগ্যভাবে হ্রাস পায়। কিন্তু রিঅ্যাক্টিভ স্পাটারিংয়ে, যেহেতু উচ্চ-বিশুদ্ধ ধাতু এবং উচ্চ-বিশুদ্ধ গ্যাস ব্যবহার করা যায়, তাই উচ্চ-বিশুদ্ধ ফিল্ম প্রস্তুত করার জন্য সুবিধাজনক পরিস্থিতি তৈরি হয়। সাম্প্রতিক বছরগুলোতে রিঅ্যাক্টিভ স্পাটারিং ক্রমবর্ধমান মনোযোগ আকর্ষণ করেছে এবং বিভিন্ন কার্যকরী যৌগের পাতলা ফিল্ম অধঃক্ষেপণের একটি প্রধান পদ্ধতিতে পরিণত হয়েছে। এটি IV, I- এবং IV-V যৌগ, রিফ্র্যাক্টরি সেমিকন্ডাক্টর এবং বিভিন্ন ধরণের অক্সাইড তৈরিতে ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়ে আসছে। এর মধ্যে রয়েছে পলিক্রিস্টালাইন Si এবং CH₄/Ar গ্যাসের মিশ্রণ ব্যবহার করে SiC থিন ফিল্মের প্রেসিপিটেশন, Ti টার্গেট এবং N/Ar ব্যবহার করে TiN হার্ড ফিল্ম, Ta এবং O/Ar ব্যবহার করে TaO ডাইইলেকট্রিক থিন ফিল্ম, Fe এবং O/Ar ব্যবহার করে α-FezO রেকর্ডিং ফিল্ম, Al এবং N/Ar ব্যবহার করে AIN পিজোইলেকট্রিক ফিল্ম, Al এবং CO/Ar ব্যবহার করে Al-CO সিলেক্টিভ অ্যাবজর্পশন ফিল্ম, এবং Y-Ba-Cu এবং O/Ar ব্যবহার করে YBaCuO-সুপারকন্ডাক্টিং ফিল্ম ইত্যাদি।
–এই নিবন্ধটি প্রকাশ করেছেভ্যাকুয়াম কোটিং মেশিন প্রস্তুতকারকগুয়াংডং জেনহুয়া
পোস্ট করার সময়: ১৮-জানুয়ারি-২০২৪