Halaye da Aikace-aikacen Sputtering Mai amsawa

A tsarin shafa fenti, ana iya amfani da mahadi a matsayin maƙasudi don shirya fina-finan da aka haɗa ta hanyar sinadarai. Duk da haka, abun da aka samar bayan fesa kayan da aka yi niyya sau da yawa yana karkata sosai daga abun da aka yi niyya na asali, don haka bai cika buƙatun ƙirar asali ba. Idan aka yi amfani da abin da aka yi niyya na ƙarfe mai tsabta, ana haɗa iskar gas mai aiki da ake buƙata (misali, iskar oxygen lokacin shirya fina-finan oxide) cikin iskar gas mai aiki (fitarwa), don haka yana amsawa ta hanyar sinadarai tare da kayan da aka yi niyya don samar da siririn fim wanda za'a iya sarrafa shi dangane da abun da ke ciki da halayensa. Sau da yawa ana kiran wannan hanyar da "fesawar amsawa".

Kamar yadda aka ambata a baya, ana iya amfani da RF sputtering don saka fina-finan dielectric da fina-finan mahadi daban-daban. Duk da haka, domin shirya fim ɗin "tsarkakakken", yana da mahimmanci a sami manufa "tsarkakakken", oxide mai tsafta, nitride, carbide, ko wani foda mai mahaɗi. Sarrafa waɗannan foda zuwa wani manufa na wani siffa yana buƙatar ƙara ƙarin abubuwa da ake buƙata don ƙira ko sintering, wanda ke haifar da raguwa sosai a cikin tsarkin abin da aka nufa da fim ɗin da ya haifar. Duk da haka, a cikin sputtering mai amsawa, tunda ana iya amfani da ƙarfe masu tsafta da iskar gas masu tsafta, an samar da yanayi mai dacewa don shirya fina-finan tsarkakakku. Sputtering mai amsawa ya sami ƙarin kulawa a cikin 'yan shekarun nan kuma ya zama babban hanya don fitar da siraran fina-finai na mahaɗin aiki daban-daban. An yi amfani da shi sosai wajen kera mahaɗan IV, I- da IV-V, semiconductors masu hana ruwa gudu, da nau'ikan oxides iri-iri, kamar amfani da cakuda iskar gas na polycrystalline Si da CH./Ar don harba ruwan fim ɗin SiC mai sirara, Ti target da N/Ar don shirya fina-finan TiN masu tauri, Ta da O/Ar don shirya TaO; fina-finan dielectric masu sirara, Fe da O,/Ar don shirya -FezO; -FezO. fina-finan rikodi, fina-finan piezoelectric na AIN tare da A1 da N/Ar, fina-finan shaye-shaye na A1-CO masu zaɓi tare da AI da CO/Ar, da fina-finan YBaCuO masu superconducting tare da Y-Ba-Cu da O/Ar, da sauransu.

– An fitar da wannan labarin ne dagainjin shafa injin injinGuangdong Zhenhua